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本实用新型属于单晶炉制造技术领域，涉及直拉法单晶炉用坩埚轴。一种单晶炉用坩埚轴，包括坩埚轴本体和内管，坩埚轴本体套装在内管外，坩埚轴本体和内管之间有间隙，还包括芯轴和滑动轴承，所述坩埚轴本体包括轴头、主轴和旋转接头，轴头设置在主轴上端，旋转...
该专利属于宁夏日晶电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁夏日晶电子科技有限公司授权不得商用。

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