可控双向交叉循环通风装置制造方法及图纸

技术编号:5330450 阅读:213 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术公开了一种可控双向交叉循环通风装置,包括左通风管、右通风管、腔室、风机以及并联设置的进风风道、出风风道,左通风管、右通风管分别伸入腔室内并位于腔室内的两侧,左通风管与右通风管相对应的侧壁上分别开设有通风孔,风机的进风口与进风风道连通并位于左进风风道与右进风风道之间,风机的出风口与出风风道连通并位于的左出风风道与右出风风道之间,进风口与进风风道之间设有进风阀门组件,出风口与出风风道之间设有出风阀门组件,通过控制进风阀门组件与出风阀门组件实现不同循环回路的转换,从而实现气流的可控双向交叉循环,达到进行均匀温度处理的目的。(*该技术在2019年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种通风装置,更具体地涉及一种可控双向交叉循环通风装置
技术介绍
随着科学技术的迅猛发展,近年来薄膜半导体市场蓬勃发展,使薄膜半导体应用 领域逐渐深入,其趋势朝向大面积扩展,如采用玻璃基板的薄膜太阳能电池器件以发展为 llOOmmX 1400mm尺寸为普遍尺寸,再有有机发光显示器件(0LED)面板也由传统手机屏到 大面积的电视、便携电脑显示屏的应用扩展,其尺寸也达到了 370mmX470mm以上,诸如此 类的薄膜半导体产品都需要经过许多不同的镀膜制程或其集成,在许多工序中往往涉及到 利用通风装置对玻璃等薄膜基板进行加热的环节,现有的通风装置利用热风循环对玻璃等 薄板进行加热,但该加热技术只能局限在单向循环的加热,加热过程容易导致被加热物件 出现温度沿热风流向产生梯度变化,不能实现均勻加热的目的。因此,有必要提供一种能够实现双向交叉循环,温度处理均勻的可控双向交叉循 环通风装置。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种能够实现双向交叉循环,温度处理均勻的可控双向 交叉循环通风装置。为实现上述目的,本技术的技术方案为提供一种可控双向交叉循环通风装 置,包括左通风管、右通风管、中空密闭的腔室以及设置在所述腔室外的进风风道、出风风 道、风机,所述左通风管、右通风管分别伸入所述腔室内并位于所述腔室内的两侧,所述左 通风管与右通风管相对应的侧壁上分别开设有通风孔,所述进风风道与所述出风风道并联 设置,所述进风风道包括相互连通的左进风风道与右进风风道,所述出风风道包括相互连 通的左出风风道与右出风风道,所述左进风风道与所述左出风风道通过风道接口同时与所 述左通风管连通,所述右进风风道与所述左出风风道通过风道接口同时与所述右通风管连 通,所述风机具有出风口与进风口,所述风机的进风口与所述进风风道连通并位于所述左 进风风道与所述右进风风道之间,所述风机的出风口与所述出风风道连通并位于所述左出 风风道与所述右出风风道之间,所述风机的进风口与所述进风风道之间设有进风阀门组 件,所述风机的出风口与所述出风风道之间设有出风阀门组件,所述腔室、左通风管、左进 风风道、风机、右出风风道、右通风管相互连通形成顺时针循环回路,所述腔室、右通风管、 右进风风道、风机、左出风风道、左通风管相互连通形成逆时针循环回路。较佳地,所述风机的进风口朝下安装在所述进风风道中央处,所述风机的出风口 侧装在出风风道的中央处,将所述左进风风道与右进风风道、左出风风道与右出风风道对 称分割形成,使通路勻称气流流通更均勻。作为本技术的一实施例,所述进风阀门组件为两开闭式阀门,所述开闭式阀 门分别设置在所述左进风风道与风机的进风口之间、右进风风道与风机的进风口之间;所述出风阀门组件为一导向阀门,所述导向阀门设置在所述风机的出风口处,通过改变所述 开闭式阀门与所述导向阀门的状态,选择连通不同的风道,实现通风的双向交叉循环。作为本技术的另一实施例,所述进风阀门组件为两开闭式阀门,所述开闭式 阀门分别设置在所述左进风风道与风机的进风口之间、右进风风道与风机的进风口之间; 所述出风阀门组件为两开闭式阀门,所述开闭式阀门分别设置在所述左出风风道与风机的 出风口之间、右出风风道与风机的出风口之间,通过改变所述开闭式阀门的组合状态,选择 连通不同的风道,实现通风的双向交叉循环。较佳地,所述可控双向交叉循环通风装置还包括电路控制单元,所述进风风阀组 件、出风风阀组件及风机分别与所述电路控制单元电连接,通过特定的电路控制,可定时控 制通风装置的双向交叉循环。较佳地,所述通风孔的孔径沿通风管的伸入方向逐渐增大,实现沿通风管出风流 量、压力均勻,进一步提高用于温度处理的气流的均勻性,提高产品加工质量。较佳地,所述左通风管与右通风管位于同一平面,使左通风管与右通风管上的所 述通风孔相向且正对,左通风管与右通风管之间形成处理区。