输送控制方法、输送装置及加工系统制造方法及图纸

技术编号:41243611 阅读:15 留言:0更新日期:2024-05-09 23:54
本申请提供一种输送控制方法、输送装置及加工系统,输送控制方法包括:响应于第m输送带与第m+1输送带同时输送同一物料,控制第m输送带处于与第m+1输送带相同的工作模式,1≤m<n;工作模式包括第一模式和第二模式,第二模式的平均输送速度大于第一模式的平均输送速度,第n输送带处于第一模式;响应于第m输送带与第m+1输送带之间未同时输送同一物料,控制第m输送带处于第二模式。在多个物料沿输送方向依次经过多个输送带时,多个物料间歇性地加速追赶,能够在不影响第二腔内物料匀速移动的情况下,缩短进入第二腔的多个物料之间的物料间距,有效减少靶材穿过物料间距镀在腔壁上的数量,从而减少靶材的无效耗费量,降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及物料输送的,特别涉及一种输送控制方法、输送装置及加工系统


技术介绍

1、pvd(physical vapor deposition,物理气相沉积)设备通常包括有第一腔、第二腔以及输送带。在连续化生产中,多个物料需要依次输送至第一腔进行预热,在预热过程中,物料需要在第一腔内停留指定的时间。在预热完成后,由输送带将多个物料依次输送至第二腔。第二腔对多个物料进行pvd镀膜。

2、但是,第二腔中的多个物料在镀膜过程中需要保持向前移动,而位于第一腔内的物料需则要停留一段时间进行预热,则会存在上一个物料继续向前移动、下一个物料暂停移动的情况,导致进入第二腔的上一个物料与下一个物料之间的间距较大,提高了第二腔中靶材的无效耗费量,增加生产成本。


技术实现思路

1、鉴于以上内容,有必要提供一种输送控制方法、输送装置及加工系统,以解决上述缺陷。

2、第一方面,本申请的实施例提供一种输送控制方法,应用于输送装置;输送装置包括:n个输送带,沿输送方向间隔排布,用于沿输送方向依次输送多个物料,n≥2本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种输送控制方法,其特征在于,应用于输送装置;所述输送装置包括:

2.如权利要求1所述的输送控制方法,其特征在于,所述第一模式包括:以第一速度输送所述物料;

3.如权利要求1所述的输送控制方法,其特征在于,所述输送装置包括位置检测模组,所述位置检测模组用于监测所述输送装置上所有所述物料的位置。

4.如权利要求1所述的输送控制方法,其特征在于,所述输送带包括长距输送带,所述长距输送带接近于所述第一腔;在所述输送方向上,所述长距输送带的长度大于所述物料的长度。

5.如权利要求1所述的输送控制方法,其特征在于,所述输送带包括短距输送带,所述短...

【技术特征摘要】

1.一种输送控制方法,其特征在于,应用于输送装置;所述输送装置包括:

2.如权利要求1所述的输送控制方法,其特征在于,所述第一模式包括:以第一速度输送所述物料;

3.如权利要求1所述的输送控制方法,其特征在于,所述输送装置包括位置检测模组,所述位置检测模组用于监测所述输送装置上所有所述物料的位置。

4.如权利要求1所述的输送控制方法,其特征在于,所述输送带包括长距输送带,所述长距输送带接近于所述第一腔;在所述输送方向上,所述长距输送带的长度大于所述物料的长度。

5.如权利要求1所述的输送控制方法,其特征在于,所述输送带包括短距输送带,所述短距输送带接近于所述第二腔;在所述输送方向上,所述短距输...

【专利技术属性】
技术研发人员:祁文杰卢秋霞林佳继
申请(专利权)人:拉普拉斯西安科技有限责任公司
类型:发明
国别省市:

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