本实用新型专利技术公开了一种固定装置，适用于将腔门固定于腔体壁上且能解除固定，其包括手柄、阻挡件及弹簧，手柄向外凸伸出凸台，凸台向外凸伸出连接杆，连接杆的末端开设有螺纹并形成螺纹部，凸台开设有环绕连接杆的第一环槽，弹簧穿设于连接杆上且一端安装于第一环槽内，弹簧的另一端凸伸出第一环槽，腔门贯穿开设有安装孔，腔体壁正对安装孔开设有具有内螺纹的螺纹孔，连接杆穿入安装孔且螺纹部伸出安装孔，阻挡件卡设于连接杆上且位于螺纹部与凸台之间，阻挡件与腔门的内表面分离地抵触，凸台与腔门的外表面分离地抵触；本实用新型专利技术固定装置能分担腔门上密封圈的压迫量，且在腔门开启时不会脱落。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种板类部件的固定装置，尤其涉及一种适用于将腔门固定于腔体壁上且能解除固定的固定装置。
技术介绍
在半导体器件或平板显示器件的制造工艺中，为了保证较高的清洁度，常常需要 在真空设备中完成各种工艺，因此用于制造半导体器件或平板显示器件的设备，一般被设 计成将基板输送到真空设备中并利用等离子体对基板执行所需的工艺，以0LED(0rganic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)的真空蒸镀为例，将加工好的基板传输至密封的 真空工艺室内，在真空条件下，将真空工艺室内的固体材料加热蒸发，蒸发出来的原子或分 子自由地吸附在基板上逐渐形成薄膜，进而形成OLED的各个材料层。现有的真空加工设备通常包括三种真空腔室，即负载室、传送室及工艺室，负载室 用于从外部站台接收将要在设备中进行加工的基板以便装载基板，或用来输出设备中加工 完成的基板以便卸载基板；传送室用于在各个腔室之间传送基板；工艺室用来在真空环境 下利用等离子体或热能对基板执行所需的工艺，如真空蒸镀或蚀刻工艺等。由于工艺室利 用各种加工气体或等离子气体来重复大量工艺，因此，工艺室内的设备易于受损或受污染， 从而需要定期更换或维修。因此，工艺室一般设计成由中空结构的腔体和可启闭的腔门密 封构成，腔门可以打开以便对工艺室内部进行维护或更换，而在执行工艺步骤时腔门关闭 且要能保证工艺室内部的密封性，因此常常在腔门内侧安装密封圈，当腔门关闭时保证腔 门与腔体密封，腔门关闭后还需要一固定装置将腔门与腔体进行固定连接，以进一步加强 真空工艺室的密封性并保证操作的安全性。如图1所示，现有的用于将腔门20(Τ固定于腔体壁10(Τ上的装置，一般采用具有 压纹的旋钮30(Τ，旋钮30(Τ的头部30f具有螺纹，中部具有压纹302\在腔门20(Τ上开设 有与旋钮30(Τ相对应的安装孔20厂，旋钮30(Τ安装于腔门20(Τ上的安装孔20f内并穿 过安装孔20厂，腔体壁10(Τ上开设有与安装孔20厂相对应的螺纹孔10Γ，用与旋钮30(Τ 配合连接，腔门20(Τ关闭时，将旋钮30(Τ的头部30厂旋入腔壁10(Τ上的螺纹孔10Γ内 使腔门20(Τ与腔体壁10(Τ固定，腔门20(Τ与腔体壁10(Τ压紧实现真空工艺室的密封； 然而，为了保持真空工艺室的密封需要最大限度的旋进压纹旋钮300、，这样所有的压力都 需要由腔门20(Τ上的密封圈202—承担，导致密封圈202—压迫量过大而影响密封效果，同 时也缩短了密封圈202、的使用寿命；需要开启腔门20(Τ时，需要将旋钮30(Τ旋出腔体壁 100"上的螺纹孔10Γ，这样在腔门20(Τ开启过程中旋钮30(Τ在重力的作用下容易脱离腔 门200—上的安装孔20厂，为使用带来诸多不便。因此，急需一种能分担密封圈压迫量，且在腔门开启时能防止脱落的固定装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种能分担密封圈压迫量，且在腔门开启时能防止脱落的固定装置。为实现上述目的，本技术的技术方案为提供一种固定装置，适用于将腔门固定于腔体壁上且能解除固定，其包括手柄、阻挡件及弹簧，所述手柄向外凸伸出凸台，所述 凸台向外凸伸出连接杆，所述连接杆的末端开设有螺纹并形成螺纹部，所述凸台开设有环 绕所述连接杆的第一环槽，所述弹簧穿设于所述连接杆上且一端安装于所述第一环槽内， 所述弹簧的另一端凸伸出所述第一环槽，所述腔门贯穿开设有安装孔，所述腔体壁正对所 述安装孔开设有具有内螺纹的螺纹孔，所述连接杆穿入所述安装孔且所述螺纹部伸出所述 安装孔，所述阻挡件卡设于所述连接杆上且位于所述螺纹部与所述凸台之间，所述阻挡件 与所述腔门的内表面分离地抵触，所述凸台与所述腔门的外表面分离地抵触。