【技术实现步骤摘要】
本申请涉及热处理，特别是涉及一种热处理装置。
技术介绍
1、金属材料热处理是改善其性能的重要手段，相比于离线热处理方式，在线热处理方式无需对工件进行二次转运，具有占地面积小、生产效率高的优点。
2、现有技术中，通常是采用中频加热的在线热处理方式对待处理的工件进行热处理。
3、然而，这种方法不仅适用性较差，且热处理效率也较低。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种热处理装置，不仅适用性较好，且热处理效率也较高。
2、第一方面，本申请提供了一种热处理装置，该热处理装置包括：
3、等离子体电源和可容纳目标工件的真空室，该等离子电源的正极与该真空室的外壁连接，该等离子体电源的负极与该目标工件连接；
4、该等离子体电源，用于输出直流脉冲电压，以在该真空室内产生复合式放电，以对该目标工件进行热处理，该复合式放电为辉光放电与弧光放电的交替式放电。
5、在其中一个实施例中，该等离子体电源包括控制电路、处理电路和熄弧电路，该控制电路分别与该处理电路和该熄弧电路连接，该处理电路和该熄弧电路连接；该处理电路，用于将三相电源输入的交流电压转换为直流脉冲电压，并输出该直流脉冲电压；该控制电路，用于实时获取该处理电路输出的直流脉冲电压，并在根据该直流脉冲电压确定该处理电路为第一起弧状态的情况下，向该熄弧电路发送启动信号；该熄弧电路，用于在接收到该启动信号的情况下，导通绝缘栅双极晶体管，以熄灭该弧光放电。
7、在其中一个实施例中，该处理电路包括整流滤波电路、逆变电路、高频变压电路、快恢复整流电路，该逆变电路分别与该整流滤波电路和该高频变压电路连接，该高频变压电路和该快恢复整流电路；该整流滤波电路，用于将三相电源发送的交流电压转换为直流恒压电压，并将该直流恒压发送给该逆变电路；该逆变电路，用于将该直流恒压转换为高频交流脉冲电压，并将该高频交流脉冲电压发送给该高频变压电路；该高频变压电路，用于将该高频交流脉冲电压转换为高频高压交流脉冲电压，并将该高频高压交流脉冲电压发送给该快恢复整流电路；该快恢复整流电路，用于对该高频高压交流脉冲电压进行整流处理，以得到直流脉冲电压，并输出该直流脉冲电压。
8、在其中一个实施例中，该控制电路与该逆变电路连接；该控制电路，还用于根据该直流脉冲电压向该逆变电路发送脉冲宽度调制信号，并在根据该直流脉冲电压确定该处理电路为第一起弧状态的情况下，停止向该逆变电路发送该脉冲宽度调制信号。
9、在其中一个实施例中，该控制电路，还用于在该等待预设时间后，继续执行根据该直流脉冲电压向该逆变电路发送该脉冲宽度调制信号的步骤。
10、在其中一个实施例中，该热处理装置还包括第一微正压腔和第二微正压腔，该第一微正压腔包括第一子通孔和第二子通孔，该第二微正压腔包括第三子通孔和第四子通孔，该真空室还包括设置于两端的第一通孔和第二通孔，该第一微正压腔设置于该真空室的第一通孔端，该第二微正压腔设置于该真空室的第二通孔端；该第一子通孔、该第一通孔、该第二通孔和该第三子通孔，用于放置该目标工件；该第一微正压腔和该第二微正压腔，用于在通入保护气体的情况下，维持微正压环境，该保护气体通过该第二子通孔和第四子通孔分别通入至该第一微正压腔和该第二微正压腔中。
11、在其中一个实施例中，该真空室还包括第三通孔；该第三通孔，用于在真空泵的作用下，排出该真空室内的气体。
12、在其中一个实施例中，该热处理装置还包括保护罩；其中，该真空室设置在该保护罩内，该真空室的外壁与该保护罩之间设置有冷却介质。
13、在其中一个实施例中，该热处理装置还包括用于固定该目标工件的压紧轮；其中，该等离子体电源的负极通过该压紧轮与该目标工件连接。
14、上述热处理装置，该热处理装置包括包括等离子体电源和可容纳目标工件的真空室，该等离子电源的正极与该真空室的外壁连接，该等离子体电源的负极与该目标工件连接；该等离子体电源，用于输出直流脉冲电压，以在该真空室内产生复合式放电，以对该目标工件进行热处理，该复合式放电为辉光放电与弧光放电的交替式放电。本申请提供的热处理装置，基于等离子体电源在该真空室内产生稳定的辉光放电和弧光放电，以实现对目标工件的热处理，不仅可以避免现有技术不适用于非铁磁性材料的热处理的问题，还可以有效的提高热处理的效率。
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1.一种热处理装置，其特征在于，所述热处理装置包括等离子体电源和可容纳目标工件的真空室，所述等离子电源的正极与所述真空室的外壁连接，所述等离子体电源的负极与所述目标工件连接；
2.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述等离子体电源包括控制电路、处理电路和熄弧电路，所述控制电路分别与所述处理电路和所述熄弧电路连接，所述处理电路和所述熄弧电路连接；
3.根据权利要求2所述的热处理装置，其特征在于，所述控制电路，还用于在等待预设时间后，向所述熄弧电路发送关闭信号；
4.根据权利要求2所述的热处理装置，其特征在于，所述处理电路包括整流滤波电路、逆变电路、高频变压电路、快恢复整流电路，所述逆变电路分别与所述整流滤波电路和所述高频变压电路连接，所述高频变压电路和所述快恢复整流电路连接；
5.根据权利要求2至4任一所述的热处理装置，其特征在于，所述控制电路与所述逆变电路连接；
6.根据权利要求5所述的热处理装置，其特征在于，所述控制电路，还用于在所述等待预设时间后，继续执行根据所述直流脉冲电压向所述逆变电路发送所述脉冲宽度调
7.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述热处理装置还包括第一微正压腔和第二微正压腔，所述第一微正压腔包括第一子通孔和第二子通孔，所述第二微正压腔包括第三子通孔和第四子通孔，所述真空室还包括设置于两端的第一通孔和第二通孔，所述第一微正压腔设置于所述真空室的第一通孔端，所述第二微正压腔设置于所述真空室的第二通孔端；
8.根据权利要求7所述的热处理装置，其特征在于，所述真空室还包括第三通孔；
9.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述热处理装置还包括保护罩；
10.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述热处理装置还包括用于固定所述目标工件的压紧轮；
...【技术特征摘要】
1.一种热处理装置，其特征在于，所述热处理装置包括等离子体电源和可容纳目标工件的真空室，所述等离子电源的正极与所述真空室的外壁连接，所述等离子体电源的负极与所述目标工件连接；
2.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述等离子体电源包括控制电路、处理电路和熄弧电路，所述控制电路分别与所述处理电路和所述熄弧电路连接，所述处理电路和所述熄弧电路连接；
3.根据权利要求2所述的热处理装置，其特征在于，所述控制电路，还用于在等待预设时间后，向所述熄弧电路发送关闭信号；
4.根据权利要求2所述的热处理装置，其特征在于，所述处理电路包括整流滤波电路、逆变电路、高频变压电路、快恢复整流电路，所述逆变电路分别与所述整流滤波电路和所述高频变压电路连接，所述高频变压电路和所述快恢复整流电路连接；
5.根据权利要求2至4任一所述的热处理装置，其特征在于，所述控制电路与所述逆变...
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