单晶炉用坩埚轴制造技术

本实用新型专利技术属于单晶炉制造技术领域，涉及直拉法单晶炉用坩埚轴。一种单晶炉用坩埚轴，包括坩埚轴本体和内管，坩埚轴本体套装在内管外，坩埚轴本体和内管之间有间隙，还包括芯轴和滑动轴承，所述坩埚轴本体包括轴头、主轴和旋转接头，轴头设置在主轴上端，旋转接头设置在主轴下端，所述主轴和旋转接头的轴心上开有相连通的通孔，所述坩埚轴本体内开有空腔，芯轴设置在空腔中通过滑动轴承安装在内管上端，芯轴轴心开有和内管连通的通孔，所述芯轴通过固定销固定在坩埚轴本体上，芯轴和坩埚轴本体之间有间隙。本实用新型专利技术与现有技术相比，本实用新型专利技术在坩埚轴内部增设芯轴，大大提高了坩埚轴的水冷效果，并且本实用新型专利技术安装简单。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于单晶炉制造
，涉及直拉法单晶炉用坩埚轴。
技术介绍
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和 半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重 要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用 太阳能的主要功能材料。单晶炉用坩埚轴的作用如下在硅单晶拉制过程中，坩埚轴按设定值勻速上升，便 于单晶硅晶体的结晶。参见图1，现有技术的单晶炉用坩埚轴，包括坩埚轴本体和内管，坩 埚轴本体1套装在内管2外，坩埚轴本体1和内管2之间有间隙，坩埚轴本体1上端为短柱 体，坩埚轴本体1下端为长柱体，所述短柱体外表面开有螺纹，石墨托杆轴通过螺纹连接固 定在坩埚轴本体1上端。循环冷却水通过内管流进坩埚轴本体，再由内管与坩埚轴本体之 间的间隙流出坩埚轴本体。现有技术的单晶炉用坩埚轴都是采用常规的冷却结构，其冷却 效果差，而且顶部采用螺纹结构，工作过程中易损坏石墨坩埚轴螺纹。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种单晶炉用坩埚轴，该单晶炉用坩埚轴的水冷效果 好且安装简单，此外，该单晶炉用坩埚轴避免了坩埚轴与石墨托杆轴螺纹连接造成的螺纹 损坏，延长了坩埚轴和石墨托杆轴的使用寿命。本技术是这样实现的一种单晶炉用坩埚轴，包括坩埚轴本体和内管，坩埚轴 本体套装在内管外，坩埚轴本体和内管之间有间隙，还包括芯轴和滑动轴承，所述坩埚轴本 体包括轴头、主轴和旋转接头，轴头设置在主轴上端，旋转接头设置在主轴下端，所述主轴 和旋转接头的轴心上开有相连通的通孔，所述坩埚轴本体内开有空腔，芯轴设置在空腔中 通过滑动轴承安装在内管上端，芯轴轴心开有和内管连通的通孔，所述芯轴通过固定销固 定在坩埚轴本体上，芯轴和坩埚轴本体之间有间隙。所述坩埚轴本体上端开有限位槽，所述限位槽为圆台形，圆台与坩埚轴本体同轴设置。所述限位槽内底面中心位置开有螺纹孔。本技术与现有技术相比，本技术在坩埚轴本体内部增设芯轴，增加了坩 埚轴内部的冷却面积，提高了坩埚轴的水冷效果，并且本技术安装简单。此外，本实用 新型单晶炉用坩埚轴是在坩埚轴本体上端开有圆台形限位槽，并在限位槽内底面中心位置 开有螺纹孔，通过用与螺纹孔相配合的螺钉将石墨托杆轴固定在坩埚轴上端。坩埚轴本体 上端采用圆台形限位槽实现了坩埚轴与石墨托杆轴之间的精确定位，同时坩埚轴与石墨托 杆轴之间采用螺钉连接，避免了坩埚轴与石墨托杆轴之间直接螺纹连接造成的螺纹损坏， 本技术延长了坩埚轴和石墨托杆轴的寿命，降低了维修成本。附图说明图1为现有技术单晶炉用坩埚轴的内部结构示意图；图2为本技术单晶炉用坩埚轴的内部结构示意图；图3为图2的A向放大示意图。图中1坩埚轴本体、11轴头、12主轴、13旋转接头、2内管、3芯轴、4固定销、5滑 动轴承、6进水口、7出水口。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明。参见图2，一种单晶炉用坩埚轴，包括坩埚轴本体1和内管2，坩埚轴本体1套装在 内管2外，坩埚轴本体1和内管2之间有间隙，还包括芯轴3和滑动轴承5，所述坩埚轴本体 1包括轴头U、主轴12和旋转接头13，轴头11设置在主轴12上端，旋转接头13设置在主 轴12下端，所述主轴12和旋转接头13的轴心上开有相连通的通孔，所述坩埚轴本体1内 开有空腔，芯轴3设置在空腔中通过滑动轴承5安装在内管2上端，芯轴3轴心开有和内管 2连通的通孔，所述芯轴3通过固定销4固定在坩埚轴本体1上，芯轴3和坩埚轴本体1之 间有间隙。