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本发明涉及一种高精度光刻胶分配泵控制器及其控制方法，该装置包括：主控电路，具有执行控制程序的第１处理器，其将输入的选择命令和／或控制信号通过通讯接口与泵驱动电路进行通讯连接；泵驱动电路，由第２处理器接收主控电路的控制信号，实现对光刻胶分配泵...
该专利属于沈阳芯源微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源微电子设备有限公司授权不得商用。

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