【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种液体化学品供应模块和一种包括液体化学品供应模块的基底处理设备，更具体地，涉及一种能够将用于处理基底的液体化学品供应到基底处理设备的液体化学品供应模块和一种包括液体化学品供应模块的基底处理设备。
技术介绍
1、执行诸如光刻、蚀刻、灰化和沉积的各种工艺，以制造半导体装置或液晶显示器。在这些工艺中，由于基底上的电路图案的小型化，装置特性和产量更容易受颗粒和污染物的影响。这样，在每道工序之前或之后，执行用于去除颗粒和污染物的清洁工艺。多种化学品供应、冲洗和干燥工艺可以在腔室中作为清洁工艺顺序执行，并且在清洁工艺中产生的污染物或颗粒和烟雾可以通过在清洁工艺期间在腔室中引起清洁空气的向下流动而被排放到外部。
2、当清洁基底时，可以使用各种类型的液体化学品来去除基底上的污染物，并且每种液体化学品可以通过位于基底上方的喷射喷嘴喷射到基底上。通过喷射喷嘴喷射以清洁基底的液体化学品，可以通过连接到液体化学品罐的液体化学品供应模块控制到适工艺条件的流速，然后该液体化学品被供应到基底处理设备的喷射喷嘴。
3、用于将液体化学品从液体化学品罐供应到基底处理设备的液体化学品供应模块，可以连接到多个基底处理设备，以将液体化学品供应到多个基底处理设备，并且在这种情况下，背压阀(bpv)可以安装在连接到液体化学品罐的主管线上，以便将主管线中的液体化学品的压力保持在恒定压力处。
4、然而，根据现有的液体化学品供应模块，尽管液体化学品以相同的流速通过主管线喷射，但是对于每个基底处理设备的腔室，流量控制阀(fcv)的
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种液体化学品供应模块以及包括液体化学品供应模块的基底处理设备，所述液体化学品供应模块能够始终保持液体化学品的恒定压力，最小化液体化学品的喷射期间流量控制阀(fcv)的操作，并且通过在连接到液体化学品供应模块的每个基底处理设备的fcv的前端处安装安全阀从而稳定地保持颗粒性能。然而，以上描述是示例，并且本专利技术的范围不限于此。
2、根据本专利技术的一方面，提供了一种液体化学品供应模块，液体化学品供应模块包括：主供应器，用于将液体化学品从液体化学品罐供应到至少一个基底处理设备；以及至少一个分配供应器，用于连接在主供应器和任何一个基底处理设备之间，以将通过主供应器供应的液体化学品分配到任何一个基底处理设备，其中，分配供应器包括分配管线，从主供应器的主管线分支并且连接在主管线和任何一个基底处理设备之间；第一循环管线，从分配管线分支并且连接在分配管线和主管线之间，以使在分配管线中流动的液体化学品的至少一部分循环回到主管线；以及第二循环管线，相对于液体化学品流过分配管线的方向在第一循环管线之前从分配管线分支，并且连接在分配管线和主管线之间，以使在分配管线中流动的液体化学品的至少一部分在所述第一循环管线之前循环回到主管线。
3、主供应器包括：主管线，用于从液体化学品罐供应液体化学品；以及背压阀(bpv)，相对于液体化学品流过主管线的方向安装在分配管线之前的主管线上，以将在主管线中流动的液体化学品的压力保持在预设的特定主压力处。
4、主供应器还可以包括压力传感器，压力传感器安装在bpv和分配管线之间的主管线上，以感测在bpv之后的主管线中流动的液体化学品的压力。
5、分配管线可以包括流量控制阀(fcv)，fcv安装在分配管线上，以控制供应到任何一个基底处理设备的液体化学品的流速
6、分配管线还可以包括第一开/关阀，第一开/关阀相对于液体化学品流过分配管线的方向安装在fcv之后的分配管线上，以打开或关闭分配管线。
7、第一循环管线可以相对于液体化学品流过分配管线的方向在fcv之后从分配管线分支，并且相对于液体化学品流过主管线的方向在bpv之前连接到主管线。
8、第一循环管线可以包括第二开/关阀，第二开/关阀安装在第一循环管线上，以打开或关闭第一循环管线。
9、第二循环管线可以相对于液体化学品流过分配管线的方向在fcv之前从分配管线分支，并且相对于液体化学品流过主管线的方向在bpv之前连接到主管线。
10、第二循环管线可以包括安全阀，安全阀安装在第二循环管线从分配管线分支的位置处，以当在分配管线中流动的液体化学品的压力超过预设的特定分配压力时，使在分配管线中流动的液体化学品的至少一部分循环回到主管线。
