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本发明涉及一种晶片盒扫描控制装置及其控制方法，该装置具有单片机，执行控制程序，通过光耦隔离电路接有片盒的各种检测传感器，通过脉冲输出接口接至伺服电机；该方法包括以下步骤：回零点，将升降台运行到片盒基准位；判断上是否有片盒；若有，则将升降台运...
该专利属于沈阳芯源微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源微电子设备有限公司授权不得商用。

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