【技术实现步骤摘要】
:本技术涉及单晶硅或多晶硅硅棒拉制炉的零部件,尤其涉及硅棒拉制炉中的子晶夹头部件。
技术介绍
:单晶硅和多晶硅已广泛用于半导体和太阳能电池行业,直拉法制备硅棒是硅棒制造领域最常用的方法。在拉晶炉中,硅料经高温熔融后通过子晶夹头部件将硅棒旋转引出,子晶夹头部件中的夹头旋接在拉晶炉的旋转提拉轴上,子晶下端与高温熔融状的晶棒上端粘接在一起,目前常用的子晶是圆柱形的单晶硅,为了使圆柱形子晶能与夹头连接,须在子晶的壁体上磨制一个缺口,子晶放入夹头的固定孔后,通过一个固定销将子晶固定在夹头上,这样既能防止子晶向下移动,又能保持子晶与夹头的同步旋转,从而满足拉晶工艺要求。这种结构的子晶夹头部件在拉制硅棒过程中,子晶很容易在缺口处断裂。有厂家将子晶改为方柱型,将夹头的子晶固定孔改为方孔,方柱型子晶套装在夹头的方形子晶固定孔中,这样的连接结构只能实现子晶与子晶夹头的同步旋转,要实现子晶与夹头之间的轴向限定同样需要通过在子晶壁上磨制缺口,在子晶与夹头之间增设固定销来防止子晶向下移动,这种方柱型子晶夹头部件,在拉制过程中,子晶同样存在从缺口处断裂的缺陷。为有效克服这一缺陷,申请人研制出一套子晶夹头部件,子晶夹头是其中的关键零件之一。
技术实现思路
:本技术提供了一种硅棒拉制用子晶夹头。这种子晶夹头与相应子晶配套使用,在硅棒拉制过程中子晶不会断裂,并能与子晶夹头同步旋转。本技术所采用的技术方案是:本技术所述硅棒拉制用子晶夹头,其特征是:包括螺纹孔21、多棱台孔22和导向孔23,且螺纹孔21、多棱台孔22与导向孔23为同轴孔系,多棱锥台孔22的锥角为90°~150°,且多棱台孔22的上口 ...
【技术保护点】
一种硅棒拉制用子晶夹头,其特征是:包括螺纹孔(21)、多棱台孔(22)和导向孔(23),螺纹孔(21)、多棱台孔(22)与导向孔(23)为同轴孔系,多棱台孔(22)的锥角为90°~150°,且多棱台孔(22)的上口大于下口。
【技术特征摘要】
1.一种硅棒拉制用子晶夹头,其特征是:包括螺纹孔(21)、多棱台孔(22)和导向孔(23),螺纹孔(21)、多棱台孔(22)与导向孔(23)为同轴孔系,多棱台孔(22)的锥角为90°~150°,且多棱台孔(22)的上...
【专利技术属性】
技术研发人员:蒋新民,
申请(专利权)人:常州亿晶光电科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:32[中国|江苏]
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