【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空镀膜设备，具体涉及一种真空镀膜装置。
技术介绍
1、真空镀膜设备的核心部分包括镀膜腔室、旋转架和靶材，旋转架安装在镀膜腔室中，靶材位于镀膜腔室侧壁上，其中，旋转架一般安装多块矩形挂板用于放置基片，多块矩形挂板环绕旋转架均匀间隔布置拼接成类似多边形筒状结构，各矩形挂板上放置基片后也呈似多边形筒状结构。当转动旋转架使各基片运动至靶材位置处进行镀膜时，由于基片在横向方向(切向)上各点到靶材的距离不同，会导致膜层厚度不一致，影响镀膜的均匀性。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题是克服现有技术存在的不足，提供一种可提高镀膜均匀性，且结构简单、易于实施应用、实施成本低的真空镀膜装置。
2、为解决上述技术问题，本专利技术采用以下技术方案：
3、一种真空镀膜装置，包括安装在镀膜腔室内的旋转架和安装在镀膜腔室侧壁上的一组以上靶材，所述旋转架上安装有多块用于放置基片的矩形挂板，多块矩形挂板环绕所述旋转架的转动轴线均匀间隔布置，所述旋转架上于任意相邻两块矩形挂板之间均设有将该相邻两块矩形挂板分隔开的隔挡件，沿旋转架径向向外的方向各隔挡件的高度大于两侧矩形挂板上基片的高度。
4、作为上述技术方案的进一步改进：
5、所述隔挡件包括底座和挡板，所述底座固定安装在旋转架上且位于相邻两块矩形挂板和旋转架之间，所述挡板的一端与底座固接，所述挡板的另一端自相邻两块矩形挂板之间的缝隙穿出至相邻两块矩形挂板与旋转架向背的一侧。
6、所
7、所述底座通过紧固件以可拆卸方式安装在旋转架上。
8、所述真空镀膜装置设有多组依次布置用于同时对相邻的多块矩形挂板上的基片进行镀膜的靶材。
9、与现有技术相比，本专利技术的优点在于：
10、本专利技术的真空镀膜装置由于在任意相邻两块矩形挂板之间均设有将该相邻两块矩形挂板分隔的隔挡件，且隔挡件的高度大于两侧矩形挂板上基片的高度，可减少各基片横向方向(切向)上中间区域和两端区域的膜层厚度差，从而提高镀膜均匀性。该真空镀膜装置还具有结构简单、易于实施应用、实施成本低的优点。
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1.一种真空镀膜装置，包括安装在镀膜腔室内的旋转架(1)和安装在镀膜腔室侧壁上的一组以上靶材(2)，所述旋转架(1)上安装有多块用于放置基片(100)的矩形挂板(3)，多块矩形挂板(3)环绕所述旋转架(1)的转动轴线均匀间隔布置，其特征在于：所述旋转架(1)上于任意相邻两块矩形挂板(3)之间均设有将该相邻两块矩形挂板(3)分隔开的隔挡件(4)，沿旋转架(1)径向向外的方向各隔挡件(4)的高度大于两侧矩形挂板(3)上基片(100)的高度。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于：所述隔挡件(4)包括底座(41)和挡板(42)，所述底座(41)固定安装在旋转架(1)上且位于相邻两块矩形挂板(3)和旋转架(1)之间，所述挡板(42)的一端与底座(41)固接，所述挡板(42)的另一端自相邻两块矩形挂板(3)之间的缝隙穿出至相邻两块矩形挂板(3)与旋转架(1)向背的一侧。
3.根据权利要求2所述的真空镀膜装置，其特征在于：所述底座(41)具有两侧分别向相邻两块矩形挂板(3)的中部位置延伸的底板部(411)，所述底板部(411)遮挡相邻两块矩形挂板(3)之间
4.根据权利要求2所述的真空镀膜装置，其特征在于：所述底座(41)通过紧固件以可拆卸方式安装在旋转架(1)上。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的真空镀膜装置，其特征在于：所述真空镀膜装置设有多组依次布置用于同时对相邻的多块矩形挂板(3)上的基片(100)进行镀膜的靶材(2)。
...【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜装置，包括安装在镀膜腔室内的旋转架(1)和安装在镀膜腔室侧壁上的一组以上靶材(2)，所述旋转架(1)上安装有多块用于放置基片(100)的矩形挂板(3)，多块矩形挂板(3)环绕所述旋转架(1)的转动轴线均匀间隔布置，其特征在于：所述旋转架(1)上于任意相邻两块矩形挂板(3)之间均设有将该相邻两块矩形挂板(3)分隔开的隔挡件(4)，沿旋转架(1)径向向外的方向各隔挡件(4)的高度大于两侧矩形挂板(3)上基片(100)的高度。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于：所述隔挡件(4)包括底座(41)和挡板(42)，所述底座(41)固定安装在旋转架(1)上且位于相邻两块矩形挂板(3)和旋转架(1)之间，所述挡板(42...
【专利技术属性】
技术研发人员：祝海生，孙桂红，梁红，陈立，黄国兴，李俊杰，李新栓，寇立，薛闯，桂丹，刘柏桢，黄乐，
申请(专利权)人：湘潭宏大真空技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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