校准设备制造技术

提供了一种与自动测试装置（ＡＴＥ）配套使用的校准设备。该校准设备包括具有扇出电路的线路。该比较侧扇出电路具有连接到ＡＴＥ的第一信道的输入以及连接到ＡＴＥ的Ｎ个（Ｎ＞１）信道的输出，其中该Ｎ个信道不包括第一信道。ＡＴＥ在第一信道上传播边沿，并且扇出电路将该边沿传输到该Ｎ个信道。可选地，与自动测试装置（ＡＴＥ）配套使用的校准设备包括驱动侧电路。该驱动侧电路包括具有连接到ＡＴＥ的Ｎ个（Ｎ＞１）信道的多个输入以及连接到并非该Ｎ个信道之一的ＡＴＥ的第二信道的输出的线路。ＡＴＥ将边沿在Ｎ个信道的每个信道上传播并且该线路将每个边沿传播到ＡＴＥ的第二信道。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利申请一般地涉及一种与例如自动测试装置(ATE)配套使用的校准设备。
技术介绍
自动测试装置(ATE)是指用于测试诸如半导体、电子电路以及印刷电路板组件的设备的自动的通常由计算机驱动的系统。由ATE测试的设备称为被测设备(DUT)。ATE通常包括计算机系统和测试设备或者具有相应功能的单个设备。引脚电路(pin electronics)通常是测试设备的一部分。引脚电路可包括驱动器、比较器和/或用于测试DUT的有源负载功能。该驱动器用于向测试设备上的弓I脚提供测试信号。ATE通常能够向DUT提供不同类型的信号。这些信号的示例是上述在DUT的测试期间所使用的测试信号(例如，测试DUT)。下一代高速存储器设备以高达至少每秒6. 4千兆比特(Gbps)的数据传送速度工作。具体类型的这些设备(即新的存储技术(NMT)设备)需要3至6个设备输入或输出通道(信道)，以共享一个延迟调节电路以便节省晶元面积。结果，NMT设备的测试仪通常需要在DUT处提供具有通道间偏移(lane-to-lane skew)通常小于+Z-25ps (皮秒)的精确度的信号。当前可用的校准技术使用机器人在DUT插口上探测，这由于机器人成本、维护成本以及校准时间成本而导致很昂贵。附图说明图1是用于测试设备的ATE的框图。图2是在ATE中使用的测试仪的框图。图3是与ATE配套使用的偏移校准设备的框图。图4是用于比较器通道间偏移测量的偏移校准设备中的信号路由芯片的框图。图5示出了用于驱动器通道间偏移测量的示例性信号路由芯片的框图。不同图中的相同参考数字表示相同元件。
技术实现思路
根据说明性实施例，提供了一种与自动测试装置(ATE)配套使用的校准设备。该校准设备包括具有扇出(fanout)电路的线路。该扇出电路具有连接到ATE的第一信道的输入以及连接到ATE的N个(N〉l)信道的输出，其中该N个信道不包括第一信道。ATE在第一信道上传播边沿，并且扇出电路将该边沿传输到所述N个信道。在进一步说明性实施例中，与自动测试装置配套使用的校准设备包括驱动侧电路。驱动侧电路包括具有连接到ATE的N个(N〉l)信道的多个输入以及连接到不是该N个信道之一的ATE的第二信道的输出。ATE在N个信道的每个信道上传播边沿并且该线路将每个边沿传播到ATE的第二信道。在进一步说明性实施例中，与自动测试装置配套使用的校准设备包括具有扇出电路的线路。该扇出电路具有连接到ATE的第一信道的输入以及连接到ATE的M个(M〉l)信道的输出，其中该M个信道不包括第一信道，其中ATE在第一信道上传播边沿，并且扇出电路将该边沿传输到所述M个信道。驱动侧电路包括具有连接到ATE的N个(N>1)信道的多个输入以及连接到并非该N个信道之一的ATE的第二信道的输出的线路；其中ATE在所述N个信道的每个信道上传播边沿并且该线路将每个边沿传播到ATE的第二信道。在进一步说明性实施例中， 一种校准方法包括在信号源的第一信道上传播边沿。经由扇出电路，将该边沿传输到N个信道，该扇出电路具有连接到第一信道的输入以及连接到信号源的N个(N>1)信道的输出，其中该N个信道不包括第一信道。获得测量，该测量对应于该N个信道的每个信道上的边沿，其中该N个信道的每个信道上的边沿之间的测量差对应于比较器通道间偏移。在进一步说明性实施例中， 一种校准方法包括将边沿传播到信号源的N个信道的每个信道。还经由具有连接到信号源的N个(N>1)信道的多个输入的驱动侧电路来执行将该N个信道的每个信道上的边沿传播到并非该N个信道之一的信号源的第二信道。