下载用于分配液滴的设备及测量其基板的悬浮量的方法的技术资料

文档序号:41254080

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本发明提供了一种用于分配液滴的设备,该设备包括:台,其上设置有喷射孔,且基板设置在台上;基板移动单元,用于在第一方向上移动设置在台上的基板;液滴分配单元,沿竖直方向设置在基板的上方;以及液滴分配单元,在水平面上沿垂直于所述第一方向的第二方向...
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