一种晶片盒扫描控制装置及其控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种晶片盒扫描控制装置及其控制方法，该装置具有单片机，执行控制程序，通过光耦隔离电路接有片盒的各种检测传感器，通过脉冲输出接口接至伺服电机；该方法包括以下步骤：回零点，将升降台运行到片盒基准位；判断上是否有片盒；若有，则将升降台运行到扫描基准位；向下移动一个槽距；判断是否为检测过的晶片；若是，则将当前槽位上的晶片设置被检测标志；判断所有晶片是否全部扫描完毕；若完毕，则计算当前片盒内晶片总量；一次扫描过程结束。本发明专利技术的扫描过程不需要机械手参与，控制过程简单，能准确提取晶片盒内晶片信息，降低了故障率，省去了专用机械手，降低了成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于半导体匀胶显影单元的晶片盒扫描控制技术，具体地说是。
技术介绍
晶片盒是半导体设备中半导体晶片的载体。在全自动或半自动匀胶显影设备中， 若干晶片被放置于晶片盒内，一起送入片盒提升器中。片盒提升器是一个由伺服电机控制 的滚珠丝杠拖动的垂直升降平台。在扫描控制装置的控制下，进行晶片扫描获得片盒中晶 片的数量和分布形式的信息。准确的晶片分布信息是匀胶显影设备进行进一步自动化工艺 处理的前提。 传统扫描技术是晶片盒静止不动，装有激光传感器的机械手上下移动进行扫描。 其缺点是采用的专用机械手控制过程复杂，故障率高，成本也很高。
技术实现思路
为实现晶片盒内晶片信息的正确扫描，本专利技术要解决的技术问题是提供一种可以准确的获得晶片的分布信息的晶片盒扫描控制装置及其控制方法。 为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是 本专利技术晶片盒扫描控制装置具有单片机，执行控制程序，通过光耦隔离电路接有 片盒的各种检测传感器，通过脉冲输出接口接至伺服电机。所述单片机与上位机进行通讯连接；所述检测传感器包括激光传感器、片盒检测开关、零点检测开关、上限位开关及下限位开关。 本专利技术晶片盒扫描控制方法包括以下步骤 回零点，将升降台运行到片盒基准位； 判断上是否有片盒； 若有，则将升降台运行到扫描基准位； 向下移动一个槽距； 判断是否为检测过的晶片； 若是，则将当前槽位上的晶片设置被检测标志； 判断所有晶片是否全部扫描完毕； 若完毕，则计算当前片盒内晶片总量； —次扫描过程结束。 若扫描没有完成，则转至向下移动一个槽距步骤；若判断是否为检测过的晶片的结果为否，则将当前槽位上的晶片设置未被检测标志。本专利技术具有以下有益效果及优点 1.本专利技术的扫描过程不需要机械手参与，激光传感器位置不动，由升降台带动晶 片盒来上下移动实现扫描，获得位置映射信息，并能在上位机控制下实现送片和收片等动3作，控制过程简单，能准确提取晶片盒内晶片信息，降低了故障率，省去了专用机械手，降低 了成本，附图说明 图1为本专利技术装置电气结构图； 图2为本专利技术方法流程图。具体实施例方式下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。 为实现晶片盒内晶片信息的正确扫描，本专利技术提供一种晶片盒扫描控制装置及其 控制方法，利用本专利技术装置及方法，晶片盒可以上下移动，通过激光传感器的扫描可以准确 的获得晶片的分布信息。本专利技术的控制对象是一个滚珠丝杠驱动的垂直升降台，滚珠丝杠 由 一个伺服电机直连驱动。本专利技术装置通过一个对射式激光传感器来检测晶片的有无。 如图1所示，本专利技术晶片盒扫描控制装置具有单片机，是核心处理模块，其上运行 控制程序，单片机通过光耦隔离电路接有片盒的各种检测传感器，通过脉冲输出接口接至伺服电机。 本实施例中的单片机具有一个CPU， 一组16路的光耦隔离电路输入， 一组16路的 光耦隔离电路输出和一个现场总线接口 ；还具有一个方向输出接口 ，用于控制交流伺服电 机的方向；一个激光传感器输入接口 ，扫描时，控制伺服电机使片盒从上向下移动，被激光 传感器的光线扫过，如果光线在扫描有效区被遮挡了，激光传感器将会发出高电平信号，否 则保持低电平；一个片盒检测开关输入接口，当该开关闭合时，输入高电平，认为晶片盒已 经正确放置在升降台上；一个机械零点检测开关输入接口，当该开关闭合时，输入高电平， 认为升降台已经处于机械零点位置；一个上限位开关输入接口和一个下限位开关输入接 口 ，当上、下限位开关分别闭合时，输入高电平，认为升降台已经处于对应的限位位置；一个 现场总线接口 ，上位机通过它来和控制通信，并对其进行数据采集和控制。 为了避免因外部误操作或干扰等下影响控制程序的运行，光耦隔离电路用来使各 类传感器和单片机在电气上进行隔离放置。本实施例中，各类传感器采用开关量型输入信 号，只有高电平和低电平两种，分别表示提升器和晶片盒的各种状态。脉冲输出接口具有脉 冲线和方向线的两种输出信号，分别控制伺服电机的旋转角度和旋转方向。传感器和伺服 电机直接安装于提升器上，通过引线连接到控制的对应接口 。 本专利技术装置具有两种工作方式 —种是手动方式这种模式下进行基准点设定，槽距测量与设定，放片量设定，定 量移动。槽距测量的实现 回零后，手动控制升降台移动，使激光束刚好从最下面的晶片的下面穿过，记录此时坐标为ZB1，然后继续移动，使激光束刚好从最上面的晶片的下面穿过，本实施例采用标准25个槽位，因此记录此时坐标为ZB25，计算槽距DZ = (ZB25-ZB1) /24。 另一种是自动方式在进入自动方式时，本专利技术装置首先控制伺服电机使升降台回零；然后运行到片盒基准位置，等待用户放入片盒；当检测到用户在升降台上放上片盒后，片盒检测开关闭合，对应输入点动作；控制装置控制升降台向下移动，每次移动一个槽 距，这期间检查是否有激光传感器动作输入，如果有则认为该槽处有晶片，当前槽片标志设 置为l，该信息被记录在内存中；如此重复25次，就会把这个片盒的晶片信息扫描完毕；之 后本专利技术装置将等待上位机命令，并按上位机命令执行以后的动作。 上述步骤中，若扫描没有完成，则转至向下移动一个槽距；若判断是否为检测过的 晶片的结果为否，则将当前槽位上的晶片标志置为O，再接续判断所有槽位的晶片是否全部 扫描完毕步骤。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶片盒扫描控制装置，其特征在于：具有单片机，执行控制程序，通过光耦隔离电路接有晶片盒的各种检测传感器，通过脉冲输出接口接至伺服电机。

【技术特征摘要】
一种晶片盒扫描控制装置，其特征在于具有单片机，执行控制程序，通过光耦隔离电路接有晶片盒的各种检测传感器，通过脉冲输出接口接至伺服电机。2. 按权利要求1所述的晶片盒扫描控制装置，其特征在于所述单片机与上位机进行 通讯连接。3. 按权利要求l所述的晶片盒扫描控制装置，其特征在于所述检测传感器包括激光 传感器、片盒检测开关、零点检测开关、上限位开关及下限位开关。4. 一种晶片盒扫描控制方法，其特征在于包括以下步骤 回零点，将升降台运行到片盒基准位； 判断上是否有片盒； 若有...

【专利技术属性】
技术研发人员：张军，赵宇，董文博，刘贺祥，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：89[中国|沈阳]