【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及压印
，尤其涉及一种能精确转移图案的压印装置。
技术介绍
压印技术作为一种可大批量重复性地转移图案结构的技术，现已广泛应用于制备 微机电芯片、磁存储、光电及光学器件、生物芯片和微流体器件等领域。压印技术主要分为 热压印、紫外压印和微接触压印三种。热压印或紫外压印装置是以机械施压的方式将压模直接压入设于基板表面的胶 料，其一般包括驱动组件、压模和基板平台。驱动组件采用机械或液/气压力驱动，其用于 驱动与之相连的压模朝基板平台运动。然而，若需实现精细结构图案的转移，如纳米尺寸图案的转移，则必须保证压模压 入基板的平衡、均勻及其与基板表面的垂直性，若压模受到的压力不均勻、压入不平衡、以 倾斜于基板表面的方式压入，都将会导致图案转移发生畸变。因此，有必要提供一种具有高垂直度的压印装置以提高压印图案转移的精确率， 提高产品良率。
技术实现思路
以下以实施例为例说明一种具有高垂直度的压印装置。该压印装置包括驱动组件、压模、径向环形磁铁和缠绕于该径向环形磁铁侧壁的 整数匝线圈。该径向环形磁铁的一轴向端与该驱动组件相连，另一轴向端固接于该压模。本技术方案的压印...
【技术保护点】
一种压印装置，其包括驱动组件和压模，其特征是，该压印装置还包括径向环形磁铁和缠绕于该径向环形磁铁侧壁的整数匝线圈，该径向环形磁铁的一轴向端与该驱动组件相连，另一轴向端固接于该压模。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黄雍伦，
申请(专利权)人：鸿富锦精密工业深圳有限公司，鸿海精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。