较佳地,所述风机的出风口设有加热丝或充有冻水的盘管,气流经过风机的出风 口的加热丝的加热或冻水盘管的冷却,形成相应的热气流或冷气流,从而实现对腔室内需 处理物件的热处理或冷处理。与现有技术相比,由于本技术的可控双向交叉循环通风装置采用风机作为进 出风动力源,出风风道与进风风道并联设置且两端通过风道接口连通,所述风机的进风口 与所述进风风道之间设有进风阀门组件,所述风机的出风口与所述出风风道之间设有出风 阀门组件,通过控制所述进风阀门组件、出风阀门组件,使所述腔室、左通风管、左进风风 道、风机、右出风风道、右通风管相互连通形成顺时针循环回路,控制所述进风阀门组件、出 风阀门组件使其处于另一状态,使所述腔室、右通风管、右进风风道、风机、左出风风道、左 通风管相互连通形成逆时针循环回路,通过选择进风阀门组件与出风阀门组件的状态实现 可控双向交叉循环,从而达到进行均勻温度处理的目的。附图说明图1为本技术可控双向交叉循环通风装置一实施例的结构示意图。图2为图1所示可控双向交叉循环通风装置的原理示意图。图3为图1所示可控双向交叉循环通风装置另一状态的结构示意图。图4为图3所示可控双向交叉循环通风装置的原理示意图。图5为图1所示可控双向交叉循环通风装置的原理方框图。图6为本技术可控双向交叉循环通风装置的操作方法的流程图。图7为本技术可控双向交叉循环通风装置另一实施例的结构示意图。图8为图7所示可控双向交叉循环通风装置的原理方框图。具体实施方式为了详细说明本技术的
技术实现思路
、构造特征,以下结合实施方式并配合附图 作进一步说明,其中不同图中相同的标号代表相同的部件。如上所述,本技术公开了一种可控双向交叉循环通风装置,适用于气流配合使用,对腔室内的竖直置放的玻璃薄板或 其他待处理物件进行温度处理,采用风机作为进出风动力源,出风风道与进风风道并联设 置,通过选择进风阀门组件与出风阀门组件的不同状态实现可控双向交叉循环,从而达到 进行均勻温度处理的目的。参考图1至图4,本技术一实施例的可控双向交叉循环通风装置包括左通风 管200a、右通风管200b、中空密闭的腔室100以及设置在腔室100外的进风风道300、出风 风道400、风机600。左通风管200a、右通风管200b分别伸入腔室100内并位于腔室100内 的两侧且位于同一平面,左通风管200a与右通风管200b之间形成处理区210,玻璃薄板或 其他处理物件110竖直置放在处理区210中,左通风管200a与右通风管200b相对应的侧 壁上分别开设有通风孔220,左通风管200a与右通风管200b上的通风孔220相向且正对, 该通风孔220的孔径沿通风管的伸入方向逐渐增大,实现沿通风管出风流量、压力均勻,进 一步提高用于温度处理的气流的均勻性,提高产品加工质量。进风风道300与出风风道400 呈长直管状并联设置,风机600具有进风口 610与出风口 620,风机600的进风口 610朝下 安装在进风风道300中央部位的上方,风机600的出风口 620安装在出风风道400侧壁上的 中央处,进风口 610将进风风道300对称分割成相互连通的左进风风道300a与右进风风道 300b,出风口 620将出风风道400分割成相互连通的左出风风道400a与右出风风道400b,本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种可控双向交叉循环通风装置,其特征在于,包括左通风管、右通风管、中空密闭的腔室以及设置在所述腔室外的进风风道、出风风道、风机,所述左通风管、右通风管分别伸入所述腔室内并位于所述腔室内的两侧,所述左通风管与右通风管相对应的侧壁上分别开设有通风孔,所述进风风道与所述出风风道并联设置,所述进风风道包括相互连通的左进风风道与右进风风道,所述出风风道包括相互连通的左出风风道与右出风风道,所述左进风风道与所述左出风风道通过风道接口同时与所述左通风管连通,所述右进风风道与所述左出风风道通过风道接口同时与所述右通风管连通,所述风机具有出风口与进风口,所述风机的进风口与所述进风风道连通并位于所述左进风风道与所述右进风风道之间,所述风机的出风口与所述出风风道连通并位于所述左出风风道与所述右出风风道之间,所述风机的进风口与所述进风风道之间设有进风阀门组件,所述风机的出风口与所述出风风道之间设有出风阀门组件,所述腔室、左通风管、左进风风道、风机、右出风风道、右通风管相互连通形成顺时针循环回路,所述腔室、右通风管、右进风风道、风机、左出风风道、左通风管相互连通形成逆时针循环回路。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:范振华杨明生
申请(专利权)人:东莞宏威数码机械有限公司
类型:实用新型
国别省市:44[中国|广东]

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