而且，获得与接收到该N个信道每个信道上的边沿的时间相对应的测量，其中测量差对应于驱动侧偏移。在进一步说明性实施例中， 一种校准方法提供了将第一边沿在信号源的第一信道上传播。经由扇出电路，将第一边沿传输到M个信道。扇出电路具有连接到第一信道的输入以及连接到信号源的M个(M>1)信道的输出，其中该M个信道不包括第一信道。获得与该M个信道的每个信道上的第一边沿相对应的测量，其中该M个信道的每个信道上的第一边沿之间的测量差对应于比较器通道间偏移。将第二边沿传播到信号源的N个信道的每个信道。此外，经由具有连接到信号源的N(N>1)个信道的多个输入的驱动侧电路，将该N个信道的每个信道上的第二边沿传播到并非该N个信道之一的信号源的第二信道。获得与接收到该N个信道的每个信道上的第二边沿的时间相对应的测量，其中测量差对应于驱动侧偏移。在进一步说明性实施例中， 一种计算机程序产品具有利用数据处理装置可执行的指令。所述指令包括将边沿在信号源的第一信道上传播并且经由扇出电路将该边沿传输到N个信道。该扇出电路具有连接到第一信道的输入以及连接到信号源的N个(N>1)信道的输出，其中该N个信道不包括第一信道。获得与该N个信道的每个信道上的边沿相对应的测量，其中该N个信道的每个信道上的边沿之间的测量差对应于比较器通道间偏移。在进一步说明性实施例中， 一种计算机程序产品具有利用数据处理装置可执行的指令。所述指令包括将边沿传播到信号源的N个信道的每个信道并且经由驱动侧电路将该边沿在该N个信道的每个信道上传播。驱动侧电路具有连接到信号源的该N个(N>1)信道的多个输入以及连接到并非该N个信道之一的信号源的第二信道的输出。获得与接收到该N个信道的每个信道上的边沿的时间相对应的测量，其中测量差对应于驱动侧偏移。在进一步说明性实施例中， 一种计算机程序产品具有利用数据处理设备可执行的指令。所述指令包括将第一边沿在信号源的第一信道上传播。经由扇出电路，将第一边沿传输到M个信道。扇出电路具有连接到第一信道的输入以及连接到信号源的M个(M>1)信道的输出，其中该M个信道不包括第一信道。获得与该M个信道的每个信道上的边沿相对应的测量，其中该M个信道的每个信道上的边沿之间的测量差对应于比较器通道间偏移。将第二边沿传播到该信号源的N个信道的每个信道。此外，经由具有连接到该信号源的N个(N>1)信道的多个输入的驱动侧电路，将该N个信道的每个信道上的第二边沿传播到并非该N个信道之一的信号源的第二信道。获得与接收到该N个信道的每个信道上的第二边沿的时间相对应的测量，其中测量差对应于驱动侧偏移。具体实施例方式本专利技术的各种实施例设法提供更高精确度的通道间偏移以及更有效且持久的校准方法。参考图1，用于测试诸如半导体设备的被测设备(DUT) 18的系统IO包括诸如自动测试装置(ATE)或者其他相似测试设备的测试仪12。为了控制测试仪12，系统IO包括通过硬线连接16与测试仪12连接的计算机系统14。通常，计算机系统14将开始执行用于测试DUT 18的例程和功能的命令发送到测试仪12。这样的执行测试例程可发起产生测试信号并将该测试信号传输到DUT 18，并收集来自DUT的响应。该系统IO可测试各种类型的DUT。例如，DUT可以是诸如集成电路(IC)芯片的半导体设备(例如存储器芯片、微处理器、模数转换器、数模转换器等等)。为了提供测试信号并且收集来自DUT的响应，测试仪12连接到用于为DUT 18的内部线路提供接口的一个或多个连接器引脚。为了测试一些DUT，可以将例如64个或者128个或更多个连接本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种与自动测试装置（ＡＴＥ）配套使用的校准设备，包括：　线路，所述线路包括扇出电路，所述扇出电路具有连接到所述ＡＴＥ的第一信道的输入以及连接到所述ＡＴＥ的Ｎ个（Ｎ＞１）信道的输出，其中所述Ｎ个信道不包括所述第一信道；　其中，所述 ＡＴＥ在所述第一信道上传播边沿，并且所述扇出电路将所述边沿传输到所述Ｎ个信道。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄莉，乔治克纳尔，
申请(专利权)人：泰瑞达公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]