热式流体流量传感器及其制造方法技术

本发明专利技术提供一种热式流体流量传感器及其制造方法。在具有由绝缘膜构成的薄膜结构部的热式流体流量传感器中，上述绝缘膜在精细加工的测温电阻体和发热电阻体的上下层叠有具有压缩应力的膜和具有拉伸应力的膜而成。对于发热电阻体（３）、发热电阻体用测温电阻体（４）、上游侧测温电阻体（５Ａ、５Ｂ）和下游侧测温电阻体（５Ｃ、５Ｄ）的下层的绝缘膜，交替层叠了具有压缩应力的膜（第一绝缘膜（１４）、第三绝缘膜（１６）和第五绝缘膜（１８））和具有拉伸应力的膜（第二绝缘膜（１５）和第四绝缘膜（１７）），且配置了２层以上的具有拉伸应力的膜。利用本发明专利技术的热式流体流量传感器，能够消除应力不均衡，提高检测灵敏度且提高可靠性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，尤其涉及可有效适用于热式流体流量传感器的技术，该热式流体流量传感器适用于测量内燃机的吸入空气的热式流体流量 计。
技术介绍
作为设于汽车等的内燃机的电子控制燃料喷射装置来测量吸入空气量的空气流 量计所使用的热式流体流量传感器，由于热式流体流量传感器可直接检测质量空气流量， 因此成为主流。 其中，尤其利用半导体微加工技术制造出的热式空气流量(airflow)传感器，可 降低制造成本且能够以低功率驱动，因此受到瞩目。作为这样的空气流量传感器，例如日本 特开平11-194043号公报(专利文献l)公开了如下技术在发热元件(加热器)和温度检 测元件(传感器)上使用铂(Pt)、并除去了加热器下部和传感器下部的Si膜的薄膜结构 中，用绝缘性层覆盖加热器和传感器的上层和下层，将这些绝缘性层合成的应力作为轻度 的拉伸应力。此外，在日本特开平11-271123号公报(专利文献2)中公开了将加热器和传 感器的上层及下层做成压縮应力膜和拉伸应力膜的结构，并将该结构层叠成以加热器为中 心上下对称的状态。 日本特开平11-295127号公报(专利文献3)中公开了如下构造关于流量传感 器，在平本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种热式流体流量传感器，其用于测量空气流量，其具有设置在薄膜结构体内的发热电阻体和与上述发热电阻体相邻而设置的测温电阻体，其特征在于：在上述发热电阻体和上述测温电阻体的上层和下层具有层叠了第一膜和第二膜而成的绝缘膜，其中，上述第一膜具有拉伸应力，上述第二膜具有压缩应力，至少在上述测温电阻体的下层的上述绝缘膜中，上述第一膜和上述第二膜被交替形成，且上述下层的上述绝缘膜具有２层以上的上述第一膜。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：佐久间宪之，
申请(专利权)人：日立汽车系统株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]