下载一种直拉硅单晶炉的复投料装置的技术资料

文档序号:5488619

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本发明涉及一种直拉硅单晶炉的复投料装置,所述装置由钢制的投料筒、法兰、封底圆锥台、拉杆、拉杆管套和钼螺母等部分构成;采用钢材为结构材料,封底采用钢制的一个圆锥台进行封底,而控制结构则仅采用拉杆以及拉杆套管用于控制投料,这样比采用压杆、操纵连...
该专利属于天津市环欧半导体材料技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津市环欧半导体材料技术有限公司授权不得商用。

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