【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种高压恒流泵,其特征在于,具备:第1泵,其吐出第1溶剂;第2泵,其吐出第2溶剂;混合器,其将由上述第1泵吐出的第1溶剂和由上述第2泵吐出的第2溶剂混合并送液;第1压力传感器,其配置在上述第1泵与上述混合器之间的流路中,用于检测上述第1泵的第1溶剂的吐出压力;第1止回阀,其配置在上述第1压力传感器与上述混合器之间的流路中;第2压力传感器,其配置在上述第2泵与上述混合器之间的流路中,用于检测上述第2泵的第2溶剂的吐出压力;第2止回阀,其配置在上述第2压力传感器与上述混合器之间的流路中;以及控制部,其控制上述第1泵的第1溶剂的吐出量与上述第2泵的第2溶剂的吐出量,并改变上述混合器中第1溶剂与第2溶剂的混合比率,并且至少根据上述第1压力传感器的检测压力来判断上述第1止回阀是打开状态还是关闭状态,并在上述第1止回阀是关闭状态时,增加上述第1泵的吐出压力使上述第1止回阀为打开状态;并至少根据上述第2压力传感器的检测压力来判断上述第2止回阀是打开状态还是关闭状态,并在上述第2止回阀是关闭状态时,增加上述第2泵的吐出压力使上述第2止回阀为打开状态。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:小野田有吾,秋枝大介,和田宏之,田上丰明,植田充彦,八木隆,
申请(专利权)人:株式会社日立高新技术,
类型:发明
国别省市:日本;JP
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