一种蒸发镀膜上下料辅助工装制造技术

本技术公开了一种蒸发镀膜上下料辅助工装，属于蒸发镀膜设备技术领域。蒸发镀膜上下料辅助工装用于支撑承载盘，承载盘包括盘本体和设于盘本体中间部位的第一连接部，蒸发镀膜上下料辅助工装包括承载座，承载座上设置有保护槽，保护槽的深度尺寸大于第一连接部的长度尺寸，且保护槽的内径尺寸大于第一连接部的外径尺寸；第一连接部插接入保护槽的状态下，承载座于保护槽外周的侧壁支撑盘本体于第一连接部外周的侧壁。蒸发镀膜上下料辅助工装能够在对第一连接部实现有效保护的同时，将盘本体上的通孔全部漏出，便于操作人员向通孔位置处放置石英晶片。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及蒸发镀膜设备，尤其涉及一种蒸发镀膜上下料辅助工装。

技术介绍

1、蒸发镀膜是一种常见的表面处理技术，用于在待处理物体表面形成一层薄膜，它通过将材料加热至其蒸发温度，然后将蒸发物质沉积在待处理物体的表面上。石英晶片背镀是一种特殊的蒸发镀膜技术，用于在石英晶片的背面形成一层金属薄膜。

2、参见图1，在对石英晶片背镀的过程中，操作人员首先将承载石英晶片的承载盘1由蒸发镀膜设备设置中取出，然后将石英晶片放置于承载盘1上，之后再将承载盘1放于蒸发镀膜设备内部实现镀膜操作。承载盘1呈伞面状结构，承载盘1包括盘本体11，盘本体11中部底侧设置有第一连接部12，盘本体11中部顶侧设置有第二连接部13，当承载盘1放置于蒸发镀膜设备内部时，第一连接部12与第二连接部13用于与蒸发镀膜设备中的其余结构配合连接。盘本体11上开设有多个通孔111，通孔111的孔径大于石英晶片的直径以使得石英晶片能够穿过通孔111。通孔111边缘设置多个向通孔111的中心位置延伸的支撑片14，多个支撑片14用于对石英晶片支撑。

3、在向盘本体11上放置石英晶片的过程本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种蒸发镀膜上下料辅助工装，用于支撑承载盘(1)，所述承载盘(1)包括盘本体(11)和设于所述盘本体(11)中间部位的第一连接部(12)，其特征在于，所述蒸发镀膜上下料辅助工装包括：

2.根据权利要求1所述的蒸发镀膜上下料辅助工装，其特征在于，所述蒸发镀膜上下料辅助工装还包括第一保护垫(22)，所述第一保护垫(22)的一端与所述承载座(2)抵接，所述第一连接部(12)插接入所述保护槽(21)的状态下，所述第一保护垫(22)的另一端与所述盘本体(11)抵接。

3.根据权利要求2所述的蒸发镀膜上下料辅助工装，其特征在于，所述第一保护垫(22)远离所述保护槽(21)...

【技术特征摘要】

1.一种蒸发镀膜上下料辅助工装，用于支撑承载盘(1)，所述承载盘(1)包括盘本体(11)和设于所述盘本体(11)中间部位的第一连接部(12)，其特征在于，所述蒸发镀膜上下料辅助工装包括：

2.根据权利要求1所述的蒸发镀膜上下料辅助工装，其特征在于，所述蒸发镀膜上下料辅助工装还包括第一保护垫(22)，所述第一保护垫(22)的一端与所述承载座(2)抵接，所述第一连接部(12)插接入所述保护槽(21)的状态下，所述第一保护垫(22)的另一端与所述盘本体(11)抵接。

3.根据权利要求2所述的蒸发镀膜上下料辅助工装，其特征在于，所述第一保护垫(22)远离所述保护槽(21)槽底的一端设置有倒角，所述倒角沿远离所述保护槽(21)槽底的方向向外倾斜。

4.根据权利要求2所述的蒸发镀膜上下料辅助工装，其特征在于，所述蒸发镀膜上下料辅助工装还包括第二保护垫(23)，所述第二保护垫(23)呈环形，所述第二保护垫(23)设于所述保护槽(21)内，所述第二保护垫(23)外侧与保护槽(21)的侧壁抵接，所述第一连接部(12)插接入所述保护槽(21)的状态下，所述第二保护垫(23)的内侧与所述第一连接部(12)抵接。...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨洋，
申请(专利权)人：天通瑞宏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：