【技术实现步骤摘要】
本公开涉及衬底运输机器人和包括该衬底运输机器人的衬底处理系统，并且更具体地，涉及在半导体制造过程(processes)中使用的衬底运输机器人和包括该衬底运输机器人的衬底处理系统。
技术介绍
1、半导体制造过程可以在半导体制造设备内被连续地执行，并且可以被划分为前端过程和后端过程。前端过程是指在晶圆上形成电路图案以完成半导体芯片的过程，而后端过程是指评估来自前端过程的最终产品的性能的过程。
2、半导体制造设备可以安装在半导体制造设施(称为“晶圆厂”)内以制造半导体。晶圆可以经历用于半导体生产所需的各种过程，诸如沉积、光刻、蚀刻、抛光、离子注入、清洁、封装和测试，并且可以被晶圆运输机器人转移到将执行相应过程的设备。
3、晶圆运输机器人包括一个臂和两只手，并且通过臂和手的单独驱动来执行拾取和放置操作。然而，由于使用两只手来转移晶圆，晶圆运输机器人的处理速度明显缓慢。
4、此外，在回避运动期间，在手的末端与设备前端模块(equipment front endmodule，efem)的两个侧壁之间存在碰撞的风险，因此需要额外的空间以用于预防。
技术实现思路
1、本公开的各方面提供了一种能够提高处理速度并避免与结构的干扰的衬底运输机器人和包括该衬底运输机器人的衬底处理系统。
2、然而，本公开的各方面不限于本文所阐述的那些。通过参考下面给出的本公开的详细描述，本公开的上述和其他方面对于本公开所属领域的普通技术人员将变得更加明显。
3、根
4、根据本公开的另一方面，一种衬底运输机器人包括：一个或多个机器人臂，所述一个或多个机器人臂包括转移手，并且用所述转移手转移半导体衬底；臂驱动模块，所述臂驱动模块联接到所述机器人臂中的每一个机器人臂并且控制所述机器人臂中的每一个机器人臂的移动；和水平/竖直移动模块，所述水平/竖直移动模块控制所述臂驱动模块的位置移动，其中，设置多个机器人臂；在所述多个机器人臂中的每一个机器人臂中包括多个转移手；所述多个机器人臂和所述多个转移手沿所述衬底运输机器人的高度方向布置；所述多个机器人臂用于不同目的；所述多个转移手包括独立地操作的第一转移手和同时地操作的复数个转移手；在所述多个机器人臂中的每一个机器人臂中所包括的所述多个转移手中，独立地操作的单个转移手的位置从一个机器人手到另一机器人手变化；所述多个转移手包括被用于所述半导体衬底的拾取和放置操作的转移手和不被用于所述拾取和放置操作的转移手；以及不被用于所述拾取和放置操作的转移手基于距两个壁的距离而沿顺时针方向和逆时针方向中的至少一个方向旋转。
5、根据本公开的另一方面，一种衬底处理系统包括：装卸端口模块，所述装卸端口模块为装载有半导体衬底的容器提供安装表面；装卸锁定室，所述装卸锁定室临时地储存所述半导体衬底并且依据半导体晶圆是正在被装载或是被卸载而切换到大气环境和真空环境中的一个环境中；处理室，所述处理室处理所述半导体衬底；索引模块，所述索引模块在所述大气环境下操作，并且在所述装卸端口模块与所述装卸锁定室之间转移所述半导体衬底；和转移室，所述转移室在所述真空环境下操作，并且在所述装卸锁定室与所述处理室之间转移所述半导体衬底，其中，衬底运输机器人设置在所述索引模块内，并且所述衬底运输机器人包括：一个或多个机器人臂，所述一个或多个机器人臂包括转移手，并且使用所述转移手转移所述半导体衬底；臂驱动模块，所述臂驱动模块联接到所述机器人臂中的每一个机器人臂并且控制所述机器人臂中的每一个机器人臂的移动；和水平/竖直移动模块，所述水平/竖直移动模块控制所述臂驱动模块的位置移动，设置多个机器人臂，以及在所述多个机器人臂中的每一个机器人臂中包括多个转移手。
6、应当注意，本公开的效果不限于以上描述的那些效果，并且本公开的其他效果将从以下描述中显而易见。
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1.一种衬底运输机器人，包括：