11、第二循环管线还可以包括第三开/关阀，第三开/关阀安装在第二循环管线上，以打开或关闭第二循环管线。
12、分配管线还可以包括流量计，流量计相对于液体化学品流过分配管线的方向安装在fcv之前的分配管线上，以测量在分配管线中流动的液体化学品的流速。
13、分配管线还可以包括流量控制器，流量控制器电连接到fcv和流量计，以从流量计接收感测液体化学品的流速的值，并且将控制信号施加到fcv。
14、流量控制器可以基于预设的参考流速和使用从流量计接收的感测值计算的液体化学品的实际流速之间的差，将控制信号施加到fcv，以将液体化学品的参考流速和实际流速之间的差控制在预设的特定误差范围内。
15、主供应器可以将已经通过bpv并且在主管线中流动的液体化学品的主压力设定成高于通过分配供应器分配并且供应到任何一个基底处理设备的液体化学品的分配压力。
16、分配供应器可以包括多个分配供应器，多个分配供应器沿着主供应器的主管线以特定间隔安装，以将通过主供应器供应的液体化学品分配到多个基底处理设备。
17、分配供应器可以包括：第一分配供应器，用于连接在主管线和第一基底处理设备之间；以及第二分配供应器，用于连接在主管线和第二基底处理设备之间，第二基底处理设备相对于液体化学品流过主管线的方向在第一分配供应器之后。
18、第一分配供应器和第二分配供应器中的每一者可以包括分配管线、第一循环管线和第二循环管线。
19、分配供应器还可以包括第n分配供应器，第n分配供应器用于连接在主管线和第n基底处理设备之间，第n基底处理设备相对于液体化学品流过主管线的方向在第(n-1)分配供应器之后。
20、根据本专利技术的另一方面，提供了一种基底处理设备，基底处理设备包括：腔室，包括处理空间，在处理空间中处理基底；基底支撑单元，安装在处理空间中，以支撑和旋转基底；喷射单元，在处理空间中安装在基底支撑单元上方，以通过喷射喷嘴将至少一种类型的液体化学品喷射到基底上；液体化学品供应模块，用于将液体化学品供应到喷射单元；以及收集单元，提供为具有开口顶部的容器形状以围绕基底支撑本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种液体化学品供应模块，包括：
2.根据权利要求1所述的液体化学品供应模块，其中，所述主供应器包括：
3.根据权利要求2所述的液体化学品供应模块，其中，所述主供应器还包括压力传感器，所述压力传感器安装在所述BPV和所述分配管线之间的所述主管线上，以感测在所述BPV之后的所述主管线中流动的所述液体化学品的所述压力。
4.根据权利要求2所述的液体化学品供应模块，其中，所述分配管线包括流量控制阀(FCV)，所述FCV安装在所述分配管线上，以控制供应到所述任何一个基底处理设备的所述液体化学品的流速。
5.根据权利要求4所述的液体化学品供应模块，其中，所述分配管线还包括第一开/关阀，所述第一开/关阀相对于所述液体化学品流过所述分配管线的所述方向安装在所述FCV之后的所述分配管线上，以打开或关闭所述分配管线。
6.根据权利要求4所述的液体化学品供应模块，其中，所述第一循环管线相对于所述液体化学品流过所述分配管线的所述方向在所述FCV之后从所述分配管线分支，并且相对于所述液体化学品流过所述主管线的所述方向在所述BPV之前连接到所述
7.根据权利要求6所述的液体化学品供应模块，其中，所述第一循环管线包括第二开/关阀，所述第二开/关阀安装在所述第一循环管线上，以打开或关闭所述第一循环管线。
8.根据权利要求6所述的液体化学品供应模块，其中，所述第二循环管线相对于所述液体化学品流过所述分配管线的所述方向在所述FCV之前从所述分配管线分支，并且相对于所述液体化学品流过所述主管线的所述方向在所述BPV之前连接到所述主管线。
9.根据权利要求8所述的液体化学品供应模块，其中，所述第二循环管线包括安全阀，所述安全阀安装在所述第二循环管线从所述分配管线分支的位置处，以当在所述分配管线中流动的所述液体化学品的所述压力超过预设的特定分配压力时，使在所述分配管线中流动的所述液体化学品的至少一部分循环回到所述主管线。
10.根据权利要求9所述的液体化学品供应模块，其中，所述第二循环管线还包括第三开/关阀，所述第三开/关阀安装在所述第二循环管线上，以打开或关闭所述第二循环管线。
