用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具，可实现冷镶嵌样品的导电性。该用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具，包括具有容腔的导电基座，在导电基座上设置有可伸入导电基座容腔的导电件。通过导电基座与导电件的设置，可使试样与导电基座通过导电件形成一个导电体，从而实现了镶嵌样品的导电性，拓展了扫描电镜对样品的可使用范围；夹具结构简单，制造方便，且该夹具不受热、冷镶嵌材料的影响，无需必须选择导电的热镶嵌材料，从而可降低成本，同时还不受被镶嵌样品形状、大小的影响，很方便地实现了镶嵌样品的导电性，尤其适合镶嵌样品采用冷镶嵌材料的扫描电镜试验中推广应用。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具
本技术涉及一种夹具，具体涉及一种用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具。
技术介绍
目前，扫描电镜对试样的基本要求是具有良好的导电性。对于形状不规则的、细 小的及需要观察表层等不易拿的或保边的试样，需要对试样进行镶嵌，再进行磨制、抛光、 腐蚀等处理。目前，镶嵌材料主要是不导电的各种树脂，对试样进行镶嵌后使本来导电的 试样被镶嵌材料所包围，使试样的导电性变差，在电子束的轰击下，造成电荷积累而产生荷 电效应，会给观察和分析带来很大的困难，例如造成图像畸变，严重时甚至无法成像，并给 元素分析带来误差等，影响了扫描电镜的观察。为此，Struers Ltd.(丹麦司特尔公司)和 Buehler Ltd.(美国标乐公司)分别推出了只能进行热镶嵌的、用于SEM(扫描电子显微镜) 带有碳粉填充的酚醛热镶嵌树脂和石墨粉填充的酚醛热镶嵌树脂及用于导电的带有铁粉 填充的丙烯酸热镶嵌树脂和铜粉填充的热镶嵌环氧树脂。但是有很多试样在镶嵌时是不能 承受压力或温度的，即不能承受热镶嵌的，例如淬火裂纹、表面有腐蚀产物、或具有孔隙的 等离子涂层试样及淬火马氏体受热后会转变为回火马氏体等，就需要进行冷镶嵌，以避免 加热、加压时组织改变或受到损毁。目前，扫描电镜仅能对非镶嵌试样或热镶嵌试样进行操 作，还没有任何冷镶嵌材料能满足导电的需求，在一定程度上限制了扫描电镜的功能发挥。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具， 可实现冷镶嵌样品的导电性。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是用于镶嵌样品的扫描电镜专用 夹具，包括具有容腔的导电基座，在导电基座上设置有可伸入导电基座容腔的导电件。进一步的是，导电基座的侧壁上设置有紧固装置。进一步的是，所述紧固装置为穿透导电基座侧壁的螺钉。进一步的是，所述导电件为导电薄片。进一步的是，所述导电薄片通过紧固螺钉与导电基座紧固连接。进一步的是，在导电薄片上设置有U型槽口，紧固螺钉穿过U型槽口与导电基座紧 固连接。进一步的是，导电薄片伸入导电基座容腔的一端设置有向下的弯折触头。 进一步的是，所述导电薄片具有两个，对称布置在导电基座上。 本技术的有益效果是通过导电基座与导电件的设置，可使试样与导电基座 通过导电件形成一个导电体，从而实现了镶嵌样品的导电性，拓展了扫描电镜对样品的可 使用范围；夹具结构简单，制造方便，且该夹具不受热、冷镶嵌材料的影响，无需必须选择导 电的热镶嵌材料，从而可降低成本，同时还不受被镶嵌样品形状、大小的影响，很方便地实 现了镶嵌样品的导电性，尤其适合镶嵌样品采用冷镶嵌材料的扫描电镜试验中推广应用。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为图1的俯视图。图中标记为导电基座1、导电件2、螺钉3、U型槽口 4、紧固螺钉5、弯折触头6、试 样7、镶嵌材料8。具体实施方式以下结合附图和实施例对本技术进一步说明。如图1、图2所示，本技术的用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具，包括具有容 腔的导电基座1，在导电基座1上设置有可伸入导电基座1容腔的导电件2。夹持时，将镶 嵌样品(由试样7与镶嵌材料8组成)放入到导电基座1的容腔内，然后使导电件2与试 样7接触，这样，试样7与导电基座1通过导电件2形成一个导电体，从而实现了镶嵌样品的 导电性，拓展了扫描电镜对样品的可使用范围；夹具结构简单，制造方便，且该夹具不受热、 冷镶嵌材料的影响，无需必须选择导电的热镶嵌材料，从而可降低成本，同时还不受被镶嵌 样品形状、大小的影响，很方便地实现了镶嵌样品的导电性。为便于将镶嵌样品固定在导电基座1内，导电基座1的侧壁上设置有紧固装置。 