2.根据权利要求1所述的衬底运输机器人，其中，所述多个机器人臂沿所述衬底运输机器人的高度方向布置。
3.根据权利要求1所述的衬底运输机器人，其中，所述多个机器人臂用于不同目的。
4.根据权利要求3所述的衬底运输机器人，其中，所述多个机器人臂用于运输具有不同处理状态的半导体衬底。
5.根据权利要求1所述的衬底运输机器人，其中，所述多个转移手沿所述衬底运输机器人的高度方向布置。
6.根据权利要求1所述的衬底运输机器人，其中，所述多个转移手包括独立地操作的第一转移手和同时地操作的复数个转移手。
7.根据权利要求6所述的衬底运输机器人，其中，具有所述复数个转移手的机器人臂设置在至少一个其他机器人臂的上方或下方。
8.根据权利要求7所述的衬底运输机器人，其中，
9.根据权利要求7所述的衬底运输机器人，其中，如果具有所述复数个转移手的所述机器人臂设置在所述至少一个其他机器人臂的下方，则所述第一转移手设置在其他转移手的下方。
10.根据权利要求1所述的衬底
11.根据权利要求1所述的衬底运输机器人，其中，
12.根据权利要求1所述的衬底运输机器人，其中，所述多个转移手包括被用于所述半导体衬底的拾取和放置操作的转移手和不被用于所述拾取和放置操作的转移手。
13.根据权利要求12所述的衬底运输机器人，其中，不被用于所述拾取和放置操作的转移手沿顺时针方向和逆时针方向中的至少一个方向旋转。
14.根据权利要求13所述的衬底运输机器人，其中，当确定不被用于所述拾取和放置操作的转移手的旋转方向时，考虑距两个侧壁的距离。
15.根据权利要求1所述的衬底运输机器人，还包括：
16.根据权利要求15所述的衬底运输机器人，其中，所述传感器设置在所述衬底运输机器人的任一侧，或者以能够移动的方式设置在所述衬底运输机器人的一侧。
17.根据权利要求1所述的衬底运输机器人，其中，所述衬底运输机器人设置在模块内，所述模块在装卸端口模块与处理室之间转移半导体衬底，装载有复数个半导体衬底的容器安装在所述装卸端口模块上，在所述处理室中处理所述半导体衬底。
18.一种衬底运输机器人，包括：
19.一种衬底处理系统，包括：
20.根据权利要求19所述的衬底处理系统，其中，
...【技术特征摘要】
1.一种衬底运输机器人，包括：
2.根据权利要求1所述的衬底运输机器人，其中，所述多个机器人臂沿所述衬底运输机器人的高度方向布置。
3.根据权利要求1所述的衬底运输机器人，其中，所述多个机器人臂用于不同目的。
4.根据权利要求3所述的衬底运输机器人，其中，所述多个机器人臂用于运输具有不同处理状态的半导体衬底。
5.根据权利要求1所述的衬底运输机器人，其中，所述多个转移手沿所述衬底运输机器人的高度方向布置。
6.根据权利要求1所述的衬底运输机器人，其中，所述多个转移手包括独立地操作的第一转移手和同时地操作的复数个转移手。
7.根据权利要求6所述的衬底运输机器人，其中，具有所述复数个转移手的机器人臂设置在至少一个其他机器人臂的上方或下方。
8.根据权利要求7所述的衬底运输机器人，其中，
9.根据权利要求7所述的衬底运输机器人，其中，如果具有所述复数个转移手的所述机器人臂设置在所述至少一个其他机器人臂的下方，则所述第一转移手设置在其他转移手的下方。
10.根据权利要求1所述的衬底运输机器人，其中，在所述多个机器人臂中的每一个机器人臂中所包括的转移手的数量是相同的。
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【专利技术属性】
技术研发人员：李相协，韩基元，金相吴，金敎蜂，金喜赞，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：
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