用于密封热处理装置的机械手装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于密封热处理装置的机械手装置，所述热处理装置包括多层放置基板用的装载层，每个装载层顶端设置有相对应的可控门，用于装载被加热物，所述机械手装置包括两根水平放置的平行导轨，所述导轨位于热处理装置的前后两侧，所述平行导轨上竖立有两个可以移动的机械手，所述机械手上设置有滑槽及可以沿所述滑槽上下移动的支撑板，所述支撑板的末端设置有旋转驱动马达，所述支撑板上设置有真空吸附孔。本发明专利技术提供的用于密封热处理装置的机械手装置，结构简单，能够高密度的装载被加热物，便于热处理装置大型化且不降低热处理效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种机械手装置，尤其涉及一种用于密封材料热处理装置的机械手装置。
技术介绍
在大多数的平板显示设备的生产过程中，基本上都需要使用到热处理装置。对于 这些热处理装置，目前现有的密封材热处理装置的构造如图1所示，在框架11的底部设置 有加热装置14，在加热装置14的上面依次以一定间隔放置多层放置基板用的装载层12，相 应地，在框架11的一侧设置有和所述装载层12相对应的可控门13，所述可控门13为取放 基板用的缝隙状的开口 ，所述基板通过机械手装置放入和取出，基板在热处理装置中水平 放置，被规定温度的热风包裹，通过热风进行相应的热处理，也称为烧成。在框架11的另一 侧设置有过滤网10。 由于基板是水平放置，机械手装置取拿基板时受到其自身重量的影响，机械手会 出现弯曲，所以大部分现有技术的热处理装置，预测到机械手装置的弯曲，基板和基板之间 的间距一般都不会很小，通常在70毫米到150毫米左右。近几年来，伴随着平板显示器件 的大型化，作为被加热物的基板也有进一步大型化的趋势，这势必造成基板的重量更重，机 械手的长度也更长，导致机械手的挠度和厚度都显著增大。基板和基板之间的间隔本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于密封热处理装置的机械手装置，所述密封热处理装置包括多层放置基板用的装载层，加热器，用于固定装载层和加热器的框架，所述装载层的左右两侧和底部设置有金属夹，对每个装载层，所述框架上设置有相对应的可控门，所述加热器设置在框架底部，所述可控门设置在框架的顶端，所述基板及装载层在框架内竖直放置，其特征在于，所述机械手装置包括两根水平放置的平行导轨，所述导轨位于热处理装置的前后两侧，所述平行导轨上竖立有两个可以移动的机械手，所述机械手上设置有滑槽及可以沿所述滑槽上下移动的支撑板，所述支撑板的末端设置有旋转驱动马达，所述支撑板上设置有真空吸附孔。

【技术特征摘要】
一种用于密封热处理装置的机械手装置，所述密封热处理装置包括多层放置基板用的装载层，加热器，用于固定装载层和加热器的框架，所述装载层的左右两侧和底部设置有金属夹，对每个装载层，所述框架上设置有相对应的可控门，所述加热器设置在框架底部，所述可控门设置在框架的顶端，所述基板及装载层在框架内竖直放置，其特征在于，所述机械手装置包括两根水平放置的平行导轨，所述导轨位于热...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐亮，
申请(专利权)人：上海广电光电子有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]