较佳地，所述安装孔呈台阶状，所述台阶自所述腔门的内表面凹陷形成且正对所 述螺纹孔，所述阻挡件容置于所述安装孔内并与所述安装孔的台阶分离地抵触；腔门关闭 时，将手柄的螺纹部旋进腔体壁上的螺纹孔内，使螺纹部与腔体壁螺纹连接，所述阻挡件与 所述安装孔的台阶相分离，手柄的凸台与所述腔门的外表面相抵触；开启腔门时，旋转手 柄使螺纹部退出腔体壁的螺纹孔，所述阻挡件与所述安装孔的台阶相抵触，手柄的凸台与 所述腔门的外表面相分离，腔门开启的过程中，固定装置不会脱离腔门，方便腔门的频繁开 启ο较佳地，所述阻挡件为弹性挡圈；更具体地，所述连接杆开设有安装槽，所述弹性 挡圈卡设于所述安装槽内并凸出所述安装槽，弹性挡圈具有较好的弹性，使用寿命长，且成 本低。较佳地，所述阻挡件为螺母，所述螺母与所述连接杆的螺纹部相啮合且旋进所述 螺纹部，采用螺母作为阻挡件，只需加长螺纹部，螺母通过螺纹部连接于手柄上，设计简单， 安装方便。较佳地，所述腔门的外表面上具有与所述第一环槽相对应的第二环槽，所述第二 环槽用于容纳所述弹簧伸出第一环槽的一端，手柄的螺纹部旋入腔体壁上的安装孔内而与 腔体壁连接时，手柄的凸台与所述腔门的外表面相抵触，弹簧伸出第一环槽的一端容置于 腔门上的第二环槽内并被压缩，弹簧产生的弹力减小手柄的凸台对腔门施加的压力，使腔 门与腔体壁保持适合的距离，分担腔门内表面上安装的密封圈的压迫量，即保持腔门上的 密封圈具有适合的压迫量，保证腔门与腔体壁之间良好的密封效果，且增长密封圈的使用 寿命O较佳地，所述腔门的内表面上安装有密封圈，腔门与腔体壁压合时，对密封圈施加 压力，使腔门与腔体壁之间保持良好的密封性，保持工艺腔室内部具有良好的真空性。与现有技术相比，由于本技术固定装置包括手柄、阻挡件及弹簧，所述手柄向 外凸伸出凸台，所述凸台向外凸伸出连接杆，所述连接杆的末端开设有螺纹并形成螺纹部， 所述凸台开设有环绕所述连接杆的第一环槽，所述弹簧穿设于所述连接杆上且一端安装于 所述第一环槽内，所述弹簧的另一端凸伸出所述第一环槽，所述腔门贯穿开设有安装孔，所 述腔体壁正对所述安装孔开设有具有内螺纹的螺纹孔，所述连接杆穿入所述安装孔且所述 螺纹部伸出所述安装孔，所述阻挡件卡设于所述连接杆上且位于所述螺纹部与所述凸台之 间，所述阻挡件与所述腔门的内表面分离地抵触，所述凸台与所述腔门的外表面分离地抵 触；腔门关闭时，将手柄的螺纹部旋进腔体壁上的螺纹孔内，使螺纹部与腔体壁螺纹连接，将腔门固定于腔体壁上，手柄的凸台与所述腔门的外表面相抵触，凸台上安装的弹簧与腔 门相抵触并被压缩，弹簧产生的弹力减小手柄的凸台对腔门施加的压力，使腔门与腔体壁 保持适合的距离，使腔门上的密封圈保持有适合的压迫量，进而保证腔门与腔体壁的密封 效果，同时延长密封圈的使用寿命；开启腔门时，旋转手柄使螺纹部退出腔体壁的螺纹孔， 手柄的凸台与腔门的外表面相分离，所述阻挡件与所述安装孔的台阶相抵触，腔门开启的 过程中，固定装置不会脱离腔门，方便腔门的频繁开启。附图说明图1是现有固定装置的截面示意图。图2是本技术固定装置的第一实施例的截面示意图。图3是图2所示固定装置的分解截面示意图。图4图2所示固定装置的使用状态的截面示意图。图5是本技术固定装置的第二实施例的截面示意图。图6是图5所示固定装置的使用状态的截面示意图。具体实施方式现在参考附图描述本技术的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元 件。如图2、图3所示，本实本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种固定装置，适用于将腔门固定于腔体壁上且能解除固定，其特征在于：所述固定装置包括手柄、阻挡件及弹簧，所述手柄向外凸伸出凸台，所述凸台向外凸伸出连接杆，所述连接杆的末端开设有螺纹并形成螺纹部，所述凸台开设有环绕所述连接杆的第一环槽，所述弹簧穿设于所述连接杆上且一端安装于所述第一环槽内，所述弹簧的另一端凸伸出所述第一环槽，所述腔门贯穿开设有安装孔，所述腔体壁正对所述安装孔开设有具有内螺纹的螺纹孔，所述连接杆穿入所述安装孔且所述螺纹部伸出所述安装孔，所述阻挡件卡设于所述连接杆上且位于所述螺纹部与所述凸台之间，所述阻挡件与所述腔门的内表面分离地抵触，所述凸台与所述腔门的外表面分离地抵触。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨明生，刘惠森，范继良，郭叶祥，王曼媛，王勇，
申请(专利权)人：东莞宏威数码机械有限公司，
类型：实用新型
国别省市：44[中国|广东]
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