【技术实现步骤摘要】
本专利技术的示例性实施例涉及药液供应装置及药液供应方法。更详细地，本专利技术的示例性实施例涉及药液供应装置，该药液供应装置包括狭缝喷嘴，该狭缝喷嘴具有布置在本体的端部处以将通过流路流动的药液供应到基板上的喷嘴唇部，并且本专利技术的示例性实施例涉及使用这种药液供应装置的药液供应方法。
技术介绍
1、为了制造诸如有机发光显示装置的显示装置，可以执行在基板上形成预定图案的工艺。这种预定图案一般可以利用光刻(photolithogrphy)工艺来形成。所述光刻工艺可以包括用于向基板上供应诸如光致抗蚀剂和显影液的药液的药液供应工艺。这种药液供应工艺大体上可以利用包括狭缝喷嘴(slit nozzle)的药液供应装置来执行。
2、在现有的药液供应装置中，所述狭缝喷嘴可以包括本体和喷嘴唇部(nozzlelip)，所述本体具有供诸如光致抗蚀剂和显影液的药液流动通过的流路，所述喷嘴唇部将通过所述流路流动的所述药液供应到基板上并且布置在所述本体的一侧端部处。所述狭缝喷嘴的喷嘴唇部的整体间隙间隔可以被预设，以适合于药液供应工艺的工艺条件。当在使用所述狭缝喷嘴期间所述喷嘴唇部的间隙间隔变化时，可以在调节所述喷嘴唇部的间隙间隔之后执行所述药液供应工艺。
3、由于诸如所述狭缝喷嘴的热膨胀和/或热收缩的机械因素和/或诸如所述药液的沉淀物的工艺因素，所述喷嘴唇部的间隙间隔可能变化。然而，在现有的药液供应工艺中，可能无法实时地监控这种所述喷嘴唇部的间隙间隔的变化。因此，可能无法在所述基板上准确地形成期望的图案。
1、要解决的技术问题
2、本专利技术的一目的是提供能够实时地确认并测量喷嘴唇部的间隙间隔的药液供应装置。
3、本专利技术的另一目的是提供能够实时地确认并测量喷嘴唇部的间隙间隔并且能够实时地调节喷嘴唇部的间隙间隔的药液供应装置。
4、本专利技术的又一目的是提供能够实时地确认并测量喷嘴唇部的间隙间隔的药液供应方法。
5、解决方法
6、根据本专利技术的一方面，提供了一种药液供应装置。所述药液供应装置可以包括狭缝喷嘴。所述狭缝喷嘴可以包括：本体，包括供药液流动通过的流路；喷嘴唇部，向基板上供应所述药液，并且布置在所述本体的端部处；以及确认单元，用于确认并测量所述喷嘴唇部的间隙间隔。所述确认单元可以包括：多个间隔显示部，根据预设的喷嘴唇部的间隙间隔在所述狭缝喷嘴的长度方向上与所述喷嘴唇部的两侧相邻地形成；以及间隔测量部，用于测量距所述喷嘴唇部的中心线的所述多个间隔显示部的距离。
7、在示例性实施例中，所述多个间隔显示部可以在所述本体的端部上形成为以所述喷嘴唇部的中心线为基准各自个别地对应。
8、在示例性实施例中，当测量所述多个间隔显示部的距离时，可以将所述狭缝喷嘴划分为至少两个区间，且所述间隔测量部针对所述至少两个区间中的每个测量所述多个间隔显示部的距离。
9、在示例性实施例中，当测量所述多个间隔显示部的距离时，可以使所述狭缝喷嘴以所述喷嘴唇部的中心线为基准在左侧方向和右侧方向上移动，同时所述间隔测量部测量所述多个间隔显示部的距离。
10、在示例性实施例中，可以使所述狭缝喷嘴在所述间隔测量部的上方沿着所述狭缝喷嘴的长度方向移动，同时所述间隔测量部测量所述多个间隔显示部的距离。
11、根据本专利技术的另一方面，提供了一种药液供应装置。所述药液供应装置可以包括狭缝喷嘴。所述狭缝喷嘴可以包括：本体，包括供药液流动通过的流路；喷嘴唇部，向基板上供应所述药液，并且布置在所述本体的端部处；确认单元，用于确认并测量所述喷嘴唇部的间隙间隔；以及间隔调整单元，用于调整所述喷嘴唇部的间隙间隔。所述确认单元可以包括：多个间隔显示部，根据预设的喷嘴唇部的间隙间隔在所述狭缝喷嘴的长度方向上与所述喷嘴唇部的两侧相邻地形成；以及间隔测量部，用于测量距所述喷嘴唇部的中心线的所述多个间隔显示部的距离。
12、在示例性实施例中，所述多个间隔显示部可以在所述本体的端部上形成为以所述喷嘴唇部的中心线为基准各自个别地对应。
