【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光伏，具体涉及一种隔离pecvd放电区的装置。
技术介绍
1、等离子体增强化学气相沉积设备pecvd,是常用的制造光电单元中各层硅薄膜的方法，等离子体增强化学气相沉积设备pecvd作为新型平板显示、晶硅太阳能电池及半导体相关领域核心设备之一，其放电区是pecvd设备的最重要组成部分，放电区由喷淋电极、地电极以及喷淋电极与地电极之间的空间构成，工艺气体通过喷淋电极中的喷淋通道进入到放电区后被电离，形成等离子体后到达工件表面在工件表面发生化学反应、沉积均发生在此区域。目前行业上对于放电区有采用开放的放电区，也有采用封闭的放电区，开放的放电区设备相对较简单，但镀膜的均匀性受镀膜工件的尺寸影响，均匀性相对较差，封闭的放电区设备相对较复杂，不具有广泛的实用性。
技术实现思路
1、专利技术提出了一种隔离pecvd放电区的装置，解决上述现有技术存在的技术问题。
2、根据本专利技术的一个方面，提供了一种隔离pecvd放电区的装置，其特征在于，包括：固定部和移动部，在所述固定部与所述移动部之间设置放电区域，所述移动部通过移动连杆与旋转杆的配合转动进行上下运动，控制所述放电区域的打开与封闭，其中，所述固定部的中部与移动部的中部连接所述移动连杆，所述移动连杆的连接位置设置转轴，所述固定部的一端与所述移动部相对的另一端连接所述旋转杆，所述旋转杆的连接位置设置转轴。
3、进一步地，在所述固定部与所述移动部之间还设置弹簧机构。
4、进一步地，所述旋转杆设置于所
5、进一步地，所述旋转杆具有弯折部。
6、进一步地，所述固定部的长度大于所述移动部的长度。
7、由上述本专利技术提供的技术方案可以看出，采用本专利技术，包括：固定部和移动部，在所述固定部与所述移动部之间设置放电区域，所述移动部通过移动连杆与旋转杆的配合转动进行上下运动，控制所述放电区域的打开与封闭，其中，所述固定部的中部与移动部的中部连接所述移动连杆，所述移动连杆的连接位置设置转轴，所述固定部的一端与所述移动部相对的另一端连接所述旋转杆，所述旋转杆的连接位置设置转轴。通过在装置内部的连杆机构形成直线移动机构，将地电极、喷淋电极、工件和载板等组件连接起来，形成一个封闭的放电区，通过装置内部的弹簧机构使放电区的封闭更紧固。结构简单，所占空间小，实用型较强，而且能有效的实现放电区的密封。
8、上述说明仅是本专利技术技术的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本专利技术的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本专利技术的具体实施方式。
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1.一种隔离PECVD放电区的装置，其特征在于，包括：固定部和移动部，在所述固定部与所述移动部之间设置放电区域，所述移动部通过移动连杆与旋转杆的配合转动进行上下运动，控制所述放电区域的打开与封闭，其中，所述固定部的中部与移动部的中部连接所述移动连杆，所述移动连杆的连接位置设置转轴，所述固定部的一端与所述移动部相对的另一端连接所述旋转杆，所述旋转杆的连接位置设置转轴。
2.根据权利要求1所述的隔离PECVD放电区的装置，其特征在于，在所述固定部与所述移动部之间还设置弹簧机构。
3.根据权利要求1所述的隔离PECVD放电区的装置，其特征在于，所述旋转杆设置于所述移动连杆的外侧。
4.根据权利要求3所述的隔离PECVD放电区的装置，其特征在于，所述旋转杆具有弯折部。
5.根据权利要求1所述的隔离PECVD放电区的装置，其特征在于，所述固定部的长度大于所述移动部的长度。
【技术特征摘要】
1.一种隔离pecvd放电区的装置，其特征在于，包括：固定部和移动部，在所述固定部与所述移动部之间设置放电区域，所述移动部通过移动连杆与旋转杆的配合转动进行上下运动，控制所述放电区域的打开与封闭，其中，所述固定部的中部与移动部的中部连接所述移动连杆，所述移动连杆的连接位置设置转轴，所述固定部的一端与所述移动部相对的另一端连接所述旋转杆，所述旋转杆的连接位置设置转轴。
2.根据权利要求1所述的隔离...
【专利技术属性】
技术研发人员：张迎春，赵永飞，白仁华，
申请(专利权)人：捷造科技宁波有限公司，
类型：发明
国别省市：
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