所述坩埚轴本体1上端开有限位槽，所述限位槽为圆台形，圆台与坩埚轴本体1 同轴设置。所述限位槽内底面中心位置开有螺纹孔。本技术通过用与螺纹孔相配合的 螺钉将石墨托杆轴固定在坩埚轴本体1上端。这避免了坩埚轴本体1与石墨托杆轴之间直 接螺纹连接造成的螺纹损坏，本技术延长了坩埚轴和石墨托杆轴的寿命，降低了维修 成本。循环冷却水通过内管2下端的进水口 6流进内管2，循环冷却水从内管2下端流向 内管2上端，经由内管2上端的芯轴3流向内管2与坩埚轴本体1之间的间隙，最后循环冷 却水从坩埚轴本体1下端的出水口 7流出。从图3可以看出，本实用型大大增加了坩埚轴 内部循环水的冷却面积，提高了坩埚轴的水冷效果。上述实施例仅供说明本技术之用，而并非是对本技术的限制，有关技术 领域的普通技术人员，在不脱离本技术的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此， 所有等同的技术方案也应属于本技术的范畴。权利要求一种单晶炉用坩埚轴，包括坩埚轴本体(1)和内管(2)，坩埚轴本体(1)套装在内管(2)外，坩埚轴本体(1)和内管(2)之间有间隙，其特征是还包括芯轴(3)和滑动轴承(5)，所述坩埚轴本体(1)包括轴头(11)、主轴(12)和旋转接头(13)，轴头(11)设置在主轴(12)上端，旋转接头(13)设置在主轴(12)下端，所述主轴(12)和旋转接头(13)的轴心上开有相连通的通孔，所述坩埚轴本体(1)内开有空腔，芯轴(3)设置在空腔中通过滑动轴承(5)安装在内管(2)上端，芯轴(3)轴心开有和内管(2)连通的通孔，所述芯轴(3)通过固定销(4)固定在坩埚轴本体(1)上，芯轴(3)和坩埚轴本体(1)之间有间隙。2.根据权利要求1所述的单晶炉用坩埚轴，其特征是所述坩埚轴本体(1)上端开有 限位槽，所述限位槽为圆台形，圆台与坩埚轴本体⑴同轴设置。3.根据权利要求2所述的单晶炉用坩埚轴，其特征是所述限位槽内底面中心位置开 有螺纹孔。专利摘要本技术属于单晶炉制造
，涉及直拉法单晶炉用坩埚轴。一种单晶炉用坩埚轴，包括坩埚轴本体和内管，坩埚轴本体套装在内管外，坩埚轴本体和内管之间有间隙，还包括芯轴和滑动轴承，所述坩埚轴本体包括轴头、主轴和旋转接头，轴头设置在主轴上端，旋转接头设置在主轴下端，所述主轴和旋转接头的轴心上开有相连通的通孔，所述坩埚轴本体内开有空腔，芯轴设置在空腔中通过滑动轴承安装在内管上端，芯轴轴心开有和内管连通的通孔，所述芯轴通过固定销固定在坩埚轴本体上，芯轴和坩埚轴本体之间有间隙。本技术与现有技术相比，本技术在坩埚轴内部增设芯轴，大大提高了坩埚轴的水冷效果，并且本技术安装简单。文档编号F27B14/10GK201670891SQ201020213850公开日2010年12月15日 申请日期2010年6月3日 优先权日2010年6月3日专利技术者周凯忠 申请人:宁夏日晶电子科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单晶炉用坩埚轴，包括坩埚轴本体（１）和内管（２），坩埚轴本体（１）套装在内管（２）外，坩埚轴本体（１）和内管（２）之间有间隙，其特征是：还包括芯轴（３）和滑动轴承（５），所述坩埚轴本体（１）包括轴头（１１）、主轴（１２）和旋转接头（１３），轴头（１１）设置在主轴（１２）上端，旋转接头（１３）设置在主轴（１２）下端，所述主轴（１２）和旋转接头（１３）的轴心上开有相连通的通孔，所述坩埚轴本体（１）内开有空腔，芯轴（３）设置在空腔中通过滑动轴承（５）安装在内管（２）上端，芯轴（３）轴心开有和内管（２）连通的通孔，所述芯轴（３）通过固定销（４）固定在坩埚轴本体（１）上，芯轴（３）和坩埚轴本体（１）之间有间隙。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周凯忠，
申请(专利权)人：宁夏日晶电子科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：64[中国|宁夏]