【技术实现步骤摘要】
本技术涉及太阳能电池制造，尤其涉及一种密封结构、进气组件及镀膜设备。
技术介绍
1、对于镀膜设备而言，腔体侧板上的气口与特气管之间的密封性十分重要，密封性的好坏决定着电池片镀膜的均匀性。
2、目前腔体侧板上的气口与特气管管口之间的密封形式为：特气管的管口口设置有密封件，靠腔体的侧板合盖时对密封件的产生压力来产生密封。对于大型镀膜设备而言，在加工中平面度会有一定误差，在镀膜过程中受大气压力的持续施压，腔体侧板会产生一定水平变形，导致腔体侧板与密封件结合的平面会产生下凹的变形，导致此部分密封不严实，会造成气体泄露，影响镀膜均匀性。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种密封结构、进气组件及镀膜设备，使密封件始终保持与腔体的第一侧壁抵接，进而确保密封性。
2、一方面提供一种密封结构，设置在腔体内，腔体包括相对设置的第一侧壁和第二侧壁，第一侧壁开设有气口；密封结构包括固定件、密封件、弹性组件以及波纹管，固定件用于安装气管；密封件固定设置于固定件上，密封件用于密封气管的管口与气口之间的间隙；弹性组件一端连接于固定件，另一端连接在第二侧壁，密封件在弹性组件作用下保持与第一侧壁抵接；波纹管套设于气管，且波纹管两端分别密封连接于固定件和第二侧壁。
3、从而使得固定件上的密封件保持与腔体第一侧壁抵接，保证第一侧壁上气口与气管管口之间密封性；此外即使腔体的第一侧壁在水平方向上存在变形，该密封结构通过弹性组件可自适应第一侧壁的变形，使密封件始终保持抵接腔体的第一侧
4、在一些实施例中，密封结构还包括调节件，调节件设置在第二侧壁上，弹性组件设在调节件与固定件之间；调节件与固定件之间的距离可调。
5、通过调节件的调节可以预压缩弹性组件，调整弹性组件的预压缩程度，进而能够调整密封件抵接第一侧壁的力度，避免密封件处漏气。
6、在一些实施例中，密封结构还包括多个调节导向件，调节导向件一端设置于第二侧壁，调节件可滑动设于调节导向件另一端上，调节件的上下端面均设置有与调节导向件紧固连接的第一紧固件。
7、通过调节导向件对调节完成后的调节件进行固定，方便调节件的调节。
8、在一些实施例中，调节导向件远离调节件的一端设置有承托件，承托件设于第二侧壁。
9、通过设置承托件，够增大调节导向件与第二侧壁之间的接触面积，使调节导向件更加地稳定。
10、在一些实施例中，第二侧壁固定设置有多个限制件，限制件与调节导向件同向设置，调节件滑动穿设于限制件，限制件上设置有能够紧固的第二紧固件，以限制承托件脱离第二侧壁。
11、通过第二紧固件将调节件限制在第二侧壁上，避免述承托件脱离第二侧壁，使承托件更加地稳定。
12、在一些实施例中，弹性组件包括连接件和弹性件，连接件一端固定设置于调节件，固定件可滑动设于连接件另一端。
13、通过连接件能够方便固定弹性件，使弹性件稳定与调节件与固定件之间。
14、在一些实施例中，密封件为o型密封圈。
15、另一方面提供一种进气组件，该进气组件包括气管和如上的密封结构，气管一端固定于固定件，气管另一端固定于第二侧壁且伸出第二侧壁。
16、通过上述进气组件能够通过该密封结构可自适应第一侧壁的变形，使密封件始终保持抵接腔体的第一侧壁，进而确保密封性。
17、在一些实施例中，气管能够弹性形变。
18、通过气管的形变能够抵消移抵消固定件水平变形时对气管产生的力，避免气管断裂。
19、另一方面还提供一种镀膜设备，镀膜设备包括腔体和如上的进气组件，进气组件安装于腔体内。
20、采用上述的镀膜设备，可自适应第一侧壁的变形，使密封件始终保持抵接腔体的第一侧壁，进而确保密封性，保证镀膜设备的密封性。
21、本技术的有益效果：