13、在示例性实施例中，当测量所述多个间隔显示部的距离时，可以将所述狭缝喷嘴划分为至少两个区间，且所述间隔测量部可以针对所述至少两个区间中的每个测量所述多个间隔显示部的距离。
14、在示例性实施例中，当测量所述多个间隔显示部的距离时，可以使所述狭缝喷嘴以所述喷嘴唇部的中心线为基准在左侧方向和右侧方向上移动，同时所述间隔测量部测量所述多个间隔显示部的距离。
15、在一些示例性实施例中，可以使所述狭缝喷嘴在所述间隔测量部的上方沿着所述狭缝喷嘴的长度方向移动，同时所述间隔测量部测量所述多个间隔显示部的距离。
16、在一些示例性实施例中，所述间隔调整单元的多个间隔调整部可以沿着所述狭缝喷嘴的长度方向以实质上恒定的间隔布置。
17、在一些示例性实施例中，所述多个间隔调整部可以与所述多个间隔显示部分别对应。
18、根据本专利技术的又一方面，提供了一种利用药液供应装置来执行的药液供应方法。所述药液供应装置可以包括狭缝喷嘴，所述狭缝喷嘴可以包括：本体，包括供药液流动通过的流路；以及喷嘴唇部，向基板上供应所述药液，并且布置在所述本体的端部处。所述药液供应方法可以包括：利用间隔测量部和多个间隔显示部来确认并测量所述喷嘴唇部的间隙间隔的步骤，其中，所述多个间隔显示部根据预设的喷嘴唇部的间隙间隔在所述狭缝喷嘴的长度方向上与所述喷嘴唇部的两侧相邻地形成；以及当所测量的所述喷嘴唇部的间隙间隔不同于所述预设的喷嘴唇部的间隙间隔时，利用多个间隔调整部来调整所述喷嘴唇部的间隙间隔。
19、在示例性实施例中，确认并测量所述喷嘴唇部的间隙间隔的步骤可以包括：确认并测量形成为以所述喷嘴唇部的中心线为基准各自个别地对应的所述多个间隔显示部的距离的步骤。
20、在示例性实施例中，确认并测量所述多个间隔显示部的距离的步骤可以包括：将所述狭缝喷嘴划分为至少两个区间的步骤以及利用所述间隔测量部来针对所述至少两个区间中的每个测量所述多个间隔显示部的距离的步骤。
21、在一些示例性实施例中，所述药液供应方法还可以包括：当所测量的所述喷嘴唇部的间隙间隔不同于所述预设的喷嘴唇部的间隙间隔时，调节从所述至少两个区间供应到所述基板上的所述药液的量。
22、在示例性实施例中，确认并测量所述多个间隔显示部的距离的步骤可以包括：使所述狭缝喷嘴以所述喷嘴唇部的中心线为基准在左侧方向和右侧方向上移动，同时利用所述间隔测量部来测量所述多个间隔显示部的距离的步骤。
23、在一些示例性实施例中，确认并测量所述多个间隔显示部的距离的步骤可以包括：使所述狭缝喷嘴在所述间隔测量部的上方沿着所述狭缝喷嘴的长度方向移动，同时利用所述间隔测量部来测量所述多个间隔显示部的距离的步骤。
24、在一些示例性实施例中，利用所述多个间隔调整部来调整所述喷嘴唇部的间隙间隔的步骤可以利用沿着所述狭本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种药液供应装置，包括狭缝喷嘴，
2.根据权利要求1所述的药液供应装置，其中，所述多个间隔显示部在所述本体的所述端部上形成为以所述喷嘴唇部的所述中心线为基准各自个别地对应。
3.根据权利要求1所述的药液供应装置，其中，当测量所述多个间隔显示部的距离时，将所述狭缝喷嘴划分为至少两个区间，且所述间隔测量部针对所述至少两个区间中的每个测量所述多个间隔显示部的距离。
4.根据权利要求3所述的药液供应装置，其中，当测量所述多个间隔显示部的距离时，使所述狭缝喷嘴以所述喷嘴唇部的所述中心线为基准在左侧方向和右侧方向上移动，同时所述间隔测量部测量所述多个间隔显示部的距离。
5.根据权利要求4所述的药液供应装置，其中，使所述狭缝喷嘴在所述间隔测量部的上方沿着所述狭缝喷嘴的所述长度方向移动，同时所述间隔测量部测量所述多个间隔显示部的距离。
6.一种药液供应装置，包括狭缝喷嘴，
7.根据权利要求6所述的药液供应装置，其中，所述多个间隔显示部在所述本体的所述端部上形成为以所述喷嘴唇部的所述中心线为基准各自个别地对应。
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