【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种微光学元件的制作装置,尤其涉及一种二元光学组件 横向制作装置。
技术介绍
二元光学元件的制作方法源自于超大规模集成电路中的微电子加工技术。 但相对于微电子加工技术,二元光学元件有着三维浮雕结构,加工时,既需要 控制平面图案的横向加工精度也需要控制其纵向深度的加工精度。二元光学元 件的制作工艺按浮雕的形状可以分为多台阶加工工艺和连续相位加工工艺。前 者主要包括掩模套刻法、多次薄膜沉积法、数字灰度掩模法。后者则为直写工 艺,主要包括激光束、电子束直写法及金刚石车削法。这些原有的方法都只能 完成二元光学元件和元件阵列的制作,当需要用二元光学元件搭建系统时,由 于二元光学元件过于微小,且系统对各元件的对准精度要求很高,因此限制了 二元光学组件的应用。
技术实现思路
本技术的目的在于提供了一种二元光学组件横向制作装置,该装置为二元光学系统的应用提供工艺保证。该装置通过精縮投影透镜将DMD上的图 案成像到感光树脂上,使感光树脂固化成型。将二元光学元件在横向上进行分 层,对每层图像逐层投影曝光,固化成型,从而能得到二元光学组件的立体结 构。本技术是这样来实现的,它包括计算机、数字微镜器、树脂槽、精縮 投影透镜、精密电控平台、防震平台、固化光源,其特征是固化光源照射数字微镜器,计算机连接数字微镜器,数字微镜器与树脂槽之间固定连有精缩投影 透镜,树脂槽内置有精密电控平台,树脂槽安放在防震平台上。本技术的技术效果是1、对二元光学组件一次成型,不存在用多个 二元光学元件组装系统时的对准误差,有助于提高二元光学系统的实用价值; 2、采用DMD像素化图像具有微米级的精度 ...
【技术保护点】
一种二元光学组件横向制作装置,它包括计算机、数字微镜器、树脂槽、精缩投影透镜、精密电控平台、防震平台、固化光源,其特征是固化光源照射数字微镜器,计算机连接数字微镜器,数字微镜器与树脂槽之间固定连有精缩投影透镜,树脂槽内置有精密电控平台,树脂槽安放在防震平台上。
【技术特征摘要】
1、一种二元光学组件横向制作装置,它包括计算机、数字微镜器、树脂槽、精缩投影透镜、精密电控平台、防震平台、固化光源,其特征是固化光源...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈敏,高益庆,肖孟超,罗宁宁,海霞,
申请(专利权)人:南昌航空大学,
类型:实用新型
国别省市:36[中国|江西]
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