一种直拉硅单晶炉的复投料装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种直拉硅单晶炉的复投料装置，所述装置由钢制的投料筒、法兰、封底圆锥台、拉杆、拉杆管套和钼螺母等部分构成；采用钢材为结构材料，封底采用钢制的一个圆锥台进行封底，而控制结构则仅采用拉杆以及拉杆套管用于控制投料，这样比采用压杆、操纵连杆、以及压杆滑轮、插板阀等组成的复杂控制结构要简单很多。而且投料筒底部直径较小，这样可以使物料投放更加集中，从而避免投料时多晶料块掉到坩埚外部的情况，本复投料装置不但结构简单、耐用、操作简便而且使用时较为稳定。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及 硅单晶炉配套设备，特别涉及一种直拉硅单晶炉的复投料装置。
技术介绍
为了避免直拉硅单晶生产中的单次投料不足问题以及石英坩埚使用寿命短的问 题，多种结构和材料的直拉复投料装置被专利技术并投入到生产中，目的是提供硅晶棒的成 品率和石英坩埚的寿命，以达到提高产出和降低成本的目的。目前国内市场上常见的硅单晶炉连续投料装置有三种第一种是用石英做成 的，但石英易碎、不耐用而且造价较高；第二种采用不锈钢为结构材料，底部由三片至 六片不锈钢叶片及重锤的组合进行封底，叶片与料筒采用合页连接。但此种装置结构 较为复杂，而且底部的合页结构容易在投料时被高温软化变形甚至脱落，使用性能不稳 定；第三种采用压杆、操纵连杆、以及压杆滑轮、插板阀等作为控制结构，而且在使用 中需在投料筒的底部用硅片来进行封底。不但结构复杂，需对设备进行改造，而且操作 较为烦琐。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种结构简单、耐用、操作简便且稳定性好的复投料装置。为达到以上目的，本专利技术的复投料装置采用钢为结构材料，封底结构中不再使 用钢叶片和重锤、硅片等封底，仅采用钢制的一个圆锥台进行封底。而控制结构则仅采 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种直拉硅单晶炉的复投料装置，其特征在于：所述装置由拉杆（１）、拉杆套管（２）、法兰（３）、钢制投料筒（４）、封底锥台（５）、钼螺母（６）和固定杆（７）构成；所述投料筒（４）上部外围焊接有钢制法兰（３）；所述投料筒（４）内部结构由活动部件和固定部件两个部分组成；所述活动部件包括封底锥台（５）和拉杆（１），拉杆（１）下端头加工有螺纹，封底锥台（５）中心加工有通孔，拉杆（１）下端头穿过封底锥台（５）中心孔，通过用钼螺母（６）锁紧，封底锥台（５）与拉杆（１）　紧固连接；所述固定部件包括拉杆套管（２）和固定杆（７），拉杆套管（２）固定在固定杆（７）上，固定杆（７）固定在投料筒（４）内壁上；拉杆（１）套...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：康冬辉，姚勇，徐强，张雪囡，李建弘，王林，张焕新，沈浩平，
申请(专利权)人：天津市环欧半导体材料技术有限公司，
类型：发明
国别省市：12[中国|天津]