【技术实现步骤摘要】
本公开涉及一种用于在基板悬浮时分配液滴的设备以及一种用于测量其基板的悬浮量的方法。
技术介绍
1、对于诸如有机el显示器件的显示器件，在针对每一代具有较大面积的基板的情况下，执行诸如用于分配液滴的工艺等的制造工艺。
2、在以大面积基板为对象的用于分配液滴的工艺中，存在使用通过喷射的空气使基板悬浮的悬浮台来移动基板的情况。
3、在悬浮台的情况下，通过喷射的空气确定悬浮量，并且当悬浮量不恒定时，液滴可能无法精确地被分配。因此，操作者通过距离测量装置测量悬浮量，并基于此分配液滴。
4、然而，在悬浮台中，悬浮可能根据测量悬浮量的位置而变化，并且由于测量悬浮量的位置对于每个操作员是不同的，所以在测量的数据中出现可靠性问题。
5、(专利文献1)kr10-2022-0021726a
技术实现思路
1、本公开的一个方面是提供一种能够测量悬浮量的用于分配液滴的设备，或者提供一种测量用于分配液滴的设备的基板的悬浮量的方法。
2、在一实施例中，本公开的...
【技术保护点】
1.一种用于分配液滴的设备，包括：
2.根据权利要求1所述的用于分配液滴的设备，
3.根据权利要求2所述的用于分配液滴的设备，其中，所述控制单元在检查所述距离测量单元的状态之后，测量所述距离测量单元与所述基板之间的距离。
4.根据权利要求3所述的用于分配液滴的设备，其中，当检查所述距离测量单元的状态时，所述控制单元重新连接与所述距离测量单元的通信。
5.根据权利要求4所述的用于分配液滴的设备，其中，当检查所述距离测量单元的状态时，所述控制单元在水平面上将所述距离测量单元移动到第一位置，然后测量距所述基板的距离，并且将所述...
【技术特征摘要】
1.一种用于分配液滴的设备，包括：
2.根据权利要求1所述的用于分配液滴的设备，
3.根据权利要求2所述的用于分配液滴的设备，其中，所述控制单元在检查所述距离测量单元的状态之后，测量所述距离测量单元与所述基板之间的距离。
4.根据权利要求3所述的用于分配液滴的设备，其中，当检查所述距离测量单元的状态时，所述控制单元重新连接与所述距离测量单元的通信。
5.根据权利要求4所述的用于分配液滴的设备，其中，当检查所述距离测量单元的状态时，所述控制单元在水平面上将所述距离测量单元移动到第一位置，然后测量距所述基板的距离，并且将所述距离测量单元的设置初始化为所述第一位置处的测量值。
6.根据权利要求3所述的用于分配液滴的设备，其中，所述液滴分配单元包括排放头，以及
7.一种测量用于分配液滴的设备的基板的悬浮量的方法，所述用于分配液滴的设备包括其上设置有喷射孔的台，所述基板设置在所述台上，并且气体通过所述喷射孔从所述基板的下方喷射到所述基板；基板移动单元，用于移动设置在所述台上的所述基板；液滴分配单元，沿竖直方向设置在所述基板的上方；以及液滴分配单元移动单元，连接到所述液滴分配单元，并且移动所述液滴分配单元，
8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述悬浮量测量操作包括：
9.根据权利要求7所述的方法，其中，所述悬浮量测量操作包括：
10.根据...
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