一种新型多晶硅氢化炉加热棒布置结构制造技术

一种新型多晶硅氢化炉加热棒布置结构，由底盘、隔热盘、隔热罩和复数个加热棒构成，加热棒均呈倒Ｕ型，任意一个加热棒的两端均连接在底盘上，底盘中与加热棒的连接处均设置有电极孔，加热棒分布在以底盘出气孔为圆心的第一圆周、第二圆周和第三圆周上，第一圆周上的加热棒、第二圆周上的加热棒和第三圆周上的加热棒在同心圆上角度交错和半径交错地分布，延长了氢化炉内的温度场，加热棒径向截面呈扁平状，可阻挡气流向底盘出气孔运动，使气流流向底盘底部后再回流向上，最后在加热棒的各层之间形成近似蛇形的流动，延长了四氯化硅和氢气的反应时间，气体可以得到充分反应，提高了处理效果，同时，充分利用了多晶硅氢化炉内的温度场，节约了资源。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及电化学领域，尤其涉及多晶硅制造技术，特别涉及多晶硅氢化炉，具体的是一种新型多晶硅氢化炉加热棒布置结构。技术背景 利用西门子法生产多晶硅会产生大量的四氯化硅，如果将四氯化硅直接排放，不 仅造成了资源的浪费，更会给环境带来非常严重的污染。现有技术中，多晶硅生产线上利 用多晶硅氢化炉作为尾气处理及原料循环利用装置，多晶硅氢化炉内部主要发生SiCl4向SiHCl3的转化反应SiCl4+H2 ^SiHC^+Ha，该反应要求比较高的温度。而目前多晶硅 氢化炉中的加热棒呈环形布置，使得气体没有充分反应就被排出，处理效果不好，增加了后 续处理的难度，同时，没有充分利用多晶硅氢化炉内的温度场，导致资源浪费。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种新型多晶硅氢化炉加热棒布置结构，所述的这种 新型多晶硅氢化炉加热棒布置结构要解决现有技术中多晶硅氢化炉中加热棒的环形布置 方式产生的排出气体没有充分反应、温度场利用不足的技术问题。 本技术的这种新型多晶硅氢化炉加热棒布置结构由底盘、隔热盘、隔热罩和 复数个加热棒构成，其中，由底盘、隔热盘、隔热罩和复数个加热棒构成，其中，所述的隔热 盘设置在底盘的上侧，所述的隔热罩设置在隔热盘和底盘的上方，底盘的中心设置有出气 孔，隔热罩的顶部设置有进气孔，任意一个所述的加热棒均呈倒U型，任意一个加热棒的两 端均连接在底盘上，底盘中与任意一个加热棒的连接处均设置有电极孔，任意一个所述的 电极孔中均设置有电极座，任意一个所述的电极座均各自与加热棒的一端连接，加热棒分 布在与所述的出气孔同圆心的至少三个圆周上，位于其中的最大直径圆周上的任意一个加 热棒两端之间的连线均与同一圆周相切，位于其余的圆周上的任意一个加热棒两端之间的 连线均各自位于该最大直径圆的半径方向上，任意相邻的两个圆周上的加热棒两端之间的 连线均错开并呈大于O度的夹角，任意相邻的两个圆周上的加热棒两端之间的连线均跨越一个或多个中间圆周，任意一个所述的中间圆周均与出气孔同圆心、并与加热棒所在的两 个圆周内外相邻。 进一步的，任意一个加热棒的径向截面均呈扁平状。 本技术的工作原理是加热棒在复数个同心圆上角度交错和半径交错地分 布，倒U型加热棒的扁平截面阻挡气流向底盘出气孔运动，使得气流流向底盘底部后再回 流向上，最后在加热棒的各层之间形成近似蛇形的流动，延长了四氯化硅和氢气的反应时 间，气体可以得到充分反应，提高了处理效果，同时，充分利用了多晶硅氢化炉内的温度场， 节约了资源。 本技术和已有技术相比，其效果是积极和明显的。本技术在多晶硅氢化 炉的底盘上沿复数个个同心圆周角度交错和半径交错地设置了倒U型加热棒，加热棒径向截面设置呈扁平状，阻挡气流向底盘出气孔运动，使得气流流向底盘底部后再回流向上，最 后在加热棒的各层之间形成近似蛇形的流动，延长了四氯化硅和氢气的反应时间，气体可 以得到充分反应，提高了处理效果，同时，充分利用了多晶硅氢化炉内的温度场，节约了资 源。附图说明 图1是本技术的新型多晶硅氢化炉加热棒布置结构的示意图。图2是本技术的新型多晶硅氢化炉加热棒布置结构中的加热棒分布俯视图。 图3是本技术的新型多晶硅氢化炉加热棒布置结构中的底盘的俯视图。