【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶炉领域,尤其涉及一种单晶炉放气装置。
技术介绍
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备,而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的单晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。在硅单晶拉制过程中,炉体内压力超过正常拉晶参数设定值时,便于调节炉体内压力。如图1所示,现有技术中的放气装置为手动操作,包括放气阀体1、放气阀螺母2和卡箍6,所述放气阀体1由卡箍6固定在隔离阀的放气接口7上用内密封圈5密封,所述的放气阀螺母2设置在放气阀体1的放气口上,放气阀螺母2轴心处设置有连接轴21,连接轴21的顶端为锥形,锥形端面和放气阀体1的放气口相配合。需要放气时手动旋开放气阀螺母2,连接轴21的锥形端面离开放气阀体1的放气口实现放气。该种放气装置在非放气状态时紧紧依靠锥形面密封,密封性很差,而且放气阀螺母2在旋开的过程中容易完全旋出掉落,可靠性差。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种单晶炉放气装置,该放气装置用外密封圈保证非放气时机构的气密 ...
【技术保护点】
一种单晶炉放气装置,包括放气阀体(1)、放气阀螺母(2)和卡箍(6),所述放气阀体(1)由卡箍(6)固定在隔离阀的放气接口(7)上用支架支撑内密封圈(5)密封,放气阀螺母(2)设置在放气阀体(1)的放气口上,其特征是:所述放气阀体(1)的放气口上设置有一圈密封圈槽,密封圈槽内设置有外密封圈(3),外密封圈(3)和放气阀螺母(2)相配合,所述放气阀体(1)的外壁设置有限位凸台,所述放气阀螺母(2)侧壁上开有通孔,通孔内装有顶丝(4),所述顶丝(4)和限位凸台相配合。
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉放气装置,包括放气阀体(1)、放气阀螺母(2)和卡箍(6),所述放气阀体(1)由卡箍(6)固定在隔离阀的放气接口(7)上用支架支撑内密封圈(5)密封,放气阀螺母(2)设置在放气阀体(1)的放气口上,其特征是:所述放气阀体(1)的放气口上设置有一圈密封圈槽,密封圈槽内设置有外密封圈(3),外密封圈(3)和放气阀螺母(...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨金海,
申请(专利权)人:宁夏日晶电子科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:64[中国|宁夏]
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