【技术实现步骤摘要】
本技术涉及太阳能电池制造，尤其涉及一种载板传输装置及pvd设备。
技术介绍
1、在太阳能电池制造中，需要通过物理气相沉积(physical vapor deposition，pvd)设备进行pvd工艺，从而在经pecvd工艺形成的p型非晶硅及n型非晶硅上沉积透明导电膜。pvd工艺中，多个承载有硅片的载板，在pvd设备中移动，进而带动载板依次经过装载腔、预热腔、缓冲腔以及工艺腔。装载腔进行抽真空过程，预热腔对硅片进行预热，然后载板进入缓冲腔等待，最终进入工艺腔进行硅片的镀膜过程。
2、在现有技术中，相邻两块载板进入工艺腔时存在20-30s的时间差，也就是说，在工艺腔中，相邻两块载板之间会存在间隙，该间隙大于工艺要求的预设间隙，因此在工艺腔中进行镀膜时，靶材会把沉积膜透过上述间隙镀到工艺腔的腔体内壁，导致靶材的利用率降低，同时不利于保护工艺腔的清洁。
3、因此，亟需一种载板传输装置及pvd设备，以解决以上问题。
技术实现思路
1、根据本技术的一个方面，目的在于提供一种载板传输装置，该载板传输装置能够控制进入工艺腔后的相邻两个载板之间的间距在预设的间距内，避免工艺腔内壁被镀膜，导致清洁程度下降的问题，同时有效提高了靶材的利用率。
2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：
3、载板传输装置，被配置为将载板传输至工艺腔中，所述载板传输装置包括：
4、第一驱动机构，所述第一驱动机构与载板连接，用于调节前后相邻输送的第一载板和第二载板的
5、第二驱动机构，设置于所述第一驱动机构的下游，当第一载板和第二载板之间的间距保持在预设间距内时，所述第二驱动机构用于带动所述第一载板和第二载板匀速传输至所述工艺腔。
6、作为本技术提供的载板传输装置的优选方案，所述第一驱动机构包括加速传输机构和减速传输机构，所述加速传输机构能够以第一速度传输所述载板，所述第一速度大于所述载板的原传输速度；
7、所述减速传输机构设置于所述加速传输机构的下游，能够以第二速度传输所述载板，所述第二速度小于所述第一速度。
8、作为本技术提供的载板传输装置的优选方案，所述加速传输机构包括第一驱动组件和第一传动组件，所述第一传动组件包括第一传动带和第一主承载运输件，所述第一传动带传动连接于所述第一驱动组件的输出端和所述第一主承载运输件的动力输入端；
9、所述第一主承载运输件的输出端设置第一主内导轮，所述第一主内导轮连接于所述载板。
10、作为本技术提供的载板传输装置的优选方案，所述第一传动组件还包括第一主张紧轮，所述第一主张紧轮可转动地贴靠于所述第一传动带的侧部，用于张紧所述第一传动带。
11、作为本技术提供的载板传输装置的优选方案，所述第一传动组件还包括第一副承载运输件，所述第一副承载运输件间隔设置并传动连接于所述第一主承载运输件，所述第一副承载运输件的输出端设置第一副内导轮，所述第一副内导轮连接于所述载板，所述第一副内导轮与所述第一主内导轮沿所述载板的传输方向间隔布置，能够与所述第一主内导轮同步转动。
12、作为本技术提供的载板传输装置的优选方案，所述第一副承载运输件和所述第一主承载运输件之间通过第一从动带传动连接；
13、所述第一传动组件还包括第一副张紧轮，所述第一副张紧轮可转动地贴靠于所述第一从动带的侧部，用于张紧所述第一从动带。
14、作为本技术提供的载板传输装置的优选方案，所述减速传输机构包括第二驱动组件和第二传动组件，所述第二传动组件包括第二传动带和第二主承载运输件，所述第二传动带传动连接于所述第二驱动组件的输出端和所述第二主承载运输件的动力输入端；
15、所述第二主承载运输件的输出端设置第二主内导轮，所述第二主内导轮连接于所述载板。
16、作为本技术提供的载板传输装置的优选方案，所述第二驱动机构包括匀速驱动组件和匀速传动组件，所述匀速传动组件包括第三传动带和第三主承载运输件，所述第三传动带传动连接于所述匀速驱动组件的输出端和所述第三主承载运输件的动力输入端；
17、所述第三主承载运输件的输出端设置第三主内导轮，所述第三主内导轮连接于所述载板。
18、作为本技术提供的载板传输装置的优选方案，所述匀速传动组件还包括多个第三副承载运输件，多个所述第三副承载运输件沿所述载板的传输方向依次布置，并传动连接，所述第三副承载运输件的输出端设置第三副内导轮，所述第三副内导轮连接于所述载板，所述第三主承载运输件的动力输入端传动连接于一个所以第三副承载运输件的动力输入端，以带动多个所述第三副内导轮同步转动。
19、根据本技术的另一个方面，目的在于提供一种pvd设备，所述pvd设备包括装载腔、预热腔、缓冲腔和工艺腔，还包括如上述方案任一项所述的载板传输装置，所述缓冲腔的相对两侧壁分别设置一个所述载板传输装置，两个所述载板传输装置同步运转，以将多个所述载板传输至所述工艺腔。
20、本技术的有益效果：
21、本技术提供的载板传输装置包括第一驱动机构和第二驱动机构。该第一驱动机构与载板连接，用于调节前后相邻输送的第一载板和第二载板的输送速度，以使第一载板和第二载板之间的间距保持在预设间距内，达到控制两者的间距的目的。第二驱动机构设置于该第一驱动机构的下游，当第一载板和第二载板之间的间距保持在预设间距内时，该第二驱动机构用于带动该第一载板和第二载板匀速传输至该工艺腔。通过上述设置，相邻两个载板能够在保证间距维持在预设间距范围之内的条件下进入工艺腔，避免工艺腔内壁被镀膜导致清洁程度下降的问题，同时有效提高了靶材的利用率。
