湿法工艺加热装置制造方法及图纸

一种湿法工艺的加热装置，其包括：用来容纳液体的容器、以及形成并附着于容器的表面的电热膜。其中容器可为槽体、管体或是桶体，并且桶体可具有套管或通孔。本实用新型专利技术将电热膜直接附着于容器的外表面、或是通孔或套管的内表面，并通过直接传导的方式用热能直接对容器内的液体加热，从而可充分发挥加热效率。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种加热装置，特别是一种应用在湿法工艺的加 热装置。
技术介绍
在湿法工艺中，产品需要通过重复经过不同液体的浸泡，以逐步 完成多层的电路。而根据不同的工艺需求，有一些液体必须通过加热 到某一特定温度下，其工艺效果才可达到最优化。然而，在湿法工艺 组件所在的环境都是充满酸性或碱性或腐蚀性等的气体，因此加热装 置对酸碱性的耐受度、加热装置本身的加热功率等都是选择加热装置 所要考虑的因素。一般加热容器的加热组件在传统上多使用电热钨丝、贴附式加热 器、卤素石英灯管等。在加热组件的电热转换过程中，将电能转化成 热能与光能，并且热能又包括辐射热能和传导热能，由于传统加热组 件的形状可变性不高，因此加热组件与被加热容器无法完全贴合，从 而导致部分的热能会被气体吸收，实际预加热的液体仅能吸收少部份 的热能，造成能量散失。 一般为了弥补这一部分的散失，通常会提高 加热组件的功率以补偿热散失。然而，如果提高传统的加热组件的功 率，将会产生加热组件温度过高或是造成热量集中在电热组件中，从 而使得加热组件本身变得更高温炽热，而在炽热状态下使用时，这一 类属于耗氧式的传统加热组件很容易产生氧化，而使电阻钨丝越来越 细，越来越脆，最终造成断路。因此传统加热器在有限空间条件下， 都有其功率的上限，以确保其寿命。通常， 一般常见的液体加热组件有两种石英灯管与陶瓷加热钨 丝。其中石英灯管的结构是将加热钨丝密封于石英管内，而石英管内则在抽真空后再加入微量的惰性气体，这种加热组件的传热方式主要 是利用辐射方式加热容器内的液体，因此不一样的被加热物体需要不 同的波长才可提高其效率。此外，在辐射波所经过的路径上，也会因 为介质的不同而有折射和反射，进而产生能量的耗损。这种加热组件 容易因为表面温度不均匀而造成灯管破裂，因此灯管表面必须保持干 净，并且在处于高温状态时，若是接触到低温液体，会因为温度剧烈 变化而破裂。另外，陶瓷加热钨丝这种加热组件将钨丝直接缠绕在陶 瓷上，利用鸨丝发热，将热能传递至石英容器内的液体，此类加热钨 丝的加热温度并不均匀，因此需要在其安装空间内持续加入适当气体， 以均匀其加热温度，延长其寿命。虽然这种方法可以使其加热温度均匀，但此类加热器属于耗氧式加热组件，因此这种加热组件容易因为 钨丝的氧化而损坏，其加热效率也较差。
技术实现思路
为了解决上述问题，本技术目的之一是提供一种湿法工艺加 热装置，其采用电热膜这种面状发热材料以与被加热体形成最大程度 的导热面，从而使得热阻少、导热快。此外，电热膜自身温度不高， 辐射热损失小。而且，电热膜属于非耗氧性并且不会产生明火，因此 寿命比传统加热组件长。为了达到上述目的，本技术实施例的湿法工艺加热装置包括 用来容纳液体容器、以及形成并附着于容器的表面的电热膜。以下通过具体实施例配合附图详加说明，会更容易了解本实用新 型的目的、
技术实现思路
、特点及其所达成的功效。附图说明图1所示为根据本技术的湿法工艺加热装置的一个实施例的示意图。图2为本技术又一实施例的湿法工艺加热装置的剖视图。图3A和图3B分别为本技术不同实施例的湿法工艺加热装置 的剖视图。图4A和图4B为本技术又一实施例的湿法工艺加热装置的剖视图。主要组件符号说明100槽体102， 111外表面104底部110管体112, 114, 122， 124液体进出口120桶体125套管126通孔200, 210, 220, 222电热膜300液体具体实施方式其详细说明如下，所述优选实施例仅做说明，而不是用来限定本 技术。本技术的湿法工艺加热装置包括容器以及电热膜。