尾气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种尾气处理装置。这种尾气处理装置，包括箱体，所述箱体的顶部设有用于抽排尾气的鼓风机，所述箱体的底部设有尾气进入口，所述箱体内由底部至顶部设有若干尾气处理组件，所述尾气处理组件包括喷水装置和过滤装置，所述过滤装置设于所述喷水装置的上方，所述喷水装置具有向底部方向扩散喷水的喷口，所述过滤装置倾斜设置于所述箱体内。本实用新型专利技术结构简单，使用方便，通过将过滤网层的水平放置方式改成与水平面成一定夹角的斜向上的设置方式，来扩大过滤网层的用于过滤尾气的有效面积，从而，有效提高了过滤网层的使用效能，进而提高生产效率。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种尾气处理装置。
技术介绍
半导体生产领域中，对于有二氯硅烷(分子式是H2Cl2Si)气体反应的炉管，由于二 氯硅烷易燃、有毒、具腐蚀性和刺激性，可致人体灼伤。因此，炉管在排放尾气时需要对具有 二氯硅烷的尾气进行处理后才能排放。由于要进行尾气排放，炉管区的机台在真空泵的后 面都接有尾气处理装置(local scrubber)。请参见图1，图1所示是现有的尾气处理装置的结构示意图。从图1可见，所述尾 气处理装置包括箱体1，所述箱体1的顶部设有用于抽排尾气的鼓风机2，所述箱体1的底 部或下部设有尾气进入口 11，所述箱体1内由下至上设有若干尾气处理组件，所述尾气处 理组件包括喷水装置3和过滤装置，所述过滤装置设于所述喷水装置3的上方，所述喷水装 置3具有向下方扩散喷水的喷口，所述过滤装置是一内部填充有过滤球的长方体网状结构 的过滤网层4，所述过滤网层4水平设置于所述箱体1内。由于前期氮化硅的制成会有大量的副产品氯化铵产生，而氯化铵会堵塞尾气处理 装置的过滤装置。由于尾气从下至上经过所述过滤网层4，因此，所述过滤网层4从下部开 始堵塞。请结合参阅图2，图2是过滤网层的过滤球被堵塞后的结构示意图，标号6表示被 堵塞的过滤球、标号7表示干净的过滤球，过滤球被堵塞后就不能正常进行过滤工作。一 般，当过滤网层4被堵塞的厚度大于5CM时，过滤网层4就不能正常进行过滤工作，就需要 停机并清洗过滤网层4。目前，过滤网层4清理的频率为1个月时，才能保证尾气处理装置 工作正常。然而，频繁地清洗过滤网层4，削弱了尾气处理装置的尾气处理效能，同时，也严 重降低了生产效率。因此，如何提供一种可以有效提高尾气处理效能的尾气处理装置的是本领域亟待 解决的一个技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种尾气处理装置，可以通过增大有效面积来增加尾 气处理装置的过滤效能。为了达到上述的目的，本技术采用如下技术方案一种尾气处理装置，包括箱体，所述箱体的顶部设有用于抽排尾气的鼓风机，所述 箱体的底部设有尾气进入口，所述箱体内由底部至顶部设有若干尾气处理组件，所述尾气 处理组件包括喷水装置和过滤装置，所述过滤装置设于所述喷水装置的上方，所述喷水装 置具有向底部方向扩散喷水的喷口，所述过滤装置倾斜设置于所述箱体内。在上述的尾气处理装置中，所述过滤装置是内部填充有过滤球的过滤网层。在上述的尾气处理装置中，所述过滤网层与喷水装置的水平面的夹角为10-70 度。在上述的尾气处理装置中，所述过滤网层与喷水装置的水平面的夹角为30-60度。在上述的尾气处理装置中，所述过滤网层为长方体网状结构。在上述的尾气处理装置中，所述过滤网层采用金属制成。在上述的尾气处理装置中，所述鼓风机具有与厂务的排气系统相连通的排气管。在上述的尾气处理装置中，所述箱体内位于最上方的尾气处理组件的上方设有用 于引入空气的进气装置。在上述的尾气处理装置中，所述进气装置是设于所述箱体侧壁的进气孔。在上述的尾气处理装置中，所述喷水装置经设于箱体侧壁的进水口与外部供水管 连接。在上述的尾气处理装置中，所述箱体内设有两至四组尾气处理组件。本技术尾气处理装置，结构简单，使用方便，通过将过滤网层的水平放置方式 改成与水平面成一定夹角的斜向上的设置方式，根据三角形的基本理论，斜边大于直角边， 所以，当过滤网层与水平面成一定夹角的斜向上设置于尾气处理装置的箱体内时，可以有 效扩大过滤网层的用于过滤尾气的有效面积，从而，有效提高了过滤网层的使用效能，进而 有效提高了尾气处理装置的使用效能，减少了停机进行过滤网层清洗的频率，从而有效提 高了生产效率。