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硅棒拉制用子晶夹头制造技术
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文档序号:4342477
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一种硅棒拉制用子晶夹头,包括螺纹孔、多棱台孔和导向孔,且螺纹孔、多棱台孔与导向孔为同轴孔系,多棱锥台孔的锥角为90°~150°,且多棱台孔的上口大于下口。由于在夹头的螺纹孔底部开设了同轴的多棱台孔和导向孔,多棱台孔与子晶上连接多棱台相对应,...
该专利属于常州亿晶光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州亿晶光电科技有限公司授权不得商用。
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