自动测试设备的系统性能有效性的校准方法技术方案

本发明专利技术是有关于一种ＡＴＥ校准方法和系统，不需要使用外部测试设备为单个功能插针进行校正，并且提供功能插针和插针之间均衡的时序错位（ｔｉｍｉｎｇ　　ｓｋｅｗ）。在测试系统中选取一个功能插针作为参考插针或“黄金”插针，并且另外选取一个功能插针作为精确测量单元（ＰＭＵ）。外部测试设备和参考ＰＭＵ被用来测量参考插针的ＡＣ和ＤＣ特性，任何偏差都表示参考ＰＭＵ中的测量误差。测试系统中的所有功能插针都可以使用参考ＰＭＵ相对于参考插针进行测量，将测量误差考虑在内，并且不需要外部测量设备。为了确保所有插针间的错位得到均衡，将参考插针的位置选择在尽量靠近功能插针范围内的中点。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种半导体测试系统，其用于对半导体器件如集成电路(ICs)进行测试，特别是涉及一种不需要外部测试设备对半导体测试系统中的单个测试机插针进行校准。本申请与2003年1月10日提出的题为“Semiconductor Test SystemStoring Pin Calibration Data In Non-volatile Memory”的美国专利申请案10/340,349有关，该申请的全部内容基于一切目的并入本申请。
技术介绍
在使用测试机等测试系统对IC等半导体器件进行测试的过程中，测试系统如自动测试设备(ATE)在特定的功能测试插针向被测元件(DUT)提供测试信号或测试图案(test pattern)。利用驱动器将测试信号传送到DUT，驱动器可生成对振幅、阻抗、电流、转换速率等可以进行选择的测试信号。测试系统接收DUT响应测试信号而产生的输出信号，并且模拟比较器在接收到按预定周期生成的选通信号时，对该输出信号进行选通或采样。捕捉到的输出数据与预期的输出数据进行比较，以便确定该DUT是否工作正常。图1是一示例性测试系统环境100。来自插针卡104上的插针单元102本文档来自技高网...

【技术保护点】
在用来测试半导体被测装置（ＤＵＴ）的测试系统中，所述测试系统具有多个功能插针和一个或多个精密测量单元（ＰＭＵ），为所述测试系统的功能插针确定校准数据的方法，包括：在所述测试系统中指定一个功能插针作为参考插针（Ｒ＿ＰＩＮ）并指定一个Ｐ ＭＵ作为参考ＰＭＵ；使用外部测试设备（Ｒ＿ＰＩＮ↓［ＥＸＴ］）和参考ＰＭＵ（Ｒ＿ＰＩＮ↓［ＰＭＵ］）对所述参考插针进行一次特定的测量；藉由计算Ｒ＿ＰＩＮ↓［ＰＭＵ］－Ｒ＿ＰＩＮ↓［ＥＸＴ］确定ＰＭＵ误差（ＰＭＵ＿ＥＲＲ）；并 且对于每个待校准的功能插针Ｘ都要，将功能插针Ｘ连接到所述参考插针，使用所述参考ＰＭＵ进行功能插针...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：道格拉斯拉尔森，安夫尼里，凯洛奎欧东，若企特雷吉苏曼，
申请(专利权)人：爱德万测试株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]