靶材装置制造方法及图纸

一种靶材装置包含：一个第一背板机构、一个可与该第一背板机构拼接的第二背板机构，及一个第一接合机构。该第一背板机构包括一个第一板单元，及一个安装在该第一板单元上的第一靶材。该第一板单元具有一个第一上板面、一个第一下板面、数个自该第一上板面凹陷且彼此连通地并排的第一主流道，及数个贯穿该第一上板面而连通所述第一主流道的第一注水口。该第二背板机构的结构与外型与该第一背板机构相同。所述第一接合机构可卡合地拼接第一背板机构的第一板单元与第二背板机构的第二板单元，而提高适应性，并达到均匀地冷却的效果。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

靶材装置
本技术涉及一种溅镀设备，特别是涉及一种溅镀设备的靶材装置。技术背景一般溅镀装置包含一个腔体、一个安装在腔体内的背板、一个与该背板结合的 靶材，及一个待溅镀表面。在施行溅镀时，是利用高电压在该靶材与该待溅镀表面间产 生电浆，而该靶材在经过电浆撞击后会产生游离而飞溅的原子，并沉积在该待溅镀表面 上，进而产生薄膜，达到在该待溅镀表面镀上预定材料层的目的。靶材受到电浆撞击 后，会产生高温，因此为了降低靶材的温度，该背板会包括数个流道，并在流道内灌注 冷却液以达到降低靶材温度的功能。而在待溅镀面积较大而需要较大靶材的情况下，流 道的长度也随之变长，并且增加了每一单位冷却液在流道内的时间，使得邻近流道末端 的冷却液的温度过高，而无法发挥冷却效果。因此，一般溅镀装置运用在溅镀大面积 时，的确具有冷却不平均，及冷却效率低的情形。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种可均勻地冷却而提高冷却效率，并且具有良好 适应性的靶材装置。本技术的靶材装置包含一个第一背板机构，该第一背板机构包括一个第 一板单元，及一个安装在该第一板单元上的第一靶材，该第一板单元具有一个第一上板 面、一个与该第一靶材贴靠的第一下板面、数个自该第一上板面凹陷且彼此连通地并排 的第一主流道，及数个贯穿该第一上板面而与所述第一主流道连通的第一注水口；其特 征在于该靶材装置还包含一个与该第一背板机构拼接的第二背板机构，及一个可卡合 地位在该第一背板机构与该第二背板机构间的第一接合机构，该第二背板机构包括一个 可利用该第一接合机构地与该第一板单元拼接的第二板单元，及一个安装在该第二板单 元上的第二靶材，该第二板单元具有一个第二上板面、一个与该第二靶材贴靠的第二下 板面、数个自该第二上板面凹陷且彼此连通地并排的第二主流道，及两个贯穿该第二上 板面地与所述第二主流道连通的第二注水口。本技术靶材装置还包含一个第三背板机构，及一个可卡合地拼接该第一背 板机构与第三背板机构的第二接合机构，该第三背板机构包括一个第三板单元，及一个 安装在该第三板单元上的第三靶材，该第三板单元具有一个第三上板面、一个第三下板 面、数个自该第三上板面凹陷且彼此连通地并排的第三主流道，及两个贯穿该第三上板 面地连通所述第三主流道的第三注水口。本技术靶材装置的第一板单元还具有两条平行的第一横边，及两条平行的 第一纵边，所述第一纵边与所述第一主流道平行，该第二板单元还具有两条平行的第二 横边，及两条平行的第二纵边，所述第二纵边与所述第二主流道平行，该第一接合机构 包括一个位在其中一个第一纵边与其中一个第二纵边中之一者的第一接合沟，及一个设置在该第一纵边与该第二纵边其中之另一者上的第一接合条，且该第一接合条可与该第 一接合沟卡合。本技术靶材装置的第三板单元还具有两条平行的第三横边，及两条平行的 第三纵边，所述第三纵边与所述第三主流道平行，该第二接合机构包括一个设置在另一 个第一纵边与其中一个第三纵边中之一者的第二接合沟，及一个设置在该另一个第一纵 边与该第三纵边其中之另一者上的第二接合条，且该第二接合条可与该第二接合沟卡合。本技术靶材装置的第一板单元还具有数个分别邻近所述第一横边且连通两 相邻的第一主流道的第一弯流道，该第二板单元还具有数个分别邻近所述第二横边且连 通两相邻的第二主流道的第二弯流道，所述第一注水口分别位在其中一个第一横边的两 相反端，所述第二注水口分别位在其中一个第二横边的两相反端。本技术靶材装置的第三板单元还具有数个分别邻近所述第三横边且连通两 相邻的第三主流道的第三弯流道，所述第三注水口分别位在其中一个第三横边的两相反 端。本技术的有益效果在于因为该第一背板机构与该第二背板机构利用该第 一接合机构而拼接成一体，并具有可独立冷却的第一主流道及第二主流道，因此可均勻 地冷却该第一靶材与第二靶材，而提高冷却效率，并具有良好适应性。