其中容6器用来容纳液体，并且电热膜可以通过适当的方式，例如电镀方式、化镀方式或是化学气相沉积(CVD， Chemical Vapor Deposition)形成并附着于容器的表面。首先，请参考图1，图1为本技术实施例的湿 法工艺加热装置的示意图。在此实施例中，容器为槽体100，并且电热 膜200附着于该槽体100的外表面102，其中外表面102包括槽体100 的底部104;在又一实施例中，电热膜200也可单独附着于槽体100的 外表面102或是槽体100的底部104。在此实施例中，电热膜200直接 附着于被加热液体300的容器上以达成在湿法工艺中液体300的加热， 由于电热膜200直接附着于容器上，电热膜200与容器之间无其它介 质存在，从而使得电热膜200的热可完全利用直接传导的方式传递至 容器内的液体300，以减少能源的浪费并且降低组件使用时所需要的成 本支出。在又一实施例中，如图2所示，图2为本技术实施例的湿法 工艺加热装置的剖视图。如图所示，容器也可为管体110，并且管体 110具有两个液体进出口 112、 114，以用作液体300的出入口。其中 电热膜210以适当的方式，例如电镀方式、化镀方式或是化学气相沉 积，形成并附着于管体110的外表面111，使其电热膜210的热可直接 通过管体110传至其内的液体300，以达到升温的效果。可以理解的是， 管体IIO可不受两个液体进出口 112、 114的限制，根据不同加热装置 的结构，也可根据需求将管体设计成多个液体进出口以符合实际使用， 这也不脱离本技术的精神所在。此外，在又一实施例中，如图3A和图3B所示，图3A和图3B 分别为本技术不同实施例的湿法工艺加热装置的剖视图。在此实 施例中，容器为桶体120，并且桶体120具有两个液体进出口 122、 124, 以用作液体300的出入口。并且此湿法工艺加热装置包括至少一个套 管125(如图3A所示)或至少一个通孔126(如图3B所示)贯穿桶体120， 并且电热膜220附着于套管125或通孔126的内表面。当液体300流经桶体120时，套管125内或者通孔126内的电热膜220开始加热， 利用桶内加热的形式将液体300加热至所需温度，以进行后续的其它 工艺。接续上述，在又一实施例中，还可在桶体120的外表面再鍍上电 热膜222，如图4A和图4B所示，以内外加热的方式来对液体300进 行加温。其中在上述实施例中，电热膜都可以配合电路上的需求，将 电热膜设计成单相或三相控制的加热方式。可以理解的是，其它利用 电热膜加热方式应用于湿法工艺的方法，都涵括于本技术精神之 中。本技术利用电热膜来进行湿法工艺中的液体的加热程序，其 中电热膜加热方式与现有加热方式以及加热组件比较表如表一和表二 所示表一<table>table see original document page 8</column></row><table>如表一、表二所示，由于电热膜本身耐磨性良好，并且由于电热 膜与绝缘基材生成为一体，所以一般工艺使用中的磨擦对电热膜毫无 影响。此外，电热膜响应速度快，其热转换启动速度非常迅速，此为 一般加热组件所无法达到的。而且，由于电热膜加热属于非耗氧性加 热方式并且不会产生明火，所以其寿命也比传统加热组件长，在湿法 工艺充满化学流体的环境中，特别是容易挥发、易燃烧的有机气体环 境中，使用电热膜也是相对比较安全的。根据上述，本技术特征的利用电热膜做为本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种湿法工艺加热装置，其包括：　一容器，其用来容纳一液体；以及　一电热膜，其形成并附着于所述容器的一表面。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：谢宏亮，许明棋，冯传彰，李威震，
申请(专利权)人：辛耘企业股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]