如可以选用弹性紧固装置，当镶嵌样品放入时，压缩弹性紧固装置，镶嵌样品放到位后，松 开弹性紧固装置，则可使弹性紧固装置将镶嵌样品紧固。作为优选方式，所述紧固装置为穿 透导电基座1侧壁的螺钉3。如图1所示，镶嵌样品放入时，将螺钉3旋出导电基座1的容 腔，镶嵌样品放好后，将螺钉3旋入即可将镶嵌样品固定在导电基座1内。在以上的实施方式中，导电件2可为一根导电杆件，作为优选方式，所述导电件2 为导电薄片，最好采用导电性较好的铝或铜制作。导电薄片可直接放置在导电基座1与试 样7之间，而为了使导电效果更佳，所述导电薄片通过紧固螺钉5与导电基座1紧固连接， 可使导电薄片与试样7、导电基座1充分接触，提高导电效果。为便于调节导电薄片的位置，在导电薄片上设置有U型槽口 4，紧固螺钉5穿过U 型槽口 4与导电基座1紧固连接。导电薄片放置到试样7上时，应使导电薄片接触试样7 的边部或不需要观察的部位，为达到该目的，可通过移动导电薄片使紧固螺钉5紧固在U型 槽口 4的不同部位来实现。为提高导电效果，导电薄片伸入导电基座1容腔的一端设置有向下的弯折触头6。 这样，当紧固螺钉5将导电薄片紧固后，弯折触头6即可将试样7压死，从而可提高导电效^ ο为了提高对试样7的固定效果，所述导电薄片具有两个，对称布置在导电基座1 上。权利要求1.用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具，其特征是包括具有容腔的导电基座(1)，在导 电基座(1)上设置有可伸入导电基座(1)容腔的导电件O)。2.如权利要求1所述的用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具，其特征是导电基座(1) 的侧壁上设置有紧固装置。3.如权利要求2所述的用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具，其特征是所述紧固装置 为穿透导电基座(1)侧壁的螺钉(3)。4.如权利要求1、2或3所述的用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具，其特征是所述导 电件⑵为导电薄片。5.如权利要求4所述的用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具，其特征是所述导电薄片 通过紧固螺钉(5)与导电基座(1)紧固连接。6.如权利要求5所述的用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具，其特征是在导电薄片上 设置有U型槽口 0)，紧固螺钉(5)穿过U型槽口(4)与导电基座⑴紧固连接。7.如权利要求6所述的用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具，其特征是导电薄片伸入 导电基座(1)容腔的一端设置有向下的弯折触头(6)。8.如权利要求7所述的用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具，其特征是所述导电薄片 具有两个，对称布置在导电基座(1)上。专利摘要本技术公开了一种用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具，可实现冷镶嵌样品的导电性。该用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具，包括具有容腔的导电基座，在导电基座上设置有可伸入导电基座容腔的导电件。通过导电基座与导电件的设置，可使试样与导电基座通过导电件形成一个导电体，从而实现了镶嵌样品的导电性，拓展了扫描电镜对样品的可使用范围；夹具结构简单，制造方便，且该夹具不受热、冷镶嵌材料的影响，无需必须选择导电的热镶嵌材料，从而可降低成本，同时还不受被镶嵌样品形状、大小的影响，很方便地实现了镶嵌样品的导电性，尤其适合镶嵌样品采用冷镶嵌材料的扫描电镜试验中推广应用。文档编号H01J37/20GK201829449SQ20102054221公开日2011年5月11日 申请日期2010年9月26日 优先权日2010年9月26日专利技术者唐静, 谢杰 申请人:攀钢集团攀枝花钢铁研究院有限公司, 攀钢集团钢铁钒钛股份有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具，其特征是：包括具有容腔的导电基座（１），在导电基座（１）上设置有可伸入导电基座（１）容腔的导电件（２）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：唐静，谢杰，
申请(专利权)人：攀钢集团钢铁钒钛股份有限公司，攀钢集团攀枝花钢铁研究院有限公司，
类型：实用新型
国别省市：51[中国|四川]