附图说明图1是一个俯视图，显示本技术靶材装置的一个较佳实施例，及其未装设 数个流道盖的情形；图2是一个部分剖视侧视图，显示该靶材装置的一个第一背板机构的其中一个 第一注水口与其中一个第一主流道连通的情形；图3是一个部分立体分解图，显示该第一背板机构；图4是一个部分剖视分解图，主要显示该靶材装置的一个第一接合机构与一个 第二接合机构。具体实施方式以下结合附图及实施例对本技术进行详细说明。参阅图1、2、3，本技术靶材装置，可在溅镀时与一个溅镀腔体(图未示) 组装，并可与冷却液(图未示)配合达到冷却功能，该靶材装置包含一个矩形的第一 背板机构1、一个位在该第一背板机构1 一侧且与该第一背板机构1拼接的第二背板机构 2、一个位在该第一背板机构1另一侧的第三背板机构3、一个可卡合地位在该第一背板 机构1与第二背板机构2间的第一接合机构4，及一个可卡合地位在该第一背板机构1与 第三背板机构3间的第二接合机构5。该第一背板机构1包括一个第一板单元11，及一个安装在该第一板单元11上的 第一靶材12。该第一板单元11是矩形，并且具有两条平行的分别对应长边的第一横边 111、两条平行的分别对应短边的第一纵边112、一个朝上的第一上板面113、一个朝下 并与该第一靶材12贴靠的第一下板面114、数条自该第一上板面113凹陷且彼此连通地并排的第一主流道115、数条弧形弯曲地连通两相邻的第一主流道115的第一弯流道116、 两个贯穿该第一上板面113的第一注水口 117、一个装设在该第一上板面113上的第一流 道盖118，及数个沿所述第一横边111间隔排列的第一组装孔119。所述第一注水口 117是间隔地位在其中一个第一横边111的两相反端，并邻近该 第一上板面113的转角处，且分别与邻近所述第一纵边112的第一主流道115相连通。所 述第一主流道115都沿所述第一纵边112方向延伸，并且彼此间隔地沿所述第一横边111 方向并列。所述第一弯流道116是沿所述第一横边111设置，且彼此交错地分别位在所 述第一主流道115的两端，并将所述第一主流道115连通成一条蜿蜒且固定路径的流道。 所述第一流道盖118是用以密封所述第一主流道115与第一弯流道116，并使该第一板单 元11的表面平整。所述第一组装孔119是贯穿该第一上板面113与第一下板面114，并 可与数个螺丝(图未示)配合，而将该第一背板机构1安装在该溅镀腔体(图未示)上。 在使用时，可从其中一个第一注水117将冷却液(图未示)灌入该第一板单元11内，此 时冷却液会沿着所述第一主流道115与第一弯流道116流动，再由另一个第一注水117排 出。因为冷却液是沿着一条流道蜿蜒地流动，因此可平均地冷却该第一靶材12。参阅图1、3、4，该第二背板机构2及第三背板机构3的结构与外型与该第一 背板机构1相同，并且该第二背板机构2对应该第一背板机构1而包括一个第二板单元 21，及一个安装在该第二板单元21上的第二靶材22。该第二板单元21是对应该第一板 单元11，而同样地具有两条平行的第二横边211、两条平行的第二纵边212、一个第二上 板面213、一个与该第二靶材22贴靠的第二下板面214、数条自该第二上板面213凹陷且 彼此连通地并排的第二主流道215、数条本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种靶材装置，包含：一个第一背板机构，该第一背板机构包括一个第一板单元，及一个安装在该第一板单元上的第一靶材，该第一板单元具有一个第一上板面、一个与该第一靶材贴靠的第一下板面、数个自该第一上板面凹陷且彼此连通地并排的第一主流道，及数个贯穿该第一上板面地与所述第一主流道连通的第一注水口；其特征在于：该靶材装置还包含一个与该第一背板机构拼接的第二背板机构，及一个可卡合地位在该第一背板机构与该第二背板机构间的第一接合机构，该第二背板机构包括一个可利用该第一接合机构而与该第一板单元拼接的第二板单元，及一个安装在该第二板单元上的第二靶材，该第二板单元具有一个第二上板面、一个与该第二靶材贴靠的第二下板面、数个自该第二上板面凹陷且彼此连通地并排的第二主流道，及两个贯穿该第二上板面地与所述第二主流道连通的第二注水口。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄泳钊，郑博仁，
申请(专利权)人：北儒精密股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]