【技术实现步骤摘要】
本技术涉及太阳能电池制造，尤其涉及一种镀膜设备。
技术介绍
1、在太阳能电池领域，异质结电池因其高效率及高稳定性的特点受到广泛关注。在相关技术中，用于异质结电池的镀膜设备中的两个腔体相互连通以使载板进入到不同的腔体内，然而两个腔体之间会存在串气问题，导致镀膜质量受到影响，进而影响到电池片的光电转换效率。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种镀膜设备，能够保证第一腔体和第二腔体之间的工艺气体互不干扰，相互隔离，不会发生串气现象，确保了异质结电池基片的工艺品质。
2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：
3、镀膜设备，包括：第一腔体、第二腔体、第一开关件、第二开关件和转运机构，转运机构包括：
4、转运腔体，包括入口腔体和出口腔体，入口腔体被配置为接收第一腔体内的载板，出口腔体被配置为输出载板至第二腔体；以及
5、转运部件，用于在第一腔体和第二腔体之间转运载板；
6、其中，第一开关件设置于入口腔体与第一腔体之间，用于打开或关闭入口腔体；第二开关件设置于出口腔体与第二腔体之间，用于打开或关闭出口腔体。
7、在一些实施例中，转运部件包括：
8、第一传动件，用于将第一腔体内的载板输送至入口腔体；
9、第二传动件，用于将出口腔体内的载板输送至第二腔体；
10、转运件，用于将入口腔体内的载板转运至出口腔体。
11、在一些实施例中，转运件包括：
12、抓取部，用于
13、第一驱动部，设置于转运腔体，第一驱动部用于带动抓取部在入口腔体和出口腔体之间往复运动；
14、第二驱动部，设置于转运腔体，第二驱动部用于带动第一驱动部和抓取部升降。
15、在一些实施例中，第一驱动部包括：
16、固定件，设置于转运腔体；
17、第一驱动件，设置于固定件；
18、丝杆，转动设置于固定件上并连接于第一驱动件的输出端，抓取部螺纹连接于丝杆，第一驱动件能驱动丝杆转动；
19、导轨，设置于固定件；
20、滑块，与抓取部连接，且滑块与导轨滑动连接。
21、在一些实施例中，转运腔体包括腔盖；第二驱动部包括：
22、第二驱动件，设置于腔盖，第二驱动件的输出端与固定件连接。
23、在一些实施例中，还包括波纹管，波纹管一端与第二驱动件密封连接，另一端与腔盖密封连接。
24、在一些实施例中，第一腔体和第二腔体设于转运腔体的同一侧。
25、在一些实施例中，第一腔体包括按加工顺序设置的上料腔、第一缓冲腔和第二缓冲腔，第一缓冲腔和第二缓冲腔之间设有至少一个第一工艺腔；第二腔体包括按加工顺序设置的第三缓冲腔、第四缓冲腔和下料腔，第三缓冲腔和第四缓冲腔之间设有至少一个第二工艺腔；转运腔体分别与第二缓冲腔、第三缓冲腔相连。
26、在一些实施例中，上料腔与第一缓冲腔之间设置有加热腔，和/或
27、下料腔与第四缓冲腔之间设置有冷却腔。
28、在一些实施例中，还包括传送部件，传送部件设于第一腔体远离转运腔体的一端，用于将下料腔出来的载板送至上料腔。
29、本技术的有益效果：
30、通过设置第一开关件和第二开关件，在转运过程中，保证了第一腔体和第二腔体不会同时连通，使得第一腔体和第二腔体之间的工艺气体互不干扰，不会发生串气现象，提高了异质结电池基片通过该镀膜设备进行镀膜后的镀膜品质。
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1.镀膜设备，其特征在于，包括：第一腔体(10)、第二腔体(20)、第一开关件(30)、第二开关件(40)和转运机构(50)，所述转运机构(50)包括：
2.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述转运部件(52)包括：
3.根据权利要求2所述的镀膜设备，其特征在于，所述转运件(523)包括：
4.根据权利要求3所述的镀膜设备，其特征在于，所述第一驱动部(5232)包括：
5.根据权利要求4所述的镀膜设备，其特征在于，所述转运腔体(51)包括腔盖(513)；所述第二驱动部(5233)包括：
6.根据权利要求5所述的镀膜设备，其特征在于，还包括波纹管(70)，所述波纹管(70)一端与所述第二驱动件(52331)密封连接，另一端与所述腔盖(513)密封连接。
7.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述第一腔体(10)和第二腔体(20)设于所述转运腔体(51)的同一侧。
8.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述第一腔体(10)包括按加工顺序设置的上料腔(101)、第一缓冲腔(10
9.根据权利要求8所述的镀膜设备，其特征在于，所述上料腔(101)与所述第一缓冲腔(102)之间设置有加热腔(105)，和/或
10.根据权利要求8所述的镀膜设备，其特征在于，还包括传送部件(90)，所述传送部件(90)设于所述第一腔体(10)远离所述转运腔体(51)的一端，用于将所述下料腔(203)出来的所述载板(60)送至所述上料腔(101)。
...【技术特征摘要】
1.镀膜设备，其特征在于，包括：第一腔体(10)、第二腔体(20)、第一开关件(30)、第二开关件(40)和转运机构(50)，所述转运机构(50)包括：
2.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述转运部件(52)包括：
3.根据权利要求2所述的镀膜设备，其特征在于，所述转运件(523)包括：
4.根据权利要求3所述的镀膜设备，其特征在于，所述第一驱动部(5232)包括：
5.根据权利要求4所述的镀膜设备，其特征在于，所述转运腔体(51)包括腔盖(513)；所述第二驱动部(5233)包括：
6.根据权利要求5所述的镀膜设备，其特征在于，还包括波纹管(70)，所述波纹管(70)一端与所述第二驱动件(52331)密封连接，另一端与所述腔盖(513)密封连接。
7.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述第一腔体(10)和第二腔体(20)设于所述转运腔体(51)的同一侧。
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【专利技术属性】
技术研发人员：祁文杰，张武，
申请(专利权)人：拉普拉斯西安科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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