一种新型籽晶夹头制造技术

技术编号:4187477 阅读:179 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术属半导体材料制备设备领域,特别涉及一种新型籽晶夹头。籽晶夹头由夹头座和夹头嘴组成,夹头嘴的上部和夹头座的下连接孔螺纹连接,夹头嘴由左右对称的两个半圆块组成,每个半圆块的圆锥体一端中心有一个长方形卡槽,夹头嘴的两个半圆块合在一起其长方形卡槽组成方形工字型卡槽,籽晶为正方形截面的长方体,上端部有工字型头,籽晶通过工字型头和夹头嘴的方形工字型卡槽安装在夹头嘴上,再通过夹头座的上连接孔和晶体生长机重锤螺纹连接,把籽晶夹头和籽晶安装在晶体生长机上。本实用新型专利技术的籽晶是方形,不需要滚磨工序,切割可以保证精确的晶向,用于生长锗单晶和锗多晶,能够保证晶体生长后的晶向。(*该技术在2018年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术属半导体材料制备设备领域,特别涉及一种新型籽晶 夹头。
技术介绍
锗是元素半导体,具有高折射率、低色散、易加工、良好的机械强度等优点,因而广泛应用于红外光学材料领域。在最近10年时间,航天技术化的飞速发展,对空间太阳电池提出了更高的要求。和传统 的硅太阳电池相比,砷化镓太阳电池具有高转换效率、耐辐射、温度 特型号和寿命长等优点,为提高转换效率,满足空间使用要求,对衬 底锗片提出更高要求,要求大尺寸,低位错密度。高掺杂,高机械强 度等。因而,锗材料在半导体领域的应用在逐渐扩大。在锗单晶和锗多晶生长需要用籽晶,现用的籽晶固定位置为圆锥 形,籽晶加工上,通过切割及定位磨削,制作籽晶,加工的时候损耗 较大。使用的圆锥形籽晶在加工时会由于滚磨造成晶向偏差,故在生 长单晶后晶向偏差较大。使用的籽晶是圆锥形的,放入夹头中会产生 晃动,在生长定向单晶时不好控制。因此需要一种新型籽晶夹头,使 用便于定向、切割和加工的籽晶,以便能够生产大尺寸,低位错密度、 高掺杂,高机械强度的锗单晶和锗多晶。
技术实现思路
本技术的目的为了解决
技术介绍
中使用圆锥形籽晶的问题, 提供一种新型籽晶夹头,其特征在于,籽晶夹本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型籽晶夹头,其特征在于:所述籽晶夹头中夹头座(1)为圆柱体,上下分别有上和下连接孔,夹头嘴(2)的上部为圆柱体,和夹头座(1)的下连接孔螺纹连接,下部为圆锥体,夹头嘴(2)由左右对称的两个半圆块组成,每个夹头嘴半圆块的圆锥体一端中心有一个长方形卡槽,长方形卡槽底面中部有一个凸台,夹头嘴(2)的两个半圆块合在一起其长方形卡槽组成正方形工字型卡槽(4),籽晶(3)为正方形截面的长方体,上端两个相对侧面上的凹面构成工字型头(5),籽晶(3)通过工字型头(5)和夹头嘴的正方形工字型卡槽(4)安装在夹头嘴(2)上,再通过夹头座(1)的上连接孔和晶体生长机重锤螺纹连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:李楠闵振东冯德伸
申请(专利权)人:北京有色金属研究总院北京国晶辉红外光学科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:11[中国|北京]

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