自动升降组件及纳米探针制作组件制造技术

本实用新型专利技术提供了一种自动升降组件，该组件包括支架；可根据第一控制信号驱动第二驱动部靠近或远离腐蚀液的第一驱动部，固定于支架；可夹持待伸入至腐蚀液的待腐蚀物的伸缩部，装设于第二驱动部朝向腐蚀液的一端；可依据第二控制信号在靠近腐蚀液时驱动伸缩部伸缩、以调整所夹持待腐蚀物伸入至腐蚀液长度的第二驱动部；以及，输出第一控制信号至第一驱动部、输出第二控制信号至第二驱动部的控制器。本实用新型专利技术还提供了一种纳米探针制作组件。采用本实用新型专利技术的自动升降组件，能够提高升降速度的均匀性；采用本实用新型专利技术提供的纳米探针制作组件，能够提高探针升降速度的均匀性，进而能够提高探针针尖锥度的均匀性。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体技术，特别涉及一种自动升降组件及纳米探针制作组件。
技术介绍
纳米探针在半导体芯片微小结构的电性测试中发挥了非常重要的作用，由于使用 后的纳米探针无法重复利用，因此，在半导体测试中需要消耗大量的纳米探针。为了节约半 导体测试成本，通常应用纳米探针腐蚀器自制探针。 图1为现有的纳米探针制作组件的结构示意图，现结合图1对现有的纳米探针制 作组件的结构进行说明书，具体如下现有的纳米探针制作组件包括纳米探针腐蚀器10、 U形管ll、铜棒12及鸨丝13。其中纳米探针腐蚀器10包含阴极101和阳极102。纳米探 针腐蚀器10的阳极102连接用于制作探针的钨丝13，阴极101连接铜棒12 ;钨丝103浸入 U型管11 一端的腐蚀液中，铜棒12浸入U型管11另一端的腐蚀液中；纳米探针腐蚀器10 通过其阴极101和阳极102输出电流，钨丝13及铜棒12在腐蚀液中发生电化学反应，钨丝 13被腐蚀，且靠近U型管11腐蚀液的液面的电化学反应剧烈，随着深度增加电化学反应减 弱。浸入腐蚀液中且靠近液面处的钨丝13被腐蚀得最快，且随着深度的增加电化学反应减 弱，因此，浸入腐蚀液中的钨丝13逐渐变细、且沿电化学反应剧烈处至液面方向逐渐变粗、 形成一定的锥度。当位于电化学反应剧烈处的钨丝13被腐蚀到足够细，以至于浸入腐蚀液 中未完全被腐蚀掉的钨丝13将该钨丝最细处拉断时，纳米探针腐蚀器IO检测到电流波动， 停止供电，此时U形管ll中的电化学反应停止，由钨丝制作得到纳米探针。 但是，采用现有的纳米探针制作组件获得的纳米探针的针尖锥度较大，且针尖的 长度较短，这就造成测试中遮挡视线，并影响成像质量；若采用多个纳米探针对同一区域进 行测试，可能由于针尖锥度较大且长度较短造成探针间相互碰触，以至于探针针尖无法对 既定区域进行测试。 为了解决探针针尖长度较短的问题，通常在探针腐蚀过程中缓慢提升钨丝，以获 得针尖长度较长的探针，且提升速度越快，得到的针尖锥度就越小，针尖就越长。目前，通常 将用于制作探针的钨丝固定于夹具上，夹具通过连杆固定于一螺杆。可通过手动旋转螺杆 带动固定于夹具上的探针沿竖直方向移动，实现对浸入腐蚀液中的钨丝长度的控制。但是， 采用现有的组件由于采用手动提升，不仅难以做到提升速度均匀，而且耗费人力，采用现有 的组件制作的探针针尖锥度不均匀，影响了探针的品质。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供了一种纳米探针制作组件，该组件能够提高探针针尖 锥度的均匀性。 本技术还提供了一种自动升降组件，该组件能够提高升降速度的均匀性。 为达到上述目的，本技术的技术方案具体是这样实现的 —种自动升降组件，其中，该组件包括支架； 可根据第一控制信号驱动第二驱动部靠近或远离腐蚀液的第一驱动部，固定于支 架； 可夹持待伸入至腐蚀液的待腐蚀物的伸縮部，装设于第二驱动部朝向腐蚀液的一丄山顺； 可依据第二控制信号在靠近腐蚀液时驱动伸縮部伸縮、以调整所夹持待腐蚀物伸 入至腐蚀液长度的第二驱动部； 以及，输出第一控制信号至第一驱动部、输出第二控制信号至第二驱动部的控制 器。上述组件中，所述第一驱动部包括 具有支撑框架且固定于支架的第一壳体； 收容于第一壳体内、并可依据第一控制信号正转或反转的第一电机； 以及，收容于第一壳体内、将第一电机的转动转换为直线运动、并可随第一电机正转驱动第二驱动部靠近腐蚀液、随第一电机反转驱动第二驱动部远离腐蚀液的第一传动元件。