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用于分配液滴的设备及测量其基板的悬浮量的方法技术
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下载用于分配液滴的设备及测量其基板的悬浮量的方法的技术资料
文档序号:41254080
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本发明提供了一种用于分配液滴的设备,该设备包括:台,其上设置有喷射孔,且基板设置在台上;基板移动单元,用于在第一方向上移动设置在台上的基板;液滴分配单元,沿竖直方向设置在基板的上方;以及液滴分配单元,在水平面上沿垂直于所述第一方向的第二方向...
该专利属于细美事有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过细美事有限公司授权不得商用。
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