【技术实现步骤摘要】
本技术涉及pecvd真空设备，具体涉及一种用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置。
技术介绍
1、pecvd设备是由若干的真空腔室组成，真空腔室间需要使用大型门阀隔离，一是不同腔室有不同压差，二是为了防止腔室间不同污染污染腔室。大型门阀开启需使用大容量气缸，大容量气缸的开启需要大量的cda（干燥的压缩空气），现有技术使用单独cda管路给门阀气缸供气，或者使用更粗的主管路给门阀气缸供气。
2、大型门阀需要经常性的开启关闭，需要大量cda，使用单独cda管路给门阀气缸供气，会增加设备管路的数量，增加设备成本；主管路给门阀气缸供气，开启门阀时，直接从主管道瞬间（1s)供给大量cda会给主管道造成明显压降，干扰其他器件的正常运行，只能使用更粗的管路给门阀供气，减小压降，粗管道同样的增加管路成本，同时需要厂务供气量。
技术实现思路
1、本技术提出了一种用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置，解决上述现有技术存在的技术问题。
2、根据本技术的一个方面，提供了一种用存储气瓶给大尺寸门...
【技术保护点】
1.一种用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置，其特征在于，包括：多个并排设置的大容量气缸，所述每个气缸的前侧设置一个门阀，各个门阀通过第一气管连接至一储气瓶，所述储气瓶通过第二气管连接至CDA主管路，在一定时间间隔内，所述CDA主管路对所述储气瓶进行补气，所述储气瓶对所述气缸进行供气。
2.根据权利要求1所述的用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置，其特征在于，所述门阀为电磁阀。
3.根据权利要求1所述的用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置，其特征在于，所述时间间隔为3秒。
4.根据权利要求1所述的用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置...
【技术特征摘要】
1.一种用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置，其特征在于，包括：多个并排设置的大容量气缸，所述每个气缸的前侧设置一个门阀，各个门阀通过第一气管连接至一储气瓶，所述储气瓶通过第二气管连接至cda主管路，在一定时间间隔内，所述cda主管路对所述储气瓶进行补气，所述储气瓶对所述气缸进行供气。
2.根据权利要求1所述的用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置，其特征在于，所述门阀为电磁阀。
3.根据权利要求1所述的用存储气瓶给大...
【专利技术属性】
技术研发人员：见东伟，赵永飞，张源，赵志强，
申请(专利权)人：捷造科技宁波有限公司，
类型：新型
国别省市：
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