【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶炉领域,尤其涉及一种单晶炉籽晶机构。
技术介绍
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备,而单晶硅又是光伏发电和 半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重 要的单晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用 太阳能的主要功能材料。单晶炉在拉晶过程中籽晶部件与坩埚部件的同心度越高,得到的籽晶质量越好, 所以在单晶炉的安装过程中需要通过籽晶机构来确定籽晶部件与坩埚部件的同心度,籽晶 机构可以使晶体能更稳定的生长,在硅单晶拉制过程中,籽晶通过由籽晶机构拉晶通过的 缩颈,排除了硅晶体中的位错,保证晶体的单一性。现有的籽晶机构如图1所示,包括籽晶 夹头1、重锤2和定位销4,所述籽晶夹头1的底端通过螺纹同轴固定在重锤2顶部轴心的 定位孔内,籽晶夹头1的顶端连接有籽晶绳6,所述重锤2底部轴心处的孔内与籽晶5套装 连接,重锤2与籽晶5之间由侧边的定位销4定位固定;由于重锤2与籽晶5之间仅仅由定 位销4固定,容易造成定位精度低,同时定位销4与籽晶5之间单边受力,使得籽晶5易折 断。
技术实现思路
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【技术保护点】
一种单晶炉籽晶夹头机构,包括籽晶夹头(1)和重锤(2),所述籽晶夹头(1)的底端通过螺纹同轴固定在重锤(2)顶部轴心的定位孔内,其特征是:该籽晶机构还包括籽晶接头(3),所述籽晶接头(3)顶部通过螺纹连接在重锤(2)底部的轴心孔内,籽晶接头(3)轴心处开有从顶部向底部的渐缩圆孔(31),籽晶(5)夹装在渐缩圆孔(31)内。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:周凯忠,
申请(专利权)人:宁夏日晶电子科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:64[中国|宁夏]
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