上述组件中，所述第二驱动部包括 具有支撑框架且固定于第一驱动部的第二壳体； 收容于第二壳体内、并可依据第二控制信号在靠近腐蚀液时正转或反转的第二电 机； 以及，收容于第二壳体内、将第二电机的转动转换为直线运动、并可随第二电机正 转或反转驱动伸縮部伸縮、以调整所夹持待腐蚀物伸入至腐蚀液长度的第二传动元件。 —种纳米探针制作组件，包括盛有腐蚀液、且一端可置入铜棒、另一端可置入制 作探针的钨丝的U形管； 阳极与钨丝连接、阴极与铜棒连接、且输出电流至钨丝和铜棒直至获得探针的纳 米探针腐蚀器； 该组件还包括支架； 可根据第一控制信号驱动第二驱动部靠近或远离U形管中腐蚀液的第一驱动部， 固定于支架； 可夹持待伸入至U型管腐蚀液的钨丝的伸縮部，装设于第二驱动部朝向腐蚀液的丄山i而； 可依据第二控制信号在靠近U形管内腐蚀液时驱动伸縮部伸縮、以调整所夹持钨 丝伸入至腐蚀液长度的第二驱动部； 以及，输出第一控制信号至第一驱动部、输出第二控制信号至第二驱动部的控制 器。上述组件中，所述第一驱动部包括 具有支撑框架且固定于支架的第一壳体； 收容于第一壳体内、并可依据第一控制信号正转或反转的第一电机； 以及，收容于第一壳体内、将第一电机的转动转换为直线运动、并可随第一电机正转驱动第二驱动部靠近腐蚀液、随第一电机反转驱动第二驱动部远离腐蚀液的第一传动元件。 上述组件中，所述第二驱动部包括 具有支撑框架且固定于第一驱动部的第二壳体； 收容于第二壳体内、并可依据第二控制信号在靠近腐蚀液时正转或反转的第二电 机； 以及，收容于第二壳体内、将第二电机的转动转换为直线运动、并可随第二电机正 转或反转驱动伸縮部伸縮、以调整所夹持待腐蚀物伸入至腐蚀液长度的第二传动元件。 采用本技术的纳米探针制作组件，第一驱动部可根据控制器输出的第一控制 信号驱动第二驱动部靠近或远离腐蚀液，第二驱动部可根据控制器输出的第二控制信号驱 动伸縮部伸縮，以控制固定于伸縮部的待腐蚀物伸入腐蚀液的长度；利用上述组件对钨丝 进行腐蚀时，可提高伸入腐蚀液的钨丝升降速度的均匀性，进而可利用腐蚀液中的电化学 反应制作针尖锥度具有较高均匀性的探针。本技术还提供了一种自动提升组件，第一 驱动部可根据控制器输出的第一控制信号驱动第二驱动部靠近或远离腐蚀液，第二驱动部 可根据控制器输出的第二控制信号驱动伸縮部伸縮，以控制固定于伸縮部的待腐蚀物伸入 腐蚀液的长度；利用上述组件可对待腐蚀物伸入或远离腐蚀液的升降速度进行控制，提高 升降速度的均匀性。附图说明图1为现有的纳米探针制作组件的结构示意图。图2为本技术纳米探针制作组件的结构示意图。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案、及优点更加清楚明白，以下参照附图并举实施 例，对本技术进一步详细说明。 —种自动升降组件，其中，该组件包括支架；可根据第一控制信号驱动第二驱动 部靠近或远离腐蚀液的第一驱动部，固定于支架；可夹持待伸入至腐蚀液的待腐蚀物的伸 縮部，装设于第二驱动部朝向腐蚀液的一端；可依据第二控制信号在靠近腐蚀液时驱动伸 縮部伸縮、以调整所夹持待腐蚀物伸入至腐蚀液长度的第二驱动部；以及，输出第一控制信 号至第一驱动部、输出第二控制信号至第二驱动部的控制器。 —种纳米探针制作组件，包括盛有腐蚀液、且一端可置入铜棒、另一端可置入制作探针的钨丝的U形管；阳极与钨丝连接、阴极与铜棒连接、且输出电流至钨丝和铜棒直至获得探针的纳米探针腐蚀器；该组件还包括支架；可根据第一控制信号驱动第二驱动部靠近或远离U形管中腐蚀液的第一驱动部，固定于支架；可夹持待伸入至U型管腐蚀液的钨丝的伸縮部，装设于第二驱动部朝向腐蚀液的一端；可依据第二控制信号在靠近U形管内腐蚀液时驱动伸縮部伸縮、以调整所夹持本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自动升降组件，其中，该组件包括：支架；可根据第一控制信号驱动第二驱动部靠近或远离腐蚀液的第一驱动部，固定于支架；可夹持待伸入至腐蚀液的待腐蚀物的伸缩部，装设于第二驱动部朝向腐蚀液的一端；可依据第二控制信号在靠近腐蚀液时驱动伸缩部伸缩、以调整所夹持待腐蚀物伸入至腐蚀液长度的第二驱动部；以及，输出第一控制信号至第一驱动部、输出第二控制信号至第二驱动部的控制器。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：崔立超，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]