【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体设备领域，尤其涉及一种半导体装置用的维护装置及半导体装置。
技术介绍
1、半导体装置的机台定期维护(pm)时，部分半导体制造(fab)环境中会使用挡帘，通过挡帘将机台所在区域围起来，从而减少维护时该区域内产生的气体、粉末扩散至半导体制造(fab)环境中，其主要原理是：通过挡帘形成筒状结构，并利用半导体制造(fab)环境中自上而下的排风系统将维护时产生的废气、粉尘压至辅助生产层(sub fab)后排出。
2、目前，半导体制造(fab)环境中天花板处各种管路林立、天车系统轨道纵横交错，垂吊式的挡帘占用天花板空间，远距离移动不方便，而且通常只能针对小范围内的机台维护使用，无法覆盖多个区域的机台的维护使用。
3、因此，亟需一种用于半导体装置的落地维护挡板以改善上述问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种用于半导体装置的落地维护挡板，能够解决垂吊式的挡帘占用天花板空间，且远距离移动不方便的问题，并同时满足小范围内的机台和多个区域的机台的维护使用。
2、第一方面，本技术提供一种用于半导体装置的落地维护挡板，包括：n个折叠板，以及设置在所述n个折叠板的底部的移动轮，n为正整数；
3、所述n个折叠板拼接式相连接；
4、当半导体装置需要维护时，所述落地维护挡板中的n个折叠板处于展开状态并包围在所述半导体装置的周围；
5、当半导体装置不需要维护时，所述落地维护挡板中的n个折叠板处于折叠状态。
7、可选的，所述n个折叠板拼接式相连接，包括：任意相邻的两个折叠板之间通过铰链可转动相连接。
8、可选的，每个折叠板包括上挡板和下挡板，以及位于下挡板底部的挡帘；所述挡帘用于遮挡下挡板底部至地面之间的缝隙。其有益效果在于，通过设置每个折叠板均包括上挡板和下挡板，能够适用于不同高度的天花板，通过在下挡板的底部设置挡帘遮挡下挡板底部至地面之间的缝隙，能够提高维护挡板的密封性，减少维护时产生的废气和粉尘扩散到半导体制造环境中。
9、可选的，所述上挡板和下挡板的材质为塑料材质。其有益效果在于，通过设置上挡板和下挡板的材质为塑料材质，能够降低维护装置的成本，并提高耐用性。
10、可选的，所述上挡板和下挡板之间沿竖直方向安装有滑轨，所述上挡板滑动设置在所述滑轨上，在所述下挡板设有固定部，所述固定部用于固定上挡板。其有益效果在于，通过在上挡板和下挡板之间沿竖直方向安装有滑轨，所述上挡板滑动设置在所述滑轨上，在所述下挡板设有固定部，所述固定部用于固定上挡板，不仅便于调节上挡板的高度，而且能够通过固定部对调整后的上挡板进行固定，从而提高维护时，维护挡板整体的稳定性。
11、可选的，所述上挡板和/或下挡板上设有可开启的窗口；其中，所述窗口为透明窗口，或所述上挡板和下挡板为透明挡板。其有益效果在于，通过在上挡板和/或下挡板上设置可开启的窗口，便于传递维护工具或维护产生的杂物，通过设置窗口为透明窗口，或所述上挡板和下挡板为透明挡板，便于观察维护情况。
12、可选的，所述固定部为固定孔位，所述下挡板上沿竖直方向上设有两列固定孔位；
13、所述上挡板上设有与每列固定孔位对应的通孔和固定件；
14、所述固定件的一端穿过所述通孔，并与相应列中的固定孔位相配合，对所述下挡板和下挡板进行固定。其有益效果在于，通过设置固定部为固定孔位，所述下挡板上沿竖直方向上设有两列固定孔位，并在所述上挡板上设置与每列固定孔位对应的通孔和固定件；利用固定件的一端穿过所述通孔，并与相应列中的固定孔位相配合，实现对所述下挡板和下挡板的固定，从而达到固定上挡板的效果，提高整体的稳定性。
15、可选的，还包括竖直支撑杆和水平支撑杆；
