一种高精度光刻胶分配泵控制装置及其控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种高精度光刻胶分配泵控制器及其控制方法，该装置包括：主控电路，具有执行控制程序的第１处理器，其将输入的选择命令和／或控制信号通过通讯接口与泵驱动电路进行通讯连接；泵驱动电路，由第２处理器接收主控电路的控制信号，实现对光刻胶分配泵的选择控制；所述方法包括以下步骤：在多个光刻胶分配泵中选择参与控制的泵；设置各参与控制的泵参数；将数据传输给泵驱动电路；泵驱动电路对被选泵进行控制。本发明专利技术通过硬件及软件的配合控制，能准确的控制光刻胶的吐出量，减少各种光刻胶尤其是昂贵的光刻胶的浪费，减少企业的投入，本发明专利技术能够对多台高精度光刻胶分配泵进行控制，又可保存每台泵的多种配方设置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种化学药品供应设备中的光刻胶分配泵，尤其是一种可精确控制不同种类化学药品用量的高精度光刻胶分配泵控制装置及其控制方法。
技术介绍
目前，半导体设备中使用的化学药品供应系统中的工艺泵主要采用隔膜泵，但隔 膜泵对胶量无法实现高精密控制。在光刻胶成本很高的情况下，每片晶片在涂胶的时候需 要的胶量是一定的，如果每一片晶片浪费lml，就意味着半导体制造厂商每一年要在光刻胶 上增加巨大的投入。在这种情况下，就需要对光刻胶的使用量进行精确的控制，减少不必要 的浪费，降低成本。在对需要精确控制不同种类化学药品的量的时候，普通的控制装置无法 实现精确控制
技术实现思路
针对现有技术中存在控制不精确的缺陷，本专利技术要解决的技术问题是提供一种可 精确控制不同种类化学药品用量的高精度光刻胶分配泵控制装置及其控制方法。 为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是 本专利技术一种高精度光刻胶分配泵控制器包括 主控电路，具有执行控制程序的第1处理器，其将输入的选择命令和/或控制信号 通过通讯接口与泵驱动电路进行通讯连接；泵驱动电路，由第2处理器接收主控电路的控 制信号，实现对光刻胶分配本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高精度光刻胶分配泵控制器，其特征在于包括：主控电路，具有执行控制程序的第１处理器，其将输入的选择命令和／或控制信号通过通讯接口与泵驱动电路进行通讯连接；泵驱动电路，由第２处理器接收主控电路的控制信号，实现对光刻胶分配泵的选择控制。

【技术特征摘要】
一种高精度光刻胶分配泵控制器，其特征在于包括主控电路，具有执行控制程序的第1处理器，其将输入的选择命令和/或控制信号通过通讯接口与泵驱动电路进行通讯连接；泵驱动电路，由第2处理器接收主控电路的控制信号，实现对光刻胶分配泵的选择控制。2. 按权利要求l所述的高精度光刻胶分配泵控制器，其特征在于所述主控电路以第l 处理器中的第1单片机(Ul)为控制核心结合人机接口电路、第1参数掉电保护电路及第1 复位电路构成，单片机(Ul)的数字量输入端与人机接口电路的键输入信号相连，输出端接 有报警指示。3. 按权利要求1所述的高精度光刻胶分配泵控制器，其特征在于所述泵驱动电路以 第2单片机(UA1)为控制核心结合步进电机驱动电路、第2参数掉电保护电路及第2复位 电路构成，第2单片机(UA1)的数字端分别与不同的步进电机驱动电路相连。4. 一种高精度控制器的控制方法，其特征在于包括以下步骤 在多个光刻胶分配泵中选择参与控制的泵； 设置各参与控制的泵参数； 将数据传输给泵驱动电路；泵驱动电路对被选泵进行控制。5. 按权利要求4所述高精度控制器的控制方法，其特征在于所述泵驱动电路对被选 泵进行控制包括以下步骤判断是否使用加减速控制；根据匀变速运动公式计算驱动泵电机的加速步数，输出至泵驱动电路。6. 按权利要求5所述高精度控制器的控制方法，其特征在于加速步数通过以下公式 计算得到...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵宇，张军，董文博，刘贺祥，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：89[中国|沈阳]