检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种检测装置，所述检测装置检测表示对象位置的由余弦函数和正弦函数近似的两个信号（Ａ、Ｂ）中所包含的误差分量，该检测装置包含：基于误差预测值减小在信号（Ａ、Ｂ）中包含的误差以输出两个误差校正信号（Ａ↑［＊］、Ｂ↑［＊］）的运算部（３、４）；基于误差校正信号（Ａ↑［＊］、Ｂ↑［＊］）计算相位（θ）的相位运算部（５）；存储误差校正信号（Ａ↑［＊］、Ｂ↑［＊］）和相位（θ）的多个采样值的运算存储单元（９、１０）；和获得以下两个表达式中的系数α↓［ｋ］、β↓［ｋ］、γ↓［ｋ］和δ↓［ｋ］的傅立叶变换部（１１、１２）：Ａ↑［＊］＝α↓［０］＋α↓［１］ｃｏｓθ＋β↓［１］ｓｉｎθ＋…＋α↓［ｋ］ｃｏｓｋθ＋β↓［ｋ］ｓｉｎｋθＢ↑［＊］＝γ↓［０］＋γ↓［１］ｃｏｓθ＋δ↓［１］ｓｉｎθ＋…＋γ↓［ｋ］ｃｏｓｋθ＋δ↓［ｋ］ｓｉｎｋθ（ｋ≥２）其中，运算部（３、４）通过使用这些系数更新误差预测值。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种检测装置，所述检测装置检测表示待检测对象的 位置的由余弦函数和正弦函数近似的两个位置信号中所包含的误差分 量。
技术介绍
如下这样的检测装置在工业中被用于诸如编码器或干涉仪之类的 宽范围领域，该检测装置检测表示位置或角度的由余弦函数和正弦函数近似的两个位置信号中所包含的误差分量。这些位置信号由例如A =Gcos0和B - Gsin0的两个表达式近似。通过使用A/D转换器将这些位置信号转换成数字信号，并且，通 过使用微处理单元(MPU)或数字信号处理器(DSP)执行反正切计 算。根据这些计算，可以高分辨率获得与位置或角度成比例的值(相 位6)。从检测器输出的信号中包含偏移误差或幅度误差等。作为校正这 些误差以执行检测的检测装置，例如，美国专利第4458322号是已知 的。并且，作为另 一种用于校正误差的技术，例如，美国专利第5581488 号已被提出。美国专利第5581488号公开了除了偏移误差或幅度误差 以外还校正由相位差误差、二次畸变和三次畸变导致的误差的方法。从检测器输出的位置信号包含由与理想的余弦函数和正弦函数不 同的各种类型的频率成分构成的误差分量。例如，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检测装置，所述检测装置被配置为检测表示待检测对象的位置的由余弦函数和正弦函数近似的两个信号中所包含的误差分量，所述检测装置包含：　运算部，被配置为确定误差预测值以基于所述误差预测值减小在所述两个信号中包含的误差，从而输出两个误差校 正信号；　相位运算部，被配置为基于所述两个误差校正信号计算表示所述待检测对象的位置的相位；　存储部，被配置为存储所述两个误差校正信号和所述两个误差校正信号在多个相位处的多个采样值；和　傅立叶变换部，被配置为通过使用所述多个 采样值执行傅立叶变换获得表示所述两个误差校正信号的两个表达式中的各项的系数α↓［ｋ］、β↓［ｋ］...

【技术特征摘要】
JP 2008-7-29 2008-1944871.一种检测装置，所述检测装置被配置为检测表示待检测对象的位置的由余弦函数和正弦函数近似的两个信号中所包含的误差分量，所述检测装置包含运算部，被配置为确定误差预测值以基于所述误差预测值减小在所述两个信号中包含的误差，从而输出两个误差校正信号；相位运算部，被配置为基于所述两个误差校正信号计算表示所述待检测对象的位置的相位；存储部，被配置为存储所述两个误差校正信号和所述两个误差校正信号在多个相位处的多个采样值；和傅立叶变换部，被配置为通过使用所述多个采样值执行傅立叶变换获得表示所述两个误差校正信号的两个表达式中的各项的系数αk、βk、γk和δk，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：濑尾雄三，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]