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本发明公开了一种用于密封热处理装置的机械手装置，所述热处理装置包括多层放置基板用的装载层，每个装载层顶端设置有相对应的可控门，用于装载被加热物，所述机械手装置包括两根水平放置的平行导轨，所述导轨位于热处理装置的前后两侧，所述平行导轨上竖立有...
该专利属于上海广电光电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海广电光电子有限公司授权不得商用。

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