用于自动测试设备的有效性校准方法技术

本发明专利技术公开了一种用于自动测试设备的有效性校准方法，包括如下步骤：（１）启动自动测试设备，执行自检程序；（２）自检完毕之后，由外部测量设备连接测试用适配板的测量点，开始校准工作；（３）执行通道特性参数测量；（４）执行管脚参数测量单元测量；（５）执行板参数测量单元测量；（６）执行器件电源测量。本有效性校准方法可以实现自动测试设备的自动化整体原位校准，从而确保自动测试设备的测试质量和有效使用，并保证所有校准的指标和参数能够溯源到国家标准。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种有效性校准方法，尤其涉及一种用于集成电路测试系统中的自动 测试设备(Automatic Test Equipment,简写为ATE)的有效性校准方法，属于集成电路测试

技术介绍
在集成电路测试中，普遍要使用自动测试设备(ATE)，即集成电路自动测试机。集 成电路自动测试机的作用在于检测集成电路芯片的产品质量、评定产品性能和验证产品功 能，以确保集成电路生产制造的品质。 显然，自动测试设备(ATE)测量有关参数的准确性、可靠性将直接影响集成电路 芯片的出厂质量，而计量校准是保证自动测试设备(ATE)工作准确性及有效性的重要手 段。计量校准是指用比被校计量器具精度高的计量器具(称为标准器具)与被校计量器具 进行比较，以确定被校计量器具的示值误差。 在申请号为200610003236.6的中国专利申请中，公开了一种自动测试设备校准 数据的生成和使用方法。在一个实施例中，接收对执行自动测试设备校准处理的请求。该 请求与一个或多个测试设置相关联。在接收该请求后，标识基于测试设置的若干校准填充 点。然后针对测试设置和校准填充点二者生成校准数据。在另一实施例中，接收本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于自动测试设备的有效性校准方法，其特征在于包括如下步骤：（１）启动自动测试设备，执行自检程序；（２）自检完毕之后，由外部测量设备连接测试用适配板的测量点，开始校准工作；（３）执行通道特性参数测量；（４）执行管脚参数测量单元测量；（５）执行板参数测量单元测量；（６）执行电源测量。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张琳，吉国凡，石志刚，刘炜，王慧，金兰，宋奕霖，
申请(专利权)人：北京华大泰思特半导体检测技术有限公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]