【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及pecvd，具体涉及一种光伏电池载板在线处理方法。
技术介绍
1、pecvd全称是等离子体增强化学气相沉积，其原理是在脉冲电压的作用下，气体辉光放电产生等离子体，促成了气体间的化学反应，在硅片表面形成非晶硅固态薄膜。载板作为硅片的载体，表面同样会沉积非晶硅薄膜，当膜层沉积到一定厚度会有脱落的风险，造成设备的污染，所以载板要定期清洗。
2、载板的清洁程度会直接影响到硅片表面的成膜质量，因此pecvd反应腔室和载板非晶硅膜层沉积到一定程度必须要进行清洗处理。载板的清洗分为离线清洗和在线清洗。离线清洗是在pecvd生产设备外围进行机械研磨或化学清洗；在线清洗是在pecvd反应腔室内通入含氟气体进行清洗，去除载板表面的非晶硅镀层。
3、现有技术中，离线清洗无论是机械研磨还是化学清洗，都需要一套完整的清洗系统来处理载板，不仅结构复杂增加产线不必要的占地面积，而且会对载板造成不可逆的损伤影响使用寿命。在线清洗需要占用pecvd反应腔室，使用射频发生器和含氟气体进行清洗。虽然反应腔室也需要定期清洗去除非晶硅膜层，但是实际生产过程中载板的数量要多于反应腔室数倍，占用反应腔室清洗载板会增加维护保养时间，影响设备整体的稼动率。
技术实现思路
1、本专利技术提出了一种光伏电池载板在线处理方法，解决上述现有技术存在的技术问题。
2、根据本专利技术的一个方面，提供了一种光伏电池载板在线处理方法，其特征在于，包括：步骤一，提供一pecvd产线，所述pecvd产
3、进一步地，所述支撑机构包括：支撑杆、挡板、升降组件、伸缩组件，其中，支撑杆位于空载板下部，支撑杆中间部分设有扁槽，底部连接至升降组件，挡板在支撑杆位置设有宽槽，侧边连接至伸缩组件。
4、进一步地，所述支撑杆与真空室馈入处设有波纹管。
5、进一步地，所述挡板与真空室馈入处设有波纹管。
6、进一步地，所述挡板宽槽尺寸大于支撑杆外径。
7、进一步地，所述顶升机构包括升降组件和支柱，所述升降组件和支柱连接。
8、进一步地，所述馈入机构包括馈入电极、固定电极板、浮动电极板和馈出电极，所述馈入电极与射频发生器rf极相接。固定电极板与馈入电极固定连接，馈出电极和浮动电极板固定连接。
9、进一步地，在固定电极板和浮动电极板之间连接有柔性极板。
10、由上述本专利技术提供的技术方案可以看出，采用本专利技术，在线清洗可高效利用底部回传空闲时间，提高设备的利用率。可有效的防止载板因清洗导致的杂质析出带来的污染问题。内部支撑机构可大大减少真空设备的体积，提高空间利用率。载板连接射频极镀膜的设定，省去了现有技术中镀膜腔室复杂的射频极，不仅节约空间，而且节约成本。
11、上述说明仅是本专利技术技术的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本专利技术的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本专利技术的具体实施方式。
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1.一种光伏电池载板在线处理方法，其特征在于，包括：步骤一，提供一PECVD产线，所述PECVD产线通过回传模块传输空载板，在所述回传模块的回传方向上的区域顺次设置清洗模块和沉积模块；步骤二，将所述清洗模块和沉积模块都设置独立的门阀，所述清洗模块设置支撑机构，所述沉积模块设置顶升机构、射频发生器和馈入机构，所述馈入机构上端连接至射频发生器，下端伸入腔体内部；步骤三，清洗模块清洗空载板，沉积模块再给空载板沉积一层非晶硅膜层，整个空载板因清洗导致的表面杂质包覆在非晶硅膜层内进入下个工作循环。
2.根据权利要求1所述的光伏电池载板在线处理方法，其特征在于，所述支撑机构包括：支撑杆、挡板、升降组件、伸缩组件，其中，支撑杆位于空载板下部，支撑杆中间部分设有扁槽，底部连接至升降组件，挡板在支撑杆位置设有宽槽，侧边连接至伸缩组件。
3.根据权利要求2所述的光伏电池载板在线处理方法，其特征在于，所述支撑杆与真空室馈入处设有波纹管。
4.根据权利要求2所述的光伏电池载板在线处理方法，其特征在于，所述挡板与真空室馈入处设有波纹管。
5.根据权利要求1所
6.根据权利要求1所述的光伏电池载板在线处理方法，其特征在于，所述顶升机构包括升降组件和支柱，所述升降组件和支柱连接。
7.根据权利要求1所述的光伏电池载板在线处理方法，其特征在于，所述馈入机构包括馈入电极、固定电极板、浮动电极板和馈出电极，所述馈入电极与射频发生器RF极相接。固定电极板与馈入电极固定连接，馈出电极和浮动电极板固定连接。
8.根据权利要求7所述的光伏电池载板在线处理方法，其特征在于，在固定电极板和浮动电极板之间连接有柔性极板。
...【技术特征摘要】
1.一种光伏电池载板在线处理方法，其特征在于，包括：步骤一，提供一pecvd产线，所述pecvd产线通过回传模块传输空载板，在所述回传模块的回传方向上的区域顺次设置清洗模块和沉积模块；步骤二，将所述清洗模块和沉积模块都设置独立的门阀，所述清洗模块设置支撑机构，所述沉积模块设置顶升机构、射频发生器和馈入机构，所述馈入机构上端连接至射频发生器，下端伸入腔体内部；步骤三，清洗模块清洗空载板，沉积模块再给空载板沉积一层非晶硅膜层，整个空载板因清洗导致的表面杂质包覆在非晶硅膜层内进入下个工作循环。
2.根据权利要求1所述的光伏电池载板在线处理方法，其特征在于，所述支撑机构包括：支撑杆、挡板、升降组件、伸缩组件，其中，支撑杆位于空载板下部，支撑杆中间部分设有扁槽，底部连接至升降组件，挡板在支撑杆位置设有宽槽，侧边连接至伸缩组件。
3.根据权利要求2所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：张迎春，张源，赵永飞，赵志强，见东伟，
申请(专利权)人：捷造科技宁波有限公司，
类型：发明
国别省市：
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