16、所述水平支撑杆的两端分别连接有一移动轮，且所述水平支撑杆的中部通过所述竖直支撑杆与所述n个折叠板的底部相连接。其有益效果在于，通过在两个移动轮之间设置水平支撑杆，通过水平支撑杆使得两个移动轮之间存在间隙，当维护挡板展开使用时，能够提高维护挡板和地面接触的稳定性，使得维护挡板更加牢固。
17、可选的，所述移动轮为带刹车的万向轮；
18、所述万向轮与所述水平支撑杆之间可转动连接，所述水平支撑杆和竖直支撑杆之间固定连接，或所述万向轮与所述水平支撑杆之间固定连接，所述水平支撑杆和竖直支撑杆之间可转动连接。其有益效果在于，通过设置移动轮为带刹车的万向轮，使用时能够通过刹车对万向轮进行固定，从而提高维护挡板的稳定性，另外，通过设置万向轮与所述水平支撑杆之间可转动连接，所述水平支撑杆和竖直支撑杆之间固定连接，或所述万向轮与所述水平支撑杆之间固定连接，所述水平支撑杆和竖直支撑杆之间可转动连接，移动方便。
19、可选的，所述折叠板为矩形挡板或弧形挡板。其有益效果在于，通过设置挡板为矩形挡板或弧形挡板，能够适用于不同的场景中半导体装置的维护使用。
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1.一种用于半导体装置的落地维护挡板，其特征在于，包括：N个折叠板，以及设置在所述N个折叠板的底部的移动轮，N为正整数；
2.根据权利要求1所述的落地维护挡板，其特征在于，所述N个折叠板拼接式相连接，包括：任意相邻的两个折叠板之间通过铰链可转动相连接。
3.根据权利要求1所述的落地维护挡板，其特征在于，每个折叠板包括上挡板和下挡板，以及位于下挡板底部的挡帘；所述挡帘用于遮挡下挡板底部至地面之间的缝隙。
4.根据权利要求3所述的落地维护挡板，其特征在于，所述上挡板和下挡板的材质为塑料材质。
5.根据权利要求3所述的落地维护挡板，其特征在于，所述上挡板和下挡板之间沿竖直方向安装有滑轨，所述上挡板滑动设置在所述滑轨上，在所述下挡板设有固定部，所述固定部用于固定上挡板。
6.根据权利要求3所述的落地维护挡板，其特征在于，所述上挡板和/或下挡板上设有可开启的窗口；其中，所述窗口为透明窗口，或所述上挡板和下挡板为透明挡板。
7.根据权利要求5所述的落地维护挡板，其特征在于，所述固定部为固定孔位，所述下挡板上沿竖直方向上设
8.根据权利要求1所述的落地维护挡板，其特征在于，还包括竖直支撑杆和水平支撑杆；
9.根据权利要求8所述的落地维护挡板，其特征在于，所述移动轮为带刹车的万向轮；
10.根据权利要求1-9任一项所述的落地维护挡板，其特征在于，所述折叠板为矩形挡板或弧形挡板。
...【技术特征摘要】
1.一种用于半导体装置的落地维护挡板，其特征在于，包括：n个折叠板，以及设置在所述n个折叠板的底部的移动轮，n为正整数；
2.根据权利要求1所述的落地维护挡板，其特征在于，所述n个折叠板拼接式相连接，包括：任意相邻的两个折叠板之间通过铰链可转动相连接。
3.根据权利要求1所述的落地维护挡板，其特征在于，每个折叠板包括上挡板和下挡板，以及位于下挡板底部的挡帘；所述挡帘用于遮挡下挡板底部至地面之间的缝隙。
4.根据权利要求3所述的落地维护挡板，其特征在于，所述上挡板和下挡板的材质为塑料材质。
5.根据权利要求3所述的落地维护挡板，其特征在于，所述上挡板和下挡板之间沿竖直方向安装有滑轨，所述上挡板滑动设...
【专利技术属性】
技术研发人员：王炜，许文泽，
申请(专利权)人：芯恩青岛集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：
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