一体式热屏吊具制造技术

本实用新型专利技术公开了一体式热屏吊具，它包括一个位于隔离阀内的本体部分，其特征在于，还包括一专门用于悬吊籽晶的籽晶夹头和用以悬吊所述热屏的热屏挂钩，籽晶夹头和热屏挂钩安装在所述本体的底部并延伸进炉盖内。本实用新型专利技术一体式热屏吊具是将籽晶夹头与热屏吊钩有机的结合在一起，而且两项功能都互不干扰。大大的省去了很多的操作步骤，节约了操作的时间，既提高了操作的安全性，又大幅的降低了生产成本。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种单晶炉中用于悬挂热屏的吊具，特别涉及的是一种集悬吊籽晶与悬挂热屏两项功能于一体的一体式热屏吊具。
技术介绍
半导体单晶体的生长中，大都是利用切克劳斯基法制造(简称CZ)法。在这种方法中，将高纯度的多晶硅按一定要求装入石英坩埚内，然后加热石英坩埚，将其中的多晶硅溶化，接下来将熔硅略微降温，给予一定得过冷度，等熔硅静定后，把一根特制的标准单晶硅(通常叫籽晶)与熔硅接触金进行引晶，引晶到适当长度后开始放肩(晶棒直径变大)，稍后即开始转肩，随后即进入等径生长阶段，这一阶段持续时间可以很长，视拉晶的长度而定，达到设计要求即可收尾，收尾完毕后晶棒冷却，取出单晶体，即完成一次拉晶。 上述拉晶过程中如何提高拉晶效率及降低能耗一直是此领域研究的重点，在已知的专利文献和实际使用的硅单晶炉中，多采用专用的热屏和专用的热屏吊具，如附图说明图1所示，专用的热屏吊具1安装在隔离阀2中并延伸进炉盖3内，专用的热屏吊具1上的挂钩11将热屏4吊起悬挂在炉盖3内。由于用专用的热屏吊具1在化完料后要从隔离阀2中取出，破坏了炉体的真空，造成炉体漏气而导致无法正常拉晶，而且在取出专用的热屏吊具1换上籽晶后，再本文档来自技高网...

【技术保护点】
一体式热屏吊具，它包括一个位于隔离阀内的本体部分，其特征在于，还包括一专门用于悬吊籽晶的籽晶夹头和用以悬吊所述热屏的热屏挂钩，籽晶夹头和热屏挂钩安装在所述本体的底部并延伸进炉盖内。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：顾燕滨，
申请(专利权)人：上海申和热磁电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]