附图说明本技术的尾气处理装置由以下的实施例及附图给出。图1是现有的尾气处理装置的结构示意图；图2是现有过滤网层的堵塞情况结构示意图；图3是本技术的尾气处理装置的结构示意图；图中，1-箱体、11-尾气进入口、12-进水口、2-鼓风机、3_喷水装置、4_过滤网层、 5-进气装置、6-被堵塞的过滤球、7-干净的过滤球。具体实施方式以下将对本技术的尾气处理装置作进一步的详细描述。下面将参照附图对本技术进行更详细的描述，其中表示了本技术的优选 实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本技术而仍然实现本技术 的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对 本技术的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能 和结构，因为它们会使本技术由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例 的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商 业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和 耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。为使本技术的目的、特征更明显易懂，以下结合附图对本技术的具体实 施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。请参见图3，图3是本技术的尾气处理装置的结构示意图；这种尾气处理装置，包括箱体1，所述箱体1的顶部设有用于抽排尾气的鼓风机2， 所述箱体1的底部设有尾气进入口 11，所述箱体1内由底部至顶部设有若干尾气处理组件， 所述尾气处理组件包括喷水装置3和过滤装置，所述过滤装置设于所述喷水装置3的上方， 所述过滤装置倾斜设置于所述箱体内。所述过滤装置是一内部填充有过滤球的过滤网层4， 所述过滤网层4倾斜设置于所述箱体1内。优选，所述过滤网层4与喷水装置的水平面的夹角可以是10-70度。进一步优选， 所述过滤网层4与喷水装置的水平面的夹角为30-60度。本实施例中，所述过滤网层4与 水平面的夹角为45度。所述过滤网层4为长方体网状结构，内部填充有用于吸收二氯硅烷的过滤球。所 述过滤网层4采用金属制成，经久耐用，不易受到尾气的腐蚀。所述鼓风机2具有与厂务的排气系统相连通的排气管。所述箱体1内位于最上方的尾气处理组件的上方设有用于引入空气的进气装置 5，所述进气装置5是设于所述箱体1侧壁的进气孔。所述进气装置5用于稀释经过过滤组 件的尾气，使之符合排放标准。所述喷水装置3具有向下方扩散喷水的喷口，所述喷水装置3经设于箱体1侧壁 的进水口 12与外部供水管连接。优选，所述箱体1内设有两至四组尾气处理组件。本实施例中，所述箱体1内设有 两组尾气处理组件，在箱体1的有限空间内设置两组尾气处理装置以加强过滤效果。本技术是这样工作的从炉管出来的具有二氯硅烷的尾气，从尾气处理装置的箱体1的底部或下部的尾 气进入口 11，进入尾气处理状装置内，尾气向上依次经过若干个尾气处理组件，每个尾气处 理组件包括由下至上设置的喷水装置3和过滤装置。当尾气被喷水装置3喷撒以后，尾气 中的二氯硅烷更加容易被过滤网层4中的过滤球吸收。经过过滤网层4的尾气继续向上， 经过下一组尾气处理组件，直到和进气装置5中出来的空气混合，该尾气和空气混合后由 鼓风机2排直至厂务的排气系统。本技术尾气处理装置，结构简单，使用方便，通过将过滤网层4的水平放置方 式改成与水平面成一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种尾气处理装置，包括箱体，所述箱体的顶部设有用于抽排尾气的鼓风机，所述箱体的底部设有尾气进入口，所述箱体内由底部至顶部设有若干尾气处理组件，所述尾气处理组件包括喷水装置和过滤装置，所述过滤装置设于所述喷水装置的上方，所述喷水装置具有向底部方向扩散喷水的喷口，其特征在于，所述过滤装置倾斜设置于所述箱体内。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨志平，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]