22、根据本技术实施例的密封结构，通过设置弹性组件和波纹管，当腔体的第一侧壁作用于固定件时，使得固定件向下移动，弹性组件会被压缩，此时固定件的位移量通过弹性组件和波纹管来弥补掉，从而使得固定件上的密封件保持与腔体第一侧壁抵接，保证第一侧壁上气口与气管管口之间密封性；此外即使腔体的第一侧壁在水平方向上存在变形，该密封结构通过弹性组件可自适应第一侧壁的变形，使密封件始终保持抵接腔体的第一侧壁，进而确保密封性。
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1.密封结构，设置在腔体(1)内，所述腔体(1)包括相对设置的第一侧壁(11)和第二侧壁(12)，所述第一侧壁(11)开设有气口(13)；其特征在于，所述密封结构包括：
2.根据权利要求1所述的密封结构，其特征在于，所述密封结构还包括调节件(7)，所述调节件(7)设置在所述第二侧壁(12)上，所述弹性组件(6)设在所述调节件(7)与所述固定件(4)之间；所述调节件(7)与所述固定件(4)之间的距离可调。
3.根据权利要求2所述的密封结构，其特征在于，所述密封结构还包括多个调节导向件(8)，所述调节导向件(8)一端设置于所述第二侧壁(12)，所述调节件(7)可滑动设于所述调节导向件(8)另一端上，所述调节件(7)的上下端面均设置有与所述调节导向件(8)紧固连接的第一紧固件(9)。
4.根据权利要求3所述的密封结构，其特征在于，所述调节导向件(8)远离所述调节件(7)的一端设置有承托件(10)，所述承托件(10)设于所述第二侧壁(12)。
5.根据权利要求4所述的密封结构，其特征在于，所述第二侧壁(12)固定设置有多个限制件(20)，所
6.根据权利要求2所述的密封结构，其特征在于，所述弹性组件(6)包括连接件(61)和弹性件(62)，所述连接件(61)一端固定设置于所述调节件(7)，所述固定件(4)可滑动设于所述连接件(61)另一端。
7.根据权利要求1所述的密封结构，其特征在于，所述密封件(5)为O型密封圈。
8.进气组件，其特征在于，包括气管(2)和如权利要求1-6任一所述的密封结构，所述气管(2)一端固定于所述固定件(4)，所述气管(2)另一端固定于所述第二侧壁(12)且伸出所述第二侧壁(12)。
9.根据权利要求8所述的进气组件，其特征在于，所述气管(2)能够弹性形变。
10.镀膜设备，其特征在于，包括腔体(1)和如权利要求8-9任一所述的进气组件，所述进气组件安装于所述腔体(1)内。
...【技术特征摘要】
1.密封结构，设置在腔体(1)内，所述腔体(1)包括相对设置的第一侧壁(11)和第二侧壁(12)，所述第一侧壁(11)开设有气口(13)；其特征在于，所述密封结构包括：
2.根据权利要求1所述的密封结构，其特征在于，所述密封结构还包括调节件(7)，所述调节件(7)设置在所述第二侧壁(12)上，所述弹性组件(6)设在所述调节件(7)与所述固定件(4)之间；所述调节件(7)与所述固定件(4)之间的距离可调。
3.根据权利要求2所述的密封结构，其特征在于，所述密封结构还包括多个调节导向件(8)，所述调节导向件(8)一端设置于所述第二侧壁(12)，所述调节件(7)可滑动设于所述调节导向件(8)另一端上，所述调节件(7)的上下端面均设置有与所述调节导向件(8)紧固连接的第一紧固件(9)。
4.根据权利要求3所述的密封结构，其特征在于，所述调节导向件(8)远离所述调节件(7)的一端设置有承托件(10)，所述承托件(10)设于所述第二侧壁(12)。
5.根据权利要求4所述的密封结构，其特征在于，所述第二侧壁(12)固...
【专利技术属性】
技术研发人员：祁文杰，张武，
申请(专利权)人：拉普拉斯西安科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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