【技术实现步骤摘要】
本申请涉及太阳能电池制造，尤其涉及一种光注入退火设备。
技术介绍
1、在太阳能电池片的生产过程中，为了防止太阳能电池片产生光衰现象，技术人员通常利用光源来照射并加热太阳能电池片，以使太阳能电池片中所含的氢源进行钝化处理。然而，现有的光注入退火设备单纯的采用光源照射并加热太阳能电池片，太阳能电池片的钝化效果不佳。
技术实现思路
1、有鉴于此，有必要提供一种光注入退火设备，以改善现有太阳能电池片钝化效果不佳的技术问题。
2、本申请提供一种光注入退火设备，光注入退火设备包括工艺腔、温控组件、灯源组件以及进气组件，温控组件安装于工艺腔；温控组件被配置为承载目标物，并对目标物进行加热或冷却；灯源组件安装于温控组件上方，用于照射目标物；进气组件至少部分位于工艺腔内，且进气组件位于工艺腔内的部分开设有气孔，进气组件被配置为通过气孔向工艺腔内通入工艺气体。
3、上述的光注入退火设备，不仅能够在对太阳能电池片进行光照的同时，通过进气组件向腔体内通入工艺气体，以提高太能电池片的钝化效果，还能够通过温控组件，实现对太阳能电池片温度的控制调节，保证太阳能电池片始终处于较佳的工艺温度。
4、在至少一个实施例中，工艺腔包括腔盖和腔体，腔盖转动安装于腔体，以封闭或打开腔体；进气组件包括进气接头和匀流管，进气接头穿设于腔体，匀流管安装于腔体内；进气接头的位于腔体外的一端与外部气源连接，进气接头位于所述腔体内的一端与匀流管连接，匀流管开设有气孔。
5、在至少一个实施例
6、在至少一个实施例中，灯源组件包括led灯头和冷却水管接头， led灯头安装于腔盖朝向腔体的一侧，且led灯头与腔盖之间形成有密闭的冷却腔；冷却水管接头设置于腔盖，并与冷却腔相连通；冷却水管接头被配置为将冷却介质注入冷却腔内，或将冷却介质从冷却腔内排出。
7、在至少一个实施例中，温控组件包括承载板、加热板、冷却板以及多个长度可调节的支撑件，承载板被配置为承载目标物，加热板安装于承载板背离所述目标物的一侧，加热板用于在目标物所处环境的温度低于工艺温度时，对目标物进行加热；冷却板安装于加热板的背离承载板的一侧，且冷却板背离承载板的一侧与腔体的底壁连接；冷却板用于在目标物所处环境的温度高于工艺温度时，对目标物进行冷却；每一个支撑件的一端与加热板可拆卸地连接，支撑件的另一端与冷却板可拆卸地连接。
8、在至少一个实施例中，腔盖设置有转动连接部，光注入退火设备还包括驱动组件，驱动组件安装于腔体，且驱动组件的输出端与转动连接部连接；腔盖在驱动组件的驱动下，封闭或打开腔体。
9、在至少一个实施例中，腔盖与腔体中的其中一个设置有卡槽，另一个设置有锁紧件；在腔盖封闭腔体时，锁紧件卡接于卡槽内，以锁紧腔盖与腔体。
10、在至少一个实施例中，光注入退火设备还包括冷却组件，冷却组件设置于腔体的侧壁。
11、在至少一个实施例中，冷却组件包括冷却管道，冷却管道设置于腔体的外周壁，且冷却管道呈矩形排布。
12、在至少一个实施例中，腔体设置有抽气口，抽气口与腔体的内部空间相连通；光注入退火设备还包括抽真空组件，抽真空组件安装于腔体的外部，并与抽气口相连接，抽真空组件被配置为抽取腔体内的气体。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种光注入退火设备，其特征在于，所述光注入退火设备包括：
2.根据权利要求1所述的光注入退火设备，其特征在于，所述工艺腔包括腔盖和腔体，所述腔盖转动安装于所述腔体，以封闭或打开所述腔体；
3.根据权利要求2所述的光注入退火设备，其特征在于，所述气孔的数量为多个，多个所述气孔沿所述进气组件的进气方向间隔设置。
4.根据权利要求3所述的光注入退火设备，其特征在于，所述灯源组件包括LED灯头和冷却水管接头，所述LED灯头安装于所述腔盖朝向所述腔体的一侧，且所述LED灯头与所述腔盖之间形成有密闭的冷却腔；
5.根据权利要求2至4任一项所述的光注入退火设备，其特征在于，所述温控组件包括：
6.根据权利要求2至4任一项所述的光注入退火设备，其特征在于，所述腔盖设置有转动连接部，所述光注入退火设备还包括驱动组件，所述驱动组件安装于所述腔体，且所述驱动组件的输出端与所述转动连接部连接；所述腔盖在所述驱动组件的驱动下，封闭或打开所述腔体。
7. 根据权利要求6所述的光注入退火设备，其特征在于， 所述腔盖与所述腔体中的其中一
8.根据权利要求2所述的光注入退火设备，其特征在于，所述光注入退火设备还包括冷却组件，所述冷却组件设置于所述腔体的侧壁。
9.根据权利要求8所述的光注入退火设备，其特征在于，所述冷却组件包括冷却管道，所述冷却管道设置于所述腔体的外周壁，且所述冷却管道呈矩形排布。
10.根据权利要求2所述的光注入退火设备，其特征在于，所述腔体设置有抽气口，所述抽气口与所述腔体的内部空间相连通；
...【技术特征摘要】
1.一种光注入退火设备，其特征在于，所述光注入退火设备包括：
2.根据权利要求1所述的光注入退火设备，其特征在于，所述工艺腔包括腔盖和腔体，所述腔盖转动安装于所述腔体，以封闭或打开所述腔体；
3.根据权利要求2所述的光注入退火设备，其特征在于，所述气孔的数量为多个，多个所述气孔沿所述进气组件的进气方向间隔设置。
4.根据权利要求3所述的光注入退火设备，其特征在于，所述灯源组件包括led灯头和冷却水管接头，所述led灯头安装于所述腔盖朝向所述腔体的一侧，且所述led灯头与所述腔盖之间形成有密闭的冷却腔；
5.根据权利要求2至4任一项所述的光注入退火设备，其特征在于，所述温控组件包括：
6.根据权利要求2至4任一项所述的光注入退火设备，其特征在于，所述腔盖设置有转动连接部，所述光注入退火设备还包括...
【专利技术属性】
技术研发人员：祁文杰，卢秋霞，刘群，
申请(专利权)人：拉普拉斯西安科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。