11.根据权利要求4所述的液体化学品供应模块，其中，所述分配管线还包括流量计，所述流量计相对于所述液体化学品流过所述分配管线的所述方向安装在所述FCV之前的所述分配管线上，以测量在所述分配管线中流动的所述液体化学品的流速。
12.根据权利要求11所述的液体化学品供应模块，其中，所述分配管线还包括流量控制器，所述流量控制器电连接到所述FCV和所述流量计，以从所述流量计接收感测所述液体化学品的所述流速的值，并且将控制信号施加到所述FCV。
13.根据权利要求12所述的液体化学品供应模块，其中，所述流量控制器基于预设的参考流速和使用从所述流量计接收的感测值计算的所述液体化学品的实际流速之间的差，将所述控制信号施加到所述FCV，以将所述液体化学品的所述参考流速和所述实际流速之间的所述差控制在预设的特定误差范围内。
14.根据权利要求2所述的液体化学品供应模块，其中，所述主供应器将已经通过所述BPV并且在所述主管线中流动的所述液体化学品的所述主压力设定成高于通过所述分配供应器分配并且供应到所述任何一个基底处理设备的所述液体化学品的分配压力。
15.根据权利要求1所述的液体化学品供应模块，其中，所述分配供应器包括多个分配供应器，所述多个分配供应器沿着所述主供应器的所述主管线以特定间隔安装，以将通过所述主供应器供应的所述液体化学品分配到多个基底处理设备。
16.根据权利要求15所述的液体化学品供应模块，其中，所述分配供应器包括：
17.根据权利要求16所述的液体化学品供应模块，其中，所述第一分配供应器和所述第二分配供应器中的每一者包括所述分配管线、所述第一循环管线和所述第二循环管线。
18.根据权利要求16所述的液体化学品供应模块，其中，所述分配供应器还包括第n分配供应器，用于连接在所述主管线和第n基底处理设备之间，所述第n基底处理设备相对于所述液体化学品流过所述主管线的所述方向在第(n-1)分配供应器之后。
19.一种基底处理设备，包括：
20.一种液体化学品供应模块，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种液体化学品供应模块，包括：
2.根据权利要求1所述的液体化学品供应模块，其中，所述主供应器包括：
3.根据权利要求2所述的液体化学品供应模块，其中，所述主供应器还包括压力传感器，所述压力传感器安装在所述bpv和所述分配管线之间的所述主管线上，以感测在所述bpv之后的所述主管线中流动的所述液体化学品的所述压力。
4.根据权利要求2所述的液体化学品供应模块，其中，所述分配管线包括流量控制阀(fcv)，所述fcv安装在所述分配管线上，以控制供应到所述任何一个基底处理设备的所述液体化学品的流速。
5.根据权利要求4所述的液体化学品供应模块，其中，所述分配管线还包括第一开/关阀，所述第一开/关阀相对于所述液体化学品流过所述分配管线的所述方向安装在所述fcv之后的所述分配管线上，以打开或关闭所述分配管线。
6.根据权利要求4所述的液体化学品供应模块，其中，所述第一循环管线相对于所述液体化学品流过所述分配管线的所述方向在所述fcv之后从所述分配管线分支，并且相对于所述液体化学品流过所述主管线的所述方向在所述bpv之前连接到所述主管线。
7.根据权利要求6所述的液体化学品供应模块，其中，所述第一循环管线包括第二开/关阀，所述第二开/关阀安装在所述第一循环管线上，以打开或关闭所述第一循环管线。
8.根据权利要求6所述的液体化学品供应模块，其中，所述第二循环管线相对于所述液体化学品流过所述分配管线的所述方向在所述fcv之前从所述分配管线分支，并且相对于所述液体化学品流过所述主管线的所述方向在所述bpv之前连接到所述主管线。
9.根据权利要求8所述的液体化学品供应模块，其中，所述第二循环管线包括安全阀，所述安全阀安装在所述第二循环管线从所述分配管线分支的位置处，以当在所述分配管线中流动的所述液体化学品的所述压力超过预设的特定分配压力时，使在所述分配管线中流动的所述液体化学品的至少一部分循环回到所述主管线。
10.根据权利要求9所述的液体化学品供应模块，其中，所述第二循环管线还包括第三开/关阀，所述第三开/关阀安装在所述第二循环管...
【专利技术属性】
技术研发人员：梁承太，朴尚禹，韩泳遵，金圣贤，崔气勋，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：
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