具体实施方式 实施例l: 如图1 、图2和图3所示，本技术的新型多晶硅氢化炉加热棒布置结构，由底盘 1、隔热盘2、隔热罩5和复数个加热棒4构成，其中，所述的隔热盘2设置在底盘1的上侧， 所述的隔热罩5设置在隔热盘2和底盘1的上方，底盘1的中心设置有出气孔6，隔热罩5 的顶部设置有进气孔7，任意一个所述的加热棒4均呈倒U型，任意一个加热棒4的两端均 连接在底盘1上，底盘1中与任意一个加热棒4的连接处均设置有电极孔8，任意一个所述 的电极孔8中均设置有电极座3，任意一个所述的电极座3均各自与加热棒4的一端连接， 在本技术的这个实施例中，加热棒4分布在与出气孔6同圆心的一个第一圆周、一个第 二圆周9和一个第三圆周10上，第一圆周的直径大于第二圆周9的直径，第二圆周9的直 径大于第三圆周10的直径，位于第一圆周上的任意一个加热棒4的两端之间的连线均与第 一圆周相切，位于第一圆周上的复数个加热棒4的两端之间连线与第一圆周的相切点等分 第一圆周，位于第二圆周9上的任意一个加热棒4的两端之间的连线均设置在第二圆周9 的半径方向上，位于第二圆周9上的复数个加热棒4的两端之间连线与第二圆周9的相交 点等分第二圆周9，位于第三圆周10上的任意一个加热棒4的两端之间的连线均设置在第 三圆周10的半径方向上，位于第三圆周10上的复数个加热棒4的两端之间连线与第二圆 周9的相交点等分第三圆周IO，第二圆周9上加热棒4两端之间连线所在的半径方向均与 第三圆周10上加热棒4两端之间连线所在的半径方向错开，第二圆周9上加热棒4两端之 间连线和第三圆周10上加热棒4两端之间连线均共同跨越一个第四圆周，所述的第四圆周 与第一圆周、第二圆周9和第三圆周10同心，第四圆周的直径大于第三圆周10的直径并小 于第二圆周9的直径。 进一步的，任意一个加热棒4的径向截面均呈扁平状。 进一步的，位于第一圆周上的加热棒4两端之间连线与第一圆周的相切点均位于 第三圆周10上加热棒4两端之间连线所在的半径方向上。 进一步的，第一圆周上的加热棒4的数目、第二圆周9上的加热棒4的数目和第三 圆周10上的加热棒4的数目相等。 本实施例的工作过程是第一圆周上的加热棒4、第二圆周9上的加热棒4和第三 圆周10上的加热棒4在同心圆上角度交错和半径交错地分布，延长了氢化炉内的温度场， 同时，倒U型加热棒4的扁平截面又阻挡气流向底盘1出气孔6运动，使得气流流向底盘1底部后再回流向上，最后在加热棒4的各层之间形成近似蛇形的流动，延长了四氯化硅和 氢气的反应时间，气体可以得到充分反应，提高了处理效果，同时，充分利用了多晶硅氢化 炉内的温度场，节约了资源。权利要求一种新型多晶硅氢化炉加热棒布置结构，由底盘、隔热盘、隔热罩和复数个加热棒构成，其特征在于所述的隔热盘设置在底盘的上侧，所述的隔热罩设置在隔热盘和底盘的上方，底盘的中心设置有出气孔，隔热罩的顶部设置有进气孔，任意一个所述的加热棒均呈倒U型，任意一个加热棒的两端均连接在底盘上，底盘中与任意一个加热棒的连接处均设置有电极孔，任意一个所述的电极孔中均设置有电极座，任意一个所述的电极座均各自与加热棒的一端连接，加热棒分布在与所述的出气孔同圆心的至少三个圆周上，位于其中的最大直径圆周上的任意一个加热棒两端之间的连线均与同一圆周相切，位于其余的圆周上的任意一个加热棒两端之间的连线均各自位于该最大直径圆的半径方向上，任意相邻的两个圆周上的加热棒两端之间的连线均错开并呈大于0度的夹角，任意相邻的两个圆周上的加热棒两端之间的连线均跨越一个或一个以上数目的中间圆周，任意一个所述的中间圆周均与出气孔同圆心、并与加热棒所在的两个圆周内外相邻。2. 如权利要求1所述的新型多晶硅氢化炉加热棒布置结构，其特征在于任意一个加 热棒的径向截面均呈扁平状。专利摘要一种新型多晶硅氢化炉加热棒布置结构，由底盘、隔热盘、隔热罩和复数个加热棒构成，加热棒均呈倒U型，任意一个加热棒的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型多晶硅氢化炉加热棒布置结构，由底盘、隔热盘、隔热罩和复数个加热棒构成，其特征在于：所述的隔热盘设置在底盘的上侧，所述的隔热罩设置在隔热盘和底盘的上方，底盘的中心设置有出气孔，隔热罩的顶部设置有进气孔，任意一个所述的加热棒均呈倒Ｕ型，任意一个加热棒的两端均连接在底盘上，底盘中与任意一个加热棒的连接处均设置有电极孔，任意一个所述的电极孔中均设置有电极座，任意一个所述的电极座均各自与加热棒的一端连接，加热棒分布在与所述的出气孔同圆心的至少三个圆周上，位于其中的最大直径圆周上的任意一个加热棒两端之间的连线均与同一圆周相切，位于其余的圆周上的任意一个加热棒两端之间的连线均各自位于该最大直径圆的半径方向上，任意相邻的两个圆周上的加热棒两端之间的连线均错开并呈大于０度的夹角，任意相邻的两个圆周上的加热棒两端之间的连线均跨越一个或一个以上数目的中间圆周，任意一个所述的中间圆周均与出气孔同圆心、并与加热棒所在的两个圆周内外相邻。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郑飞龙，李东曦，张华芹，盛晔，
申请(专利权)人：上海森和投资有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]