一种晶片盒扫描控制装置及其控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种晶片盒扫描控制装置及其控制方法，该装置具有单片机，执行控制程序，通过光耦隔离电路接有片盒的各种检测传感器，通过脉冲输出接口接至伺服电机；该方法包括以下步骤：回零点，将升降台运行到片盒基准位；判断上是否有片盒；若有，则将升降台运行到扫描基准位；向下移动一个槽距；判断是否为检测过的晶片；若是，则将当前槽位上的晶片设置被检测标志；判断所有晶片是否全部扫描完毕；若完毕，则计算当前片盒内晶片总量；一次扫描过程结束。本发明专利技术的扫描过程不需要机械手参与，控制过程简单，能准确提取晶片盒内晶片信息，降低了故障率，省去了专用机械手，降低了成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于半导体匀胶显影单元的晶片盒扫描控制技术，具体地说是。
技术介绍
晶片盒是半导体设备中半导体晶片的载体。在全自动或半自动匀胶显影设备中， 若干晶片被放置于晶片盒内，一起送入片盒提升器中。片盒提升器是一个由伺服电机控制 的滚珠丝杠拖动的垂直升降平台。在扫描控制装置的控制下，进行晶片扫描获得片盒中晶 片的数量和分布形式的信息。准确的晶片分布信息是匀胶显影设备进行进一步自动化工艺 处理的前提。 传统扫描技术是晶片盒静止不动，装有激光传感器的机械手上下移动进行扫描。 其缺点是采用的专用机械手控制过程复杂，故障率高，成本也很高。
技术实现思路
为实现晶片盒内晶片信息的正确扫描，本专利技术要解决的技术问题是提供一种可以准确的获得晶片的分布信息的晶片盒扫描控制装置及其控制方法。 为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是 本专利技术晶片盒扫描控制装置具有单片机，执行控制程序，通过光耦隔离电路接有 片盒的各种检测传感器，通过脉冲输出接口接至伺服电机。所述单片机与上位机进行通讯连接；所述检测传感器包括激光传感器、片盒检测开关、零点检测开关、上限位开关及下限位开关。 本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶片盒扫描控制装置，其特征在于：具有单片机，执行控制程序，通过光耦隔离电路接有晶片盒的各种检测传感器，通过脉冲输出接口接至伺服电机。

【技术特征摘要】
一种晶片盒扫描控制装置，其特征在于具有单片机，执行控制程序，通过光耦隔离电路接有晶片盒的各种检测传感器，通过脉冲输出接口接至伺服电机。2. 按权利要求1所述的晶片盒扫描控制装置，其特征在于所述单片机与上位机进行 通讯连接。3. 按权利要求l所述的晶片盒扫描控制装置，其特征在于所述检测传感器包括激光 传感器、片盒检测开关、零点检测开关、上限位开关及下限位开关。4. 一种晶片盒扫描控制方法，其特征在于包括以下步骤 回零点，将升降台运行到片盒基准位； 判断上是否有片盒； 若有...

【专利技术属性】
技术研发人员：张军，赵宇，董文博，刘贺祥，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：89[中国|沈阳]