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1.载板传输装置，其特征在于，被配置为将载板(1)传输至工艺腔中，所述载板传输装置包括：
2.根据权利要求1所述的载板传输装置，其特征在于，所述第一驱动机构包括加速传输机构(100)和减速传输机构(200)，所述加速传输机构(100)以第一速度传输所述载板(1)，所述第一速度大于所述载板(1)的原传输速度；
3.根据权利要求2所述的载板传输装置，其特征在于，所述加速传输机构(100)包括第一驱动组件(110)和第一传动组件，所述第一传动组件包括第一传动带(120)和第一主承载运输件(130)，所述第一传动带(120)传动连接于所述第一驱动组件(110)的输出端和所述第一主承载运输件(130)的动力输入端；
4.根据权利要求3所述的载板传输装置，其特征在于，所述第一传动组件还包括第一主张紧轮(150)，所述第一主张紧轮(150)可转动地贴靠于所述第一传动带(120)的侧部，用于张紧所述第一传动带(120)。
5.根据权利要求3所述的载板传输装置，其特征在于，所述第一传动组件还包括第一副承载运输件(160)，所述第一副承载运输件(160
6.根据权利要求5所述的载板传输装置，其特征在于，所述第一副承载运输件(160)和所述第一主承载运输件(130)之间通过第一从动带(180)传动连接；
7.根据权利要求2所述的载板传输装置，其特征在于，所述减速传输机构(200)包括第二驱动组件(210)和第二传动组件，所述第二传动组件包括第二传动带(220)和第二主承载运输件(230)，所述第二传动带(220)传动连接于所述第二驱动组件(210)的输出端和所述第二主承载运输件(230)的动力输入端；
8.根据权利要求1所述的载板传输装置，其特征在于，所述第二驱动机构(300)包括匀速驱动组件(310)和匀速传动组件，所述匀速传动组件包括第三传动带(320)和第三主承载运输件(330)，所述第三传动带(320)传动连接于所述匀速驱动组件(310)的输出端和所述第三主承载运输件(330)的动力输入端；
9.根据权利要求8所述的载板传输装置，其特征在于，所述匀速传动组件还包括多个第三副承载运输件(350)，多个所述第三副承载运输件(350)沿所述载板(1)的传输方向依次布置，并依次传动连接，所述第三副承载运输件(350)的输出端设置第三副内导轮(360)，所述第三副内导轮(360)连接于所述载板(1)，所述第三主承载运输件(330)的动力输入端传动连接于一个所以第三副承载运输件(350)的动力输入端，以带动多个所述第三副内导轮(360)同步转动。
10.PVD设备，其特征在于，包括装载腔、预热腔、缓冲腔(10)和工艺腔，还包括如权利要求1-9任一项所述的载板传输装置，所述缓冲腔(10)的相对两侧壁分别设置一个所述载板传输装置，两个所述载板传输装置同步运转，以将多个所述载板(1)传输至所述工艺腔。
...【技术特征摘要】
1.载板传输装置，其特征在于，被配置为将载板(1)传输至工艺腔中，所述载板传输装置包括：
2.根据权利要求1所述的载板传输装置，其特征在于，所述第一驱动机构包括加速传输机构(100)和减速传输机构(200)，所述加速传输机构(100)以第一速度传输所述载板(1)，所述第一速度大于所述载板(1)的原传输速度；
3.根据权利要求2所述的载板传输装置，其特征在于，所述加速传输机构(100)包括第一驱动组件(110)和第一传动组件，所述第一传动组件包括第一传动带(120)和第一主承载运输件(130)，所述第一传动带(120)传动连接于所述第一驱动组件(110)的输出端和所述第一主承载运输件(130)的动力输入端；
4.根据权利要求3所述的载板传输装置，其特征在于，所述第一传动组件还包括第一主张紧轮(150)，所述第一主张紧轮(150)可转动地贴靠于所述第一传动带(120)的侧部，用于张紧所述第一传动带(120)。
5.根据权利要求3所述的载板传输装置，其特征在于，所述第一传动组件还包括第一副承载运输件(160)，所述第一副承载运输件(160)间隔设置并传动连接于所述第一主承载运输件(130)，所述第一副承载运输件(160)的输出端设置第一副内导轮(170)，所述第一副内导轮(170)连接于所述载板(1)，所述第一副内导轮(170)与所述第一主内导轮(140)沿所述载板(1)的传输方向间隔布置，能够与所述第一主内导轮(140)同步转动。
6.根据权利要求5所述的载板传输装置，其特征在于，所述第一副承载运输件(160)和所述第一主承载运输件...
【专利技术属性】
技术研发人员：祁文杰，林佳继，
申请(专利权)人：拉普拉斯西安科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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