【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及匀胶设备化学药品供应系统中的计量泵，具体为一种高精度光 刻胶分配泵。 背景駄目前，半导体设备中使用的化学药品供应系统中的工艺泵主要采用隔，艱， 但隔膜，胶量无法实现高精密控制。在光刻胶成本很高的情况下，每片晶片在涂胶的时候需要的胶量是一定的，如果每一片晶片浪费lml，就意味着半导 体制造厂商每一年要在光刻胶上增加巨大的投入。在这种情况下，就需要对光 亥帔的4顿穀行精确的控制，减少不必要的浪费，降低成本。
技术实现思路
为了达到对光刻胶进行精确控帝啲目的，本专利技术提供一种高精度光刻胶分 配泵，解决在对需要精确控帝lj化学药品的量的时候，普通的药液泵无法实现精 确控制等问题。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是一种高精度光刻胶分配泵，该分配泵设有泵体、囊体和动力部分，泵体为 两端开口的圆形腔体，泵体结构为有内、夕卜两个腔的结构，泵体设有泵体外壁 和可向内、外变形的泵体内壁，泵体内壁以内为泵体的内腔，泵体内壁与泵体 外壁之间的空腔为泵体的外腔，泵体两端开口处设有入口单向阀和出口单向阀；囊体的内腔中设有可伸縮的波纹管，波纹管为一端封闭、 一端开口...
【技术保护点】
一种高精度光刻胶分配泵，其特征在于：该分配泵设有泵体、囊体和动力部分，泵体为两端开口的圆形腔体，泵体结构为有内、外两个腔的结构，泵体设有泵体外壁和可向内、外变形的泵体内壁，泵体内壁以内为泵体的内腔，泵体内壁与泵体外壁之间的空腔为泵体的外腔，泵体两端开口处设有入口单向阀和出口单向阀；囊体的内腔中设有可伸缩的波纹管，波纹管为一端封闭、一端开口的结构，波纹管连接部分一端安装于波纹管开口端内壁，波纹管连接部分的另一端连接动力部分，囊体的内腔与泵体的外腔相通。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王冲